JPS6260227A - 高速酸化装置 - Google Patents
高速酸化装置Info
- Publication number
- JPS6260227A JPS6260227A JP19993785A JP19993785A JPS6260227A JP S6260227 A JPS6260227 A JP S6260227A JP 19993785 A JP19993785 A JP 19993785A JP 19993785 A JP19993785 A JP 19993785A JP S6260227 A JPS6260227 A JP S6260227A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- short time
- oxide film
- halogen lamps
- wafer
- semiconductor substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板の酸化装置構造に関する。
本発明は高速酸化装置に於て、半導体基板を酸素あるい
は水蒸気あるいは酸水素燃焼ガス雰囲気中に晒すと共に
、前記半導体基板を加熱するハロゲン・ランプを具備す
ることを特徴とする。
は水蒸気あるいは酸水素燃焼ガス雰囲気中に晒すと共に
、前記半導体基板を加熱するハロゲン・ランプを具備す
ることを特徴とする。
従来、半導体基板としての８１を酸化するには、石英管
中に８１を石英治具上にのせて設置すると共に該石英管
内′ｆ、酸化性雰凹気にすべて酸素。
中に８１を石英治具上にのせて設置すると共に該石英管
内′ｆ、酸化性雰凹気にすべて酸素。
水蒸気、あるいは酸水素燃焼ガス雰囲気で満たすと共に
石英管周囲にカンタル・ヒーター等を設置し、抵抗加熱
により加熱する装置を用いていた。
石英管周囲にカンタル・ヒーター等を設置し、抵抗加熱
により加熱する装置を用いていた。
〔発明が解決しようとする問題点と目的〕しかし、上記
従来技術によると、酸化速度が遅く、得られる酸化膜の
膜質が悪いと云う問題点があった。
従来技術によると、酸化速度が遅く、得られる酸化膜の
膜質が悪いと云う問題点があった。
本発明は、かかる従来技術の問題点をなくし、良質な酸
化膜を高速で得られる酸化装置を提供することを目的と
する。
化膜を高速で得られる酸化装置を提供することを目的と
する。
上記問題点を解決するために本発明は、ハロゲン・ラン
プによる基板加熱を行なう手段をとる。
プによる基板加熱を行なう手段をとる。
第１図は、本発明の一実施例を示す高速酸化装置の概略
図である。すなわち、石英管１内には、石英治具２とそ
の上に８１ウエーハ５が設置され、石英管１内はガス糸
４から送られて来る酸化性ガスで満たされると共に、ハ
ロゲン・ランプ５により１２００℃程度の極めて高温に
短時間で加熱昇温されると共に、高温での高速酸化が行
なわれた後、ハロゲン・ランプ５を消して、極めて短時
間に降温される。
図である。すなわち、石英管１内には、石英治具２とそ
の上に８１ウエーハ５が設置され、石英管１内はガス糸
４から送られて来る酸化性ガスで満たされると共に、ハ
ロゲン・ランプ５により１２００℃程度の極めて高温に
短時間で加熱昇温されると共に、高温での高速酸化が行
なわれた後、ハロゲン・ランプ５を消して、極めて短時
間に降温される。
本発明の如く、ハロゲン・ランプを具備した酸化装置で
は昇温及び降温時間の短縮と共に、酸化時間も高温なる
がために極めて短時間に所望の酸化膜厚が得られる効果
があると共に、高温、短時間の酸化処理で得られる酸化
膜の膜厚は、界面準位密度が小さい等極めて良質の酸化
膜が得られる効果がある。
は昇温及び降温時間の短縮と共に、酸化時間も高温なる
がために極めて短時間に所望の酸化膜厚が得られる効果
があると共に、高温、短時間の酸化処理で得られる酸化
膜の膜厚は、界面準位密度が小さい等極めて良質の酸化
膜が得られる効果がある。
第１図は本命明の一実施例な示す高速酸化装置の概略図
である。 １・・・・・・石英管 ２・・・・・・石英治具 ６・・・・・・Ｓｉウェーハ ４・・・・・・ガス系 ５−―、…ハロゲン・ランプ 以上
である。 １・・・・・・石英管 ２・・・・・・石英治具 ６・・・・・・Ｓｉウェーハ ４・・・・・・ガス系 ５−―、…ハロゲン・ランプ 以上
Claims (1)
- 半導体基板を酸素あるいは水蒸気あるいは酸水素燃焼ガ
ス雰囲気中に晒すと共に、前記半導体基板を加熱するハ
ロゲン・ランプを具備することを特徴とする高速酸化装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993785A JPS6260227A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 高速酸化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993785A JPS6260227A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 高速酸化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6260227A true JPS6260227A (ja) | 1987-03-16 |
Family
ID=16416073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19993785A Pending JPS6260227A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | 高速酸化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6260227A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521992U (ja) * | 1991-03-06 | 1993-03-23 | 株式会社コーポレートギフトプロジエクト | ジグソーパズル用フレーム及びジグソーパズル用パネル |
-
1985
- 1985-09-10 JP JP19993785A patent/JPS6260227A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521992U (ja) * | 1991-03-06 | 1993-03-23 | 株式会社コーポレートギフトプロジエクト | ジグソーパズル用フレーム及びジグソーパズル用パネル |
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