JPS6262433A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はポリエステルフィルム上に強磁性金属薄膜を形
成せしめ磁気記録媒体を製造する方法に関する。

（従来技術） 従来より磁気記録媒体としては１．非磁性基体上にｒ−
Ｆｅ２０３、Ｃｏをドープしたｒ　−Ｆ　ｅ　２０Ｆｅ
ＯＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４，ｒ　−Ｆ　ｅ　２０３
とＦｅ３Ｏ４のベルトライド化合物、Ｃｏをドープした
ベルトライド化合物、ＣｒＯ□等の酸化物磁性粉末ある
いはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁性粉末等
の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ス
チレン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布、乾
燥させる塗布型のものが広く使用されてきている。

近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、真空蒸着
、スノξツタリング、イオンプレーテング等の方法によ
り形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ており実用化への試みがなされはじめている。

従来の塗布型の磁気記録媒体では飽和磁化の小さい金属
酸化物磁性粉末を主として用いているため、高密度記録
を実現すべく磁気記録層を薄（していくと信号出力の低
下をもたらす。

これに反し、金属薄膜型の磁気記録媒体では、金属酸化
物磁性粉末より大きい飽和磁化を有する強磁性金属をバ
インダーを介在させない状態で、極めて薄い層として形
成でき、すぐれた電磁変換特性をもたらす。

テープ状非磁性基体上に蒸着により磁性膜を形成せしめ
て磁気テープを製造する際には、テープ状非磁性基体と
してはポリエステルフィルムが広く用いられる。

ポリエステルフィルム上へ蒸着し磁気テープを作成する
場合、蒸着時の熱履歴のために磁気テープとしての緒特
性に問題が生じていた。その１つとしてスキュー特性が
あり、この改良のために蒸着後熱処理を行う方法が提案
されているがこの方法では蒸着膜にクラックが発生する
等の問題がある。あるいはまたポリエステルフィルムを
熱処理した後、フィルム上に塗布型磁性層を設ける方法
が特開昭タデ−１３タ６３２号に開示されているが、蒸
着型磁気記録媒体の場合には蒸着時にフィルムが熱を受
けるために単に上記公報に示された方法ではスキュー特
性は改善されず電磁変換特性にも好ましくない影響を与
える。

（発明の目的） 本発明の第１の目的は、前記の欠点を改良した蒸着法に
よる金属薄膜型磁気記録媒体、すなわちスキュー特性の
改良された金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供す
るにある。本発明の第λの目的はクロマ信号のＳ／Ｎ特
性、高域での再生信号エンベロブのすぐれた蒸着法によ
る金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するにある
。

（発明の構成） 本発明は、ポリエステルフィルム上に蒸着法により磁性
膜を形成せしめて、磁気記録媒体を製造する方法におい
て、張力ｏ　、　ｔ　−％−ｔ　、　Ｏｋｇ　７ｍｍ２
で巻回してなるポリエステルフィルムロールをｔｏ−ｒ
ｏｏｃの温度にて１０〜１００時間加熱処理した後、０
　、　ｊ　ｋ４１　／　ｍｍ以上の張力を加えた状態で
該ポリエステルフィルム上に磁性膜を蒸着せしめること
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法に関する。

本発明において張力はポリエステルフィルムの断面積に
加えられる力と定義される。本発明は鋭意研究の結果、
蒸着前にポリエステルフィルムを張力０．　／Ｓ−２，
Ｏｋｇ　７ｍｍにて巻回し、ｔｏ０〜ｒｏ０ｃの温度に
て１ｏ−ｔｏｏ時間熱処理した後、磁性膜の蒸着を該ポ
リエステルフィルムに０　、　ｊ　ｋｇ　／ｌｎｍ以上
の張力を与えながら実施することによりスキュー特性お
よびクロマＳ／Ｎ、高域での再生出力信号エン（ロブの
改良されることを見出しなされたものである。

本発明における蒸着磁性薄膜としては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎ
ｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ１Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｆｅ
−８ｉ、ｃｏ−Ｃｕ。

Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ
−Ｇｄ、Ｃｏ−３ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−８ｉ、Ｃｏ−
Ｍｎ、Ｃｏ−Ｐ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂ１．Ｍｎ−８ｂ
、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ５Ｃ□−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、
Ｆｅ、−Ｐ、Ｎｉ　−Ｐ。

Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｂ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｚｎ。

Ｃｏ−Ｎ１−Ｗ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ等のような強磁
性合金が用いられる。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体と
して充分な出力を与え得る厚さおよび高密度記録の充分
行なえる薄さを必要とすることから一般には０．０２μ
ｍからｔ、ｏμｍ、好ましくは０．０！μｍから２．０
μｍである。

蒸着中にＯＣＯ２、Ｎ２、ＮＨ３、スチレン等のガスを
導入して磁性薄膜中に０、Ｎ、Ｃ等の元素を含有させる
ようにしてもいい。

本発明に使用されるポリエステルフィルムはとくに制限
されない。具体例としては、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリメチレジテレフタレート、ポリエチレン−２−
６−ナフタレート、ポリエチレンイソフタレート等があ
げられる。

上記ポリエステルフィルムの厚みは３〜１００μｍであ
り、！〜ｊＯμｍが好ましい。

上記の強磁性薄膜は他にＧａ、Ａｓ、Ｓｒ。

Ｚｒ、ＮｂｌＭｏ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｏｓ。

Ｉ　ｒ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｂ、Ｂ　ｉ等を含有してもいい
。

本発明においてはポリエステルフィルム上ニ強磁性薄膜
を蒸着により形成させる際ポリエステルフィルムの非蒸
着面を−ｚ　ｏ　Ｏ〜１ｏＯＣに保持された冷却体に接
触せしめつつ行うことが好ましい。本発明において蒸着
の際に加えるべき張力は０、ｓｋｆ／ｍｍ　以上が好ま
１．＜ポリエステルフィルムの破断強度の／　／　４ｃ
程度を上限とすることが実用的である。

さらに本発明においては強磁性薄膜は単層あるいは２層
以上の多層構成としてもよいし、磁性層間に非磁性層を
介在させても良い。さらにはまたポリエステルフィルム
と強磁性薄膜により構成される磁性層との間にいわゆる
下地層を設けても良いし、磁性層上に保護層あるいは潤
滑層を設け【も良い。あるいはまたポリエステルフィル
ムの磁性層側との反対面にいわゆるバック層を設けても
良い。

上記の中間層、下地層、保護層等を蒸着で形成させる場
合にも０．１　ｋｇ　７ｍｍ以上の張力を加えた状態に
てこれらの材料の蒸着を行なうのが好ましい。また中間
層、下地層、保護層等を湿式塗布で行なう場合には、通
常の乾燥条件であればよく、本発明による蒸着前の熱処
理条件と蒸着時の条件を選択することによりスキュー特
性およびｉｆ電磁変換特性改良された蒸着型磁気記録媒
体が得られる。

（実施例） 次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。

実施例１ １コ、ｊμｍ厚、幅ｊ００ｔｎｍ長さｒｏｏｏｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルムを各種張力を与えて巻
回した後、各種処理温度、処理時間にて熱処理を施した
後、連続蒸着装置により蒸着部でのポリエチレンテレフ
タレートフ・ｆルムに加えられる張力を変化させて強磁
性薄膜を蒸着した。

強磁性薄膜はＣｏＮｉ合金（Ｎｉ２０重量％、酸素／４
’ａｔｍ％合有）から成る斜め入射蒸着膜で膜厚は／　
ｔｏｏ′Ａとした。

こうして得られた種々の磁気テープ原反な１ｍｍ幅にス
リットし磁気テープとした。

こうして得られた各サンプルについて次のテストを行い
結果を第１表に示した。

１、　スキュー特性 ｒ　ｍｍ　Ｖ　Ｔ　Ｒ（富士写真フィルに■製ＦＵＪＩ
Ｘ−ｒｍ４）にてコｊ　’Ｃ，７０％相対湿度の下で銀
画した磁気テープを７００Ｃ、ドライの環境雰囲気中に
ψを時間放置した後２！０Ｃ１７０％相対湿度の下でテ
ープを再生しスキューを測定した。

λ　電磁変換特性 ｒｍｍｖＴＲにてクロマ信号のＳ／ＮおよびｊＭＨ２の
信号を記録再生した時のエンベロブ測定を行なった。

尚エンベロープはその形状から下記の！段階評価により
判定した。

◎　非常に良い ○　良い Δ　普通 ×　悪い ××　非常に悪い 実施例コ タ、ｚμｍ厚、幅１ｒ　００　ｍｍ、　　長さ’ｙ３ｏ
ｏｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに実施例１
と同様にして熱処理を施した後連続蒸着装置により蒸着
部でのポリエチレンテレフタレートフィルムに加えられ
る張力を変化させて強磁性薄膜を蒸着した。強磁性薄膜
としてはＣｏＣｒ合金（Ｃｒｌ夕重ｔ％）より成る膜厚
２２ｏｏＸの蒸着膜を形成させ種々の磁気テープ原反を
作成した。こうして得られた磁気テープにつき実施例１
と同様にしてスキュー特性および電磁変換特性を測定し
たところ第２表のようであった。

このように巻回張力０．／〜２　、　Ｏｋｇ　／　ｍｍ
、温度ｔｏ　０〜ｒｏ　０ｃでｉｏ〜ｉｏｏ時間熱処理
した後、張力θ、　！　ｋｇ　／　ｍｒｎ　　を加えｔ
才附膜を蒸着してなる磁気テープはスキュー特性、およ
び電磁変換特性に丁ぐれるものである。

（発明の効果） 本発明の方法により蒸着型磁気記録媒体を製造すること
により、スキュー特性、クロマＳ／Ｎおよびエンベロー
プにすぐれる金属薄膜型磁気記録媒体が得られる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ポリエステルフィルム上に蒸着法により磁性薄膜を形成
   せしめて磁気記録媒体を製造する方法において、張力０
   ．１〜２．０ｋｇ／ｍｍ＾２で巻回してなるポリエステ
   ルフィルムロールを６０〜８０℃の温度にて１０〜１０
   ０時間熱処理した後、０．５ｋｇ／ｍｍ＾２以上の張力
   を加えた状態で該ポリエステルフィルム上に磁性薄膜を
   蒸着せしめることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
   。