JPS627433Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS627433Y2 JPS627433Y2 JP4013481U JP4013481U JPS627433Y2 JP S627433 Y2 JPS627433 Y2 JP S627433Y2 JP 4013481 U JP4013481 U JP 4013481U JP 4013481 U JP4013481 U JP 4013481U JP S627433 Y2 JPS627433 Y2 JP S627433Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- air
- tube
- pipe
- purge
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- Expired
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- Cleaning In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はエア・パージ・ガンの構造の改良に関
する。
する。
フオト・マスク製造工程や半導体装置のウエー
ハ・プロセス工程に於ては、マスク基板や半導体
基板上に附着した塵埃等の固形異物を除去する手
段としてエア・パージ・ガンによる吹き払い処理
がなされる。
ハ・プロセス工程に於ては、マスク基板や半導体
基板上に附着した塵埃等の固形異物を除去する手
段としてエア・パージ・ガンによる吹き払い処理
がなされる。
そして従来上記吹き払い処理は第１図に示すよ
うに、一様な内径を有する送気管１の、閉じられ
た一端部に所望の直径を有する小孔からなる噴気
孔２が形成された構造を有してなるエア・パー
ジ・ガンを用い、該エア・パージ・ガンの噴気孔
２から所望の流速を有する窒素（N2）或るいは乾
燥空気等を噴出せしめ、これら噴出気体３によ
り、マスク基板或るいは半導体基板上を一縁部か
ら全面にわたつて順次吹き払う方法によつて行わ
れていた。
うに、一様な内径を有する送気管１の、閉じられ
た一端部に所望の直径を有する小孔からなる噴気
孔２が形成された構造を有してなるエア・パー
ジ・ガンを用い、該エア・パージ・ガンの噴気孔
２から所望の流速を有する窒素（N2）或るいは乾
燥空気等を噴出せしめ、これら噴出気体３によ
り、マスク基板或るいは半導体基板上を一縁部か
ら全面にわたつて順次吹き払う方法によつて行わ
れていた。
しかし上記従来構造のエア・パージ・ガンを使
用した際には、噴出気体３中に矢印４に示すよう
な外気の巻き込みが生じ、外気中に浮遊する塵埃
等が噴出気体３と共に被処理基板上に吹き付けら
れ、被処理基板面を汚染して、フオト・マスクや
半導体装置の品質や製造歩留まりを低下せしめる
という問題があつた。
用した際には、噴出気体３中に矢印４に示すよう
な外気の巻き込みが生じ、外気中に浮遊する塵埃
等が噴出気体３と共に被処理基板上に吹き付けら
れ、被処理基板面を汚染して、フオト・マスクや
半導体装置の品質や製造歩留まりを低下せしめる
という問題があつた。
本考案は上記問題点に鑑み、噴出気体中に外気
が巻き込まれることを防止したエア・パージ・ガ
ン構造を提供する。
が巻き込まれることを防止したエア・パージ・ガ
ン構造を提供する。
即ち本考案はエア・パージ・ガンに於て、細い
内径を有する第１の管と、該第１の管にテーパ部
を介して接続された、テーパ部の基部近傍に複数
個の噴気孔を有する第２の管と、前記噴気孔より
もテーパ部から離れた領域に於てその基部が第２
の管に固着された前記第１の管を含み、且つ前記
第１の管の開口面近傍に開口部を持つ傘状の反射
板とを有してなることを特徴とする。
内径を有する第１の管と、該第１の管にテーパ部
を介して接続された、テーパ部の基部近傍に複数
個の噴気孔を有する第２の管と、前記噴気孔より
もテーパ部から離れた領域に於てその基部が第２
の管に固着された前記第１の管を含み、且つ前記
第１の管の開口面近傍に開口部を持つ傘状の反射
板とを有してなることを特徴とする。
以下本考案を第２図ａ及びｂに示す一実施例の
断面図及び正面図、第３図に示す該一実施例の動
作説明図を用いて詳細に説明する。
断面図及び正面図、第３図に示す該一実施例の動
作説明図を用いて詳細に説明する。
本考案のエア・パージ・ガンは第２図に示すよ
うに、例えば２〜３〔mmφ〕程度を有し長さ20
〔mm〕程度のステンレス等の、電導性を有し（静
電気が蓄積されないため）、且つ表面が清浄に保
てる材料からなる第１の管、即ち噴気ノズル１１
が、テーパ部１２を介して例えば５〜10〔mmφ〕
程度の前記噴気ノズル１１より大きな内径を有
し、且つ前記噴気ノズルと同様の材質からなる第
２の管、即ち送気管１３と接続されてなつてい
る。そして該送気管１３に於ける前記テーパ部１
２の基部近傍には、該送気管１３の管周に沿つ
て、例えば１列状に開口径が0.5〔mmφ〕程度の
大きさの、複数個の噴気孔１４が形成されてい
る。又該送気管１３の外側には、前記噴気孔１４
よりも噴気ノズル１１から遠い位置に基部１５が
固着された、例えばステンレス等の導電性を有
し、表面が清浄に保ち得る材質からなり、前記噴
気孔１４を焦点とするようなパラボラ形の傘状に
形成され、且つ前記噴気ノズル１１を含み、その
開口面Ｓ近傍に開口部１６を有する反射板１７を
有してなつている。なお該反射板１７の開口部１
６は、前記噴気ノズル１１の開口面Ｓよりも図に
示すようにやや突出している方が好ましい。
うに、例えば２〜３〔mmφ〕程度を有し長さ20
〔mm〕程度のステンレス等の、電導性を有し（静
電気が蓄積されないため）、且つ表面が清浄に保
てる材料からなる第１の管、即ち噴気ノズル１１
が、テーパ部１２を介して例えば５〜10〔mmφ〕
程度の前記噴気ノズル１１より大きな内径を有
し、且つ前記噴気ノズルと同様の材質からなる第
２の管、即ち送気管１３と接続されてなつてい
る。そして該送気管１３に於ける前記テーパ部１
２の基部近傍には、該送気管１３の管周に沿つ
て、例えば１列状に開口径が0.5〔mmφ〕程度の
大きさの、複数個の噴気孔１４が形成されてい
る。又該送気管１３の外側には、前記噴気孔１４
よりも噴気ノズル１１から遠い位置に基部１５が
固着された、例えばステンレス等の導電性を有
し、表面が清浄に保ち得る材質からなり、前記噴
気孔１４を焦点とするようなパラボラ形の傘状に
形成され、且つ前記噴気ノズル１１を含み、その
開口面Ｓ近傍に開口部１６を有する反射板１７を
有してなつている。なお該反射板１７の開口部１
６は、前記噴気ノズル１１の開口面Ｓよりも図に
示すようにやや突出している方が好ましい。
第３図は上記一実施例の構造を有するエア・パ
ージ・ガンの動作状態を示すものである。即該エ
ア・パージ・ガン１８に圧力調整弁１９フイルタ
２０等を経て例えば0.3〜0.5〔Kg／cm2〕程度の圧
力を有するN2ガスを供給すると、内径の小さい
噴気ノズル１１内は高圧になり、該噴気ノズル１
１の先端からは多量のN2パージガスN2′が高速で
噴出される。又送気管１３の噴気孔１４からは、
該送気管１３内が前記噴気ノズル１１内より内径
が大きく圧力が低いために、前記噴気ノズル１１
から噴出されるパージ・ガスN2′より低速のN2ガ
スが噴出する。そして該N2ガスは反射板１７の
内面で反射され、前述のように噴気孔１４が反射
板１７の焦点附近に設けられているために、該
N2ガスは噴気ノズル１１から噴出されるパー
ジ・ガスN2′の噴射軸とほぼ平行に流れ、パー
ジ・ガスN2′流の周囲にN2ガスのカーテンを形成
し外気を遮断する。従つてパージガスN2′中に巻
き込まれるのはカーテンを形成している塵埃を含
まないN2ガスのみとなりパージ・ガスN2′の清浄
度が保たれる。
ージ・ガンの動作状態を示すものである。即該エ
ア・パージ・ガン１８に圧力調整弁１９フイルタ
２０等を経て例えば0.3〜0.5〔Kg／cm2〕程度の圧
力を有するN2ガスを供給すると、内径の小さい
噴気ノズル１１内は高圧になり、該噴気ノズル１
１の先端からは多量のN2パージガスN2′が高速で
噴出される。又送気管１３の噴気孔１４からは、
該送気管１３内が前記噴気ノズル１１内より内径
が大きく圧力が低いために、前記噴気ノズル１１
から噴出されるパージ・ガスN2′より低速のN2ガ
スが噴出する。そして該N2ガスは反射板１７の
内面で反射され、前述のように噴気孔１４が反射
板１７の焦点附近に設けられているために、該
N2ガスは噴気ノズル１１から噴出されるパー
ジ・ガスN2′の噴射軸とほぼ平行に流れ、パー
ジ・ガスN2′流の周囲にN2ガスのカーテンを形成
し外気を遮断する。従つてパージガスN2′中に巻
き込まれるのはカーテンを形成している塵埃を含
まないN2ガスのみとなりパージ・ガスN2′の清浄
度が保たれる。
なお上記実施例に於ては噴気孔を１例状に設け
たが、該噴気孔は複数列設ければ更に効果は大き
くなる。
たが、該噴気孔は複数列設ければ更に効果は大き
くなる。
又反射板はパラボラ形に限らず、パージ・ガス
に平行にこれを包むガス・カーテンが形成できる
形状であれば良い。
に平行にこれを包むガス・カーテンが形成できる
形状であれば良い。
以上説明したように、本考案のエア・パージ・
ガンを用いることにより、吹き払い処理に際して
外気の巻き込みが防止され、塵埃等を含まない清
浄なパージ・ガス流が得られるので、被処理基板
の汚染が防止でき、フイト・マスク、半導体装置
等の製造歩留まりや品質を向上せしめることがで
きる。
ガンを用いることにより、吹き払い処理に際して
外気の巻き込みが防止され、塵埃等を含まない清
浄なパージ・ガス流が得られるので、被処理基板
の汚染が防止でき、フイト・マスク、半導体装置
等の製造歩留まりや品質を向上せしめることがで
きる。
第１図は従来のエア・パージ・ガンの断面図、
第２図ａ及びｂは本考案のエア・パージ・ガンに
於ける一実施例の断面図及び正面図で、第３図は
該一実施例に於ける動作説明図である。 図に於て、１１は噴気ノズル、１２はテーパ
部、１３は送気管、１４は噴気孔、１５は反射板
基部、１６は反射板開口部、１７は反射板、１８
はエア・パージ・ガン、１９は圧力調整弁、２０
はフイルタ、Ｓは噴気ノズルの開口面、N2は窒
素ガス、N2′はパージ・ガスを示す。
第２図ａ及びｂは本考案のエア・パージ・ガンに
於ける一実施例の断面図及び正面図で、第３図は
該一実施例に於ける動作説明図である。 図に於て、１１は噴気ノズル、１２はテーパ
部、１３は送気管、１４は噴気孔、１５は反射板
基部、１６は反射板開口部、１７は反射板、１８
はエア・パージ・ガン、１９は圧力調整弁、２０
はフイルタ、Ｓは噴気ノズルの開口面、N2は窒
素ガス、N2′はパージ・ガスを示す。
Claims (1)
- 細い内径を有する第１の管と、該第１の管にテ
ーパ部を介して接続された、テーパ部の基部近傍
に複数個の噴気孔を有する第２の管と、前記噴気
孔よりもテーパ部から離れた領域に於てその基部
が第２の管に固着された、前記第１の管を含み、
且つ前記第１の管の開口面近傍に開口部を持つ傘
状の反射板とを有してなることを特徴とするエ
ア・パージ・ガン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013481U JPS627433Y2 (ja) | 1981-03-20 | 1981-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013481U JPS627433Y2 (ja) | 1981-03-20 | 1981-03-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57154144U JPS57154144U (ja) | 1982-09-28 |
| JPS627433Y2 true JPS627433Y2 (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=29837244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4013481U Expired JPS627433Y2 (ja) | 1981-03-20 | 1981-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627433Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-03-20 JP JP4013481U patent/JPS627433Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57154144U (ja) | 1982-09-28 |
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