JPS6263906A - 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 - Google Patents
半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法Info
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- JPS6263906A JPS6263906A JP60204712A JP20471285A JPS6263906A JP S6263906 A JPS6263906 A JP S6263906A JP 60204712 A JP60204712 A JP 60204712A JP 20471285 A JP20471285 A JP 20471285A JP S6263906 A JPS6263906 A JP S6263906A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体レーザの出射光を光ファイバに結合する
半導体レーザ・光ファイバ結合装置の製造方法に関する
ものである。
半導体レーザ・光ファイバ結合装置の製造方法に関する
ものである。
３、−
従来の技術
従来の半導体１／−ザと光ファイバを結合する装置の一
例として第３図にその構造の縦断ｌｔｎ図を示す。第３
図に１．・いで１はパラゲージステ１１．２は半導体１
７−ザ、３はモニタ相愛）Ｙ、素子、４は電極、６ Ｉ
：Ｉ、球レンズ、ｅｌ−Ｊ、Ｌ／７ズポルタ、７ ｉ’
ｊニア 工／ｌ／ −ルポルダ、８はフェルール、９は
光ファイバ素線、１０は光ノアイバジャノｒソト−ｒあ
る。との構造は光学軸を中心と１．た同心円筒１［ニと
な−）でいる。この結合装置の製造方法は、寸ず球レン
ズ６を樹脂接着、ロウ付、ハンダ付等のいずれかにより
レンズホルタ６に固定し、さらにレンズホルダ６をパッ
ケージステム１ＫＩ′ｉめ込み固定する。レンズホルダ
６とパッケージステム１の固定は樹脂接着、抵抗溶接等
のいずれかによるものである。一方、光ファイバ素線９
はフェルール８に樹脂接着剤で固定されでおりフェルー
ルホルダ７に２１ｔｍ稈Ｉｆのクリアランスを設けてガ
イドさ１１ている。ここでフェルール８を光学軸；１ｔ
、行方向（２方向）および光学軸垂直方向（ｘ−ｙ方向
）にマニ、ピ１／−夕で微調整苓１１−）で最大の結合
効１・・とＡ−／：、＋！−Ｌ”、１て゛？ｆｉ３図中
のＡ ’ｌ＋・圭びＢ ９．）部分く１・１ＩＩｌｌ脂
接；？’ｌｉ’１ｌｌ−（固定するかあるい（１１（姐
１旨接名ｉ’１−１ｌ−（−仮固定し、／６−後＆ｒ７
１１ｕ抗ｎ；接−Ｃ固定し、−（いた（例えは、立川、
猿７Ｉ１１：昭ｆ０５８年ｉｔ １′ａ （「？学会゛
Ｖ・１１１体・（・１本［部門全国入会２９ｊ）、、 発明が解決しようとするｊ！Ｉ ｊｌｊｊｊｊ ＋、’
、丈とのよ一′）な従来の製ｌ′Ｓ・ノＪ′法、！１′
１にツー丁ルール８のｘ、ｙ、ｚ方向の微調整後の、ノ
」ルール８とフェルールホルダ７との固定ト・よびフェ
ルールホルダ７とレンズホルタ６との固定の際にＯ′［
、抵抗浴接ではＩｔ力を７Ｊ１１える必・汐が９ｊ八光
学軸ずｊｉを少／ｉ：＜してｍ接置５ｊでするのが困ガ
［て゛あ、−）Ａ−ｏ一方、樹脂接着剤による固定Ｑ−
１従来から？−■−わＩｔている方法ではあるか長１υ
１的なイｔ１幀性の点１問題がありさらに、フェルール
ホルダ７がレンズホルダ６にｚｌ；、て傾いて接着固定
さｔ［／ζ場合ｉｔ ／ＡＩ’を度変動に」：る結合効
率の変動かあっｌ−９ 本発明はかかる点に鑑みて７’ｉ檜”、 ｆ’１．、
Ａ−ものであり、製造方法が容易で製へ中の結合効率の
劣化が少な５・＼− く長期的な信頼性に優れた半導体レーザ・光ファイバ結
合装置の製造方法を提供することを目的としている。
例として第３図にその構造の縦断ｌｔｎ図を示す。第３
図に１．・いで１はパラゲージステ１１．２は半導体１
７−ザ、３はモニタ相愛）Ｙ、素子、４は電極、６ Ｉ
：Ｉ、球レンズ、ｅｌ−Ｊ、Ｌ／７ズポルタ、７ ｉ’
ｊニア 工／ｌ／ −ルポルダ、８はフェルール、９は
光ファイバ素線、１０は光ノアイバジャノｒソト−ｒあ
る。との構造は光学軸を中心と１．た同心円筒１［ニと
な−）でいる。この結合装置の製造方法は、寸ず球レン
ズ６を樹脂接着、ロウ付、ハンダ付等のいずれかにより
レンズホルタ６に固定し、さらにレンズホルダ６をパッ
ケージステム１ＫＩ′ｉめ込み固定する。レンズホルダ
６とパッケージステム１の固定は樹脂接着、抵抗溶接等
のいずれかによるものである。一方、光ファイバ素線９
はフェルール８に樹脂接着剤で固定されでおりフェルー
ルホルダ７に２１ｔｍ稈Ｉｆのクリアランスを設けてガ
イドさ１１ている。ここでフェルール８を光学軸；１ｔ
、行方向（２方向）および光学軸垂直方向（ｘ−ｙ方向
）にマニ、ピ１／−夕で微調整苓１１−）で最大の結合
効１・・とＡ−／：、＋！−Ｌ”、１て゛？ｆｉ３図中
のＡ ’ｌ＋・圭びＢ ９．）部分く１・１ＩＩｌｌ脂
接；？’ｌｉ’１ｌｌ−（固定するかあるい（１１（姐
１旨接名ｉ’１−１ｌ−（−仮固定し、／６−後＆ｒ７
１１ｕ抗ｎ；接−Ｃ固定し、−（いた（例えは、立川、
猿７Ｉ１１：昭ｆ０５８年ｉｔ １′ａ （「？学会゛
Ｖ・１１１体・（・１本［部門全国入会２９ｊ）、、 発明が解決しようとするｊ！Ｉ ｊｌｊｊｊｊ ＋、’
、丈とのよ一′）な従来の製ｌ′Ｓ・ノＪ′法、！１′
１にツー丁ルール８のｘ、ｙ、ｚ方向の微調整後の、ノ
」ルール８とフェルールホルダ７との固定ト・よびフェ
ルールホルダ７とレンズホルタ６との固定の際にＯ′［
、抵抗浴接ではＩｔ力を７Ｊ１１える必・汐が９ｊ八光
学軸ずｊｉを少／ｉ：＜してｍ接置５ｊでするのが困ガ
［て゛あ、−）Ａ−ｏ一方、樹脂接着剤による固定Ｑ−
１従来から？−■−わＩｔている方法ではあるか長１υ
１的なイｔ１幀性の点１問題がありさらに、フェルール
ホルダ７がレンズホルダ６にｚｌ；、て傾いて接着固定
さｔ［／ζ場合ｉｔ ／ＡＩ’を度変動に」：る結合効
率の変動かあっｌ−９ 本発明はかかる点に鑑みて７’ｉ檜”、 ｆ’１．、
Ａ−ものであり、製造方法が容易で製へ中の結合効率の
劣化が少な５・＼− く長期的な信頼性に優れた半導体レーザ・光ファイバ結
合装置の製造方法を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
本発明は上り問題点を解決するため（で、−１−記半導
体レーザとＩ／ンズを第１の固定部材により固定し、前
記光ファイバを、光学軸に対］〜で平行および垂直方向
への位置調整が可能な第２の固定部材に結合効率が最大
の位置で光学軸に対して平行方向をレーザ溶接により固
定し、さらに光学軸に対して重置方向を微調整（−結合
効率が最大の位置で第２の固定部材を第１の固定部材に
レーザ溶接固定する際に最初の１ノーザン餐接による光
学軸ず′ｉ１を尾に戻す位置を順次レーザ溶接固定する
ものである。
体レーザとＩ／ンズを第１の固定部材により固定し、前
記光ファイバを、光学軸に対］〜で平行および垂直方向
への位置調整が可能な第２の固定部材に結合効率が最大
の位置で光学軸に対して平行方向をレーザ溶接により固
定し、さらに光学軸に対して重置方向を微調整（−結合
効率が最大の位置で第２の固定部材を第１の固定部材に
レーザ溶接固定する際に最初の１ノーザン餐接による光
学軸ず′ｉ１を尾に戻す位置を順次レーザ溶接固定する
ものである。
作用
本発明は上記しＡ二構成であり、レーザ溶接による非接
触溶接固定であるため抵抗溶接のようにｆＥ力は全く加
わらず、他の淫Ｉ接方法に比べて溶接入熱が非常に少な
く半導体１）−ザ素子の劣化もなく、６／、−１ さらにレーザ／ｉ−ｉ：ＩＳ固定の際に光学軸ずｆ１合
一 Ｊｅに戻すように順次溶接を進めていくＡ−め製ｌ
ｆ工中の結合効率の劣化が少なく、１にメタル固定であ
／）ととから長期的な信頼性に俊才１Ａ−ものである。
触溶接固定であるため抵抗溶接のようにｆＥ力は全く加
わらず、他の淫Ｉ接方法に比べて溶接入熱が非常に少な
く半導体１）−ザ素子の劣化もなく、６／、−１ さらにレーザ／ｉ−ｉ：ＩＳ固定の際に光学軸ずｆ１合
一 Ｊｅに戻すように順次溶接を進めていくＡ−め製ｌ
ｆ工中の結合効率の劣化が少なく、１にメタル固定であ
／）ととから長期的な信頼性に俊才１Ａ−ものである。
、実櫂例
以下に本発明の一実施例に１、・ける半導体１／−ザ・
光ファイバ結合装置の製Ｊ貴カフノコについて第１図。
光ファイバ結合装置の製Ｊ貴カフノコについて第１図。
第２図とともに説明する。第１図は従来例とり、て示し
／Ｃ第３図のものとほとんど同じ構造のものであるので
共通部分の説明は省略する１、第２図はレーザ溶接の方
法を説明する図である１、第１図でα。
／Ｃ第３図のものとほとんど同じ構造のものであるので
共通部分の説明は省略する１、第２図はレーザ溶接の方
法を説明する図である１、第１図でα。
βはシー４月容接ビーノ・であ、イ、１．従来例の場合
と同様に１、でパッケ−ジステム、１、）１′心体１ノ
ーザ２、球レンズ６、レンズホルダ６１ｌ−ｔ−ｎ、い
固定さノ１ており、光ファイバ素線９は、フ丁ルール８
に固定されでいる。肋許請求の範囲に１・・ける第１の
固定部材とぐ−１、こ０ではレンズホルダ６のことであ
ｌ）、）ν′１ファイバはフェルール８に固定された光
−ファイバ素線９のことであり、第２の固定部材とはノ
コルールホルダ７のことである。ｌ／ンズホルグ６、フ
７へ−。
と同様に１、でパッケ−ジステム、１、）１′心体１ノ
ーザ２、球レンズ６、レンズホルダ６１ｌ−ｔ−ｎ、い
固定さノ１ており、光ファイバ素線９は、フ丁ルール８
に固定されでいる。肋許請求の範囲に１・・ける第１の
固定部材とぐ−１、こ０ではレンズホルダ６のことであ
ｌ）、）ν′１ファイバはフェルール８に固定された光
−ファイバ素線９のことであり、第２の固定部材とはノ
コルールホルダ７のことである。ｌ／ンズホルグ６、フ
７へ−。
エルールホルダ７、およびフェルール８の材質ハステン
レス１（ＳＵＳｓｏｓ）である。フェルール８はフェル
ールホルダ７に２１ｔｍ程度のクリアランスでガイドさ
れておりマニュピレータでフェルール８を持ちｘ、ｙ、
ｚ方向に微調整することで最大結合効率の位置で保持す
る。通常約−＋ｄＢ程度の結合効率である。ここでます
２方向の固定スナワチフエルール８とフェルールホルダ
７のレーザ溶接固定を行う。第１図においてＡ部をα方
向あるいはβ方向からレーザ溶接を行う。α、β方向の
選択はレーザ溶接のパワーや、フェルールホルダ７の厚
みにもよるが、フェルールホルダ７の強度を考えるとｏ
、４ｆｉ以上の厚みが必要とされα方向からの溶接では
３〜４Ｊ以上のレーザ溶接パワーが必要となる。一方β
方向からのレーザ溶接では１〜２Ｊ程度のパワーで溶接
が可能となり、同程度のレーザ溶接パワーではβ方向か
ら溶接した場合が機械的強度は強くなる。これは、フェ
ルールホルダ７とレンズホルダ６との溶接すなわちＢ部
の溶接の場合でも同じである。フェルール８とフェルー
ルホルダアの溶接固定にし、８ケ所程度行なえば機械的
強度は充分である。レーザ溶接機としてはＹＡＧレーザ
のパルス発振のものを使用し、条件としてはパルス幅２
ｍ５ｅｃ、 レンズ二ｆ４０ｍｍ、スポットサイズφ
０．４ ｍｍ、１ソヨツト２Ｊでβ方向よりレーザ溶接
を行っている１、溶接の際、ステンレス鋼が溶けて固ま
る時にフェルールホルダ７が１０〜２０ ｌｔｍ程度２
方向に引き上けられるため、後にフェルールホルダ７と
レンズホルダ６を溶接すると最大結合時の位置Ｊ：す２
方向が１０′〜２０μｍ引き下けられ結合効率が劣化す
るので、あらかじめフェルール８を最大結合効率の得ら
れる位置よりも２方向に１０〜２０７ｚｆ１１下げてＡ
部を溶接すると良い。Ａ部の溶接後、Ｘ。
レス１（ＳＵＳｓｏｓ）である。フェルール８はフェル
ールホルダ７に２１ｔｍ程度のクリアランスでガイドさ
れておりマニュピレータでフェルール８を持ちｘ、ｙ、
ｚ方向に微調整することで最大結合効率の位置で保持す
る。通常約−＋ｄＢ程度の結合効率である。ここでます
２方向の固定スナワチフエルール８とフェルールホルダ
７のレーザ溶接固定を行う。第１図においてＡ部をα方
向あるいはβ方向からレーザ溶接を行う。α、β方向の
選択はレーザ溶接のパワーや、フェルールホルダ７の厚
みにもよるが、フェルールホルダ７の強度を考えるとｏ
、４ｆｉ以上の厚みが必要とされα方向からの溶接では
３〜４Ｊ以上のレーザ溶接パワーが必要となる。一方β
方向からのレーザ溶接では１〜２Ｊ程度のパワーで溶接
が可能となり、同程度のレーザ溶接パワーではβ方向か
ら溶接した場合が機械的強度は強くなる。これは、フェ
ルールホルダ７とレンズホルダ６との溶接すなわちＢ部
の溶接の場合でも同じである。フェルール８とフェルー
ルホルダアの溶接固定にし、８ケ所程度行なえば機械的
強度は充分である。レーザ溶接機としてはＹＡＧレーザ
のパルス発振のものを使用し、条件としてはパルス幅２
ｍ５ｅｃ、 レンズ二ｆ４０ｍｍ、スポットサイズφ
０．４ ｍｍ、１ソヨツト２Ｊでβ方向よりレーザ溶接
を行っている１、溶接の際、ステンレス鋼が溶けて固ま
る時にフェルールホルダ７が１０〜２０ ｌｔｍ程度２
方向に引き上けられるため、後にフェルールホルダ７と
レンズホルダ６を溶接すると最大結合時の位置Ｊ：す２
方向が１０′〜２０μｍ引き下けられ結合効率が劣化す
るので、あらかじめフェルール８を最大結合効率の得ら
れる位置よりも２方向に１０〜２０７ｚｆ１１下げてＡ
部を溶接すると良い。Ａ部の溶接後、Ｘ。
ｙ、ｚ方向のわずかな光学軸ずれが発生するため、再び
ｘ、ｙ、ｚ方向の微調整を行い、最大結合効率の位置で
保持する。Ｂ部すなわちフェルールホルダ７とレンズボ
ルダ６との溶接の際、両者の間に約１００μｍ以−Ｌの
隙間がある場合や、傾いて接触している場合には溶接不
可能となったり、結９ベーノ 合効率劣化の原因となるので、あおり調整機能を付加し
たマニュピレータで全面が接触するように調整する必要
がある。
ｘ、ｙ、ｚ方向の微調整を行い、最大結合効率の位置で
保持する。Ｂ部すなわちフェルールホルダ７とレンズボ
ルダ６との溶接の際、両者の間に約１００μｍ以−Ｌの
隙間がある場合や、傾いて接触している場合には溶接不
可能となったり、結９ベーノ 合効率劣化の原因となるので、あおり調整機能を付加し
たマニュピレータで全面が接触するように調整する必要
がある。
次に第２図を用いてＢ部の溶接固定について説明する。
図中の斜線部がフェルールホルダ７であり、１１はレー
ザ溶接部である。まず始めに、１１−ａの位置を溶接す
る。ここで光ファイバ素線９はステンレス鋼の溶融後の
硬化収縮により最大結合効率の位置から１１−２Ｌの方
向に位置ずれが起こる。光ファイバ素線９をコア径１０
μｍのシングルモードファイバとするとレーザ溶接ビー
ムの当てる角度や位置によって多少のばらつきはあるが
、約１０μｍ程度の位置ずれにより結合効率は最大結合
効率時より約１０ｄＢ劣化する。次に１１−ａとは対角
線上にある１１−ｂの位置を溶接すると光ファイバ素線
９は最大結合効率の位置に近づき結合効率の劣化は約３
ｄＢ程度となる。
ザ溶接部である。まず始めに、１１−ａの位置を溶接す
る。ここで光ファイバ素線９はステンレス鋼の溶融後の
硬化収縮により最大結合効率の位置から１１−２Ｌの方
向に位置ずれが起こる。光ファイバ素線９をコア径１０
μｍのシングルモードファイバとするとレーザ溶接ビー
ムの当てる角度や位置によって多少のばらつきはあるが
、約１０μｍ程度の位置ずれにより結合効率は最大結合
効率時より約１０ｄＢ劣化する。次に１１−ａとは対角
線上にある１１−ｂの位置を溶接すると光ファイバ素線
９は最大結合効率の位置に近づき結合効率の劣化は約３
ｄＢ程度となる。
次に１１−０．１ｌ−（１，１ｌ−ｅｌ、１１−ｆのう
ちいずれか一ケ所を溶接し結合効率の劣化の状態を見る
。１ｌ−ＣＮｆの位置は光ファイバ素線１ｏ・＼−／ ９を中心に１１−ａ、ｂから釣上４５°の角度をなす位
置としているがこれに限ってはいない。
ちいずれか一ケ所を溶接し結合効率の劣化の状態を見る
。１ｌ−ＣＮｆの位置は光ファイバ素線１ｏ・＼−／ ９を中心に１１−ａ、ｂから釣上４５°の角度をなす位
置としているがこれに限ってはいない。
例えば１１−ｄを溶接し結合効率が１１−ｂを溶接した
時よりも劣化した場合は、１１−ｄ′ｆ：溶接すること
によりさらに位置ずれが発生したとみなすことができ、
それを戻すためにその対角線上の１１−ｆを溶接する。
時よりも劣化した場合は、１１−ｄ′ｆ：溶接すること
によりさらに位置ずれが発生したとみなすことができ、
それを戻すためにその対角線上の１１−ｆを溶接する。
１１−ｆの溶接ににり戻りがない場合すなわち結合効率
の劣化が減少しない場合は１１−ｅ、１１−０を試みる
。１１−ｆの溶接で結合効率の劣化が減少する場合さら
に１１−ｆの近傍（例えば１ｌ−ｆ−１〜６）を溶接す
ると結合効率は最大結合効率に近づきあるところで変化
しなくなる。次に１１−０．１１−ｅ等を溶接してさら
に結合効率が最大結合効率に近つく場合その近傍を１１
−ｆで行ったように結合効率の変化がなくなるまで溶接
をつづける。ある時点でいずれの位置を溶接しても結合
効率の変化がなくなり、そこで、溶接間隔の広い所を溶
接して終了となる。杓子数回程度の溶接で最大結合効率
まで戻る。溶接組立後の最大結合効率からの劣化は約０
．５ｄＢ以［−Ｃあ（〕、０〜５０℃における出ノＪ変
動は−Ｌｏ、５ｄＢ以７： −ｃ ６る。Ｂ部の１１−
ａ、１１−ｂを７餐接１．ｌ（後は、先にも述べたよう
にいす）１の位置を浴接ｌ、でもかまわす結ａ効率が劣
化１−／１−ら子の位置の対１ｑ線イ・１近を打ち、結
合効率の劣化が減少したらその位置ノ！を傍を集中的に
ｍ接す、＃１は良い。
の劣化が減少しない場合は１１−ｅ、１１−０を試みる
。１１−ｆの溶接で結合効率の劣化が減少する場合さら
に１１−ｆの近傍（例えば１ｌ−ｆ−１〜６）を溶接す
ると結合効率は最大結合効率に近づきあるところで変化
しなくなる。次に１１−０．１１−ｅ等を溶接してさら
に結合効率が最大結合効率に近つく場合その近傍を１１
−ｆで行ったように結合効率の変化がなくなるまで溶接
をつづける。ある時点でいずれの位置を溶接しても結合
効率の変化がなくなり、そこで、溶接間隔の広い所を溶
接して終了となる。杓子数回程度の溶接で最大結合効率
まで戻る。溶接組立後の最大結合効率からの劣化は約０
．５ｄＢ以［−Ｃあ（〕、０〜５０℃における出ノＪ変
動は−Ｌｏ、５ｄＢ以７： −ｃ ６る。Ｂ部の１１−
ａ、１１−ｂを７餐接１．ｌ（後は、先にも述べたよう
にいす）１の位置を浴接ｌ、でもかまわす結ａ効率が劣
化１−／１−ら子の位置の対１ｑ線イ・１近を打ち、結
合効率の劣化が減少したらその位置ノ！を傍を集中的に
ｍ接す、＃１は良い。
−土た１１−ａ、１１−ｂのｋｌ接は、あらかじめ対角
＋ｔｌ ｔ−に設置さｆ’＋ ７’こ２つのレーザ溶接
ヘット゛−で２点間時溶接することにより結合効率の劣
化も少なく、最大結合効率に戻るのに少ない溶接回数で
済む。寸だＡ部の溶接とＢ部の溶接の順番を逆にすると
Ｂ部（フェルールホルダ７とレンズホルダ６）のｔ餐接
による光学軸す′ＩｌをＡ部（フェルール８と７エルー
ルホルダ７）の溶接により戻すことが必要となり、Ａ部
のＭ接用能部分か少ないことと、フェルールホルタ７と
フェルール８のクリアランスが２μｍ程度しかないとと
から非常に困難である。
＋ｔｌ ｔ−に設置さｆ’＋ ７’こ２つのレーザ溶接
ヘット゛−で２点間時溶接することにより結合効率の劣
化も少なく、最大結合効率に戻るのに少ない溶接回数で
済む。寸だＡ部の溶接とＢ部の溶接の順番を逆にすると
Ｂ部（フェルールホルダ７とレンズホルダ６）のｔ餐接
による光学軸す′ＩｌをＡ部（フェルール８と７エルー
ルホルダ７）の溶接により戻すことが必要となり、Ａ部
のＭ接用能部分か少ないことと、フェルールホルタ７と
フェルール８のクリアランスが２μｍ程度しかないとと
から非常に困難である。
発明の効果
以上述べてきたように本発明によノｌば、製造が容易で
ゲＩＪ告中”’） ４．’ｉ Ａ ′≧！＋ ４ミの劣
化か少７へ＜ 、１．、Ｇ Ｉｔｌｌ的に伝相性に＃
：ｉｉ ；ケ゛１川り体１・−ザ・光ノア１バ結合装置
か実［ｔ＾でペイ１、。
ゲＩＪ告中”’） ４．’ｉ Ａ ′≧！＋ ４ミの劣
化か少７へ＜ 、１．、Ｇ Ｉｔｌｌ的に伝相性に＃
：ｉｉ ；ケ゛１川り体１・−ザ・光ノア１バ結合装置
か実［ｔ＾でペイ１、。
４、図面の筒中−シー説明
第１図は−を発明の一実施例にＩ、・け；÷＞ｊ商１７
体Ｉ、・−り゛ ）ｖ１ファイバ結合装置内１要竜ノｊ
ｌ、ｌ：を説明−Ｊ゛るＡ−めの平棉体Ｉ／−〜−リ
−・光ファイバ結合装部のｌ＋ｊ＋ ＋Ｔｒｉ図、第２
１ツｌ ｋｌ １７’ｉｉツノ−θ、にＪ゛る１／−９
２１１１３部分の概略十Ｌｈ１図、第３図は＜ｉｆ：来
の製ｉｉ、１ｌＪＪ法合説明するための半桿体１／−１
・光ファ・１バ結合装置０′）四面図である３、２
・半、 、ｉ−ｊ’、’ｉ体レーザ、５・・・・球レン
ズ、６・・・・・レンズホルり、７ ・・・・フェルー
ルホルタフェルール、９・・・・・Ｗ；７７４ハ素線、
１１・・・・・［／−ザｕｆ接部，、 代理人の氏名 弁理ト 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 フェル−几 第３図
体Ｉ、・−り゛ ）ｖ１ファイバ結合装置内１要竜ノｊ
ｌ、ｌ：を説明−Ｊ゛るＡ−めの平棉体Ｉ／−〜−リ
−・光ファイバ結合装部のｌ＋ｊ＋ ＋Ｔｒｉ図、第２
１ツｌ ｋｌ １７’ｉｉツノ−θ、にＪ゛る１／−９
２１１１３部分の概略十Ｌｈ１図、第３図は＜ｉｆ：来
の製ｉｉ、１ｌＪＪ法合説明するための半桿体１／−１
・光ファ・１バ結合装置０′）四面図である３、２
・半、 、ｉ−ｊ’、’ｉ体レーザ、５・・・・球レン
ズ、６・・・・・レンズホルり、７ ・・・・フェルー
ルホルタフェルール、９・・・・・Ｗ；７７４ハ素線、
１１・・・・・［／−ザｕｆ接部，、 代理人の氏名 弁理ト 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 フェル−几 第３図
Claims (4)
- （１）半導体レーザと、光ファイバと、前記半導体レー
ザからの出射光を前記光ファイバに集光するレンズと、
前記半導体レーザとレンズを固定する第１の固定部材と
、前記光ファイバを、光学軸に対して平行および垂直方
向に位置調整が可能なように前記第１の固定部材に固定
する第２の固定部材を具備し、前記光ファイバを、結合
効率が最大の位置で光学軸平行方向を前記第２の固定部
材にレーザ溶接で固定することを第１の工程とし、第２
の工程として前記光ファイバの光学軸平行方向を固定し
た前記第２の固定部材を、光学軸垂直方向に位置調整し
結合効率が最大となる位置で前記第１の固定部材にレー
ザ溶接で固定することを特徴とする半導体レーザ・光フ
ァイバ結合装置の製造方法。 - （２）第２の工程で第２の固定部材を第１の固定部材に
レーザ溶接で固定するとき、互いに対角線上にある２点
を連続して溶接固定した後に、光学軸ずれを戻す位置を
先に溶接固定することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の半導体レーザ・光ファイバ結合装置の製造方法
。 - （３）第２の工程で第２の固定部材を第１の固定部材に
レーザ溶接で固定するとき、互いに対角線上にある２点
を同時溶接固定した後に、光学軸ずれを戻す位置を先に
溶接固定することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の半導体レーザ・光ファイバ結合装置の製造方法。 - （４）レーザ溶接はＹＡＧレーザ溶接であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の半導体
レーザ・光ファイバ結合装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60204712A JPS6263906A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60204712A JPS6263906A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263906A true JPS6263906A (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=16495057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60204712A Pending JPS6263906A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263906A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63163416A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-06 | Toshiba Corp | 光半導体装置の製造方法 |
| JPS63150908U (ja) * | 1987-03-24 | 1988-10-04 | ||
| JPS6430510U (ja) * | 1987-08-19 | 1989-02-23 | ||
| JPH0713049A (ja) * | 1993-06-28 | 1995-01-17 | Nec Corp | 光モジュール組立方法 |
| JP2004271817A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 光モジュールおよび光モジュールの製造方法 |
| JP2009025640A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Anritsu Corp | 光学部品の光軸調整方法および光軸調整装置、該光軸調整方法で調整された光学部品、ならびに光学部品の製造方法 |
| JP2010276840A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Nichia Corp | 発光装置の製造方法 |
| JP2011208620A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Toyota Motor Corp | タービンローターの製造方法 |
| JP2014131002A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Panasonic Corp | 光デバイスの取付部材、光デバイスの取付方法、ガスセンサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5175453A (ja) * | 1974-12-25 | 1976-06-30 | Fujitsu Ltd | Hikarihandotaisoshito hikaridensorotono ketsugohoho |
| JPS54133443A (en) * | 1978-04-10 | 1979-10-17 | Toshiba Corp | Welding machine for end plug |
| JPS59166907A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体レ−ザ結合装置 |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP60204712A patent/JPS6263906A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2014131002A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Panasonic Corp | 光デバイスの取付部材、光デバイスの取付方法、ガスセンサ |
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