JPS6276533U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6276533U JPS6276533U JP16862185U JP16862185U JPS6276533U JP S6276533 U JPS6276533 U JP S6276533U JP 16862185 U JP16862185 U JP 16862185U JP 16862185 U JP16862185 U JP 16862185U JP S6276533 U JPS6276533 U JP S6276533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- lid
- opening
- centrifugal dehydration
- dehydration section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す要部の断面
図、第２図は従来のドライヤを示す斜視図である
。 図中、２はカセツト、３はウエハ、４は遠心脱
水部、７は上板、７ａは開口部、８は蓋スライド
上下機構、９は蓋である。尚、図中同一符号は同
一または相当部分を示す。
図、第２図は従来のドライヤを示す斜視図である
。 図中、２はカセツト、３はウエハ、４は遠心脱
水部、７は上板、７ａは開口部、８は蓋スライド
上下機構、９は蓋である。尚、図中同一符号は同
一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 収納容器内に洗浄した半導体基板を収納した状
態で遠心脱水部に入れ乾燥させる半導体基板乾燥
装置において、上記遠水脱水部の上板の一部に上
記容器の出し入れのための開口部を設け、この開
口部を開閉する蓋とこの蓋を動かす上下スライド
機構を備えたことを特徴とする半導体基板乾燥装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16862185U JPS6276533U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16862185U JPS6276533U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6276533U true JPS6276533U (ja) | 1987-05-16 |
Family
ID=31101667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16862185U Pending JPS6276533U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6276533U (ja) |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP16862185U patent/JPS6276533U/ja active Pending
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