JPS6276701A - ガラス封止型抵抗素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 バー　の１　ノ 本発明は抵抗素子に関し、特にガラス封止型抵抗素子に
関する。

鷹皮些皮肛 混成集積回路装置はセラミック等の絶縁基板に導電ペー
ストにて配線パターンを形成し、配線パターン間に抵抗
ペーストにて抵抗層を形成し、さらに、配線パターンの
所定部分にコンデンサや半導体ペレット等の個別素子を
マウントし、電子回路を構成するようにしたものである
。

ここで、配線パターンや抵抗層はスクリーン印刷法等に
よって正確かつ容易に形成される。

ところで、抵抗層は巾や長さによって抵抗値が設定され
るが、抵抗ペーストの粘度のばらつきなどによって抵抗
値がばらつ（。

しかしながら抵抗層を一括形成すれば個々の抵抗値はば
らついたとしても抵抗値の比はあまり変化しないため電
子回路への影響は小さい。

しかしながら、抵抗値の偏差が小さく、抵抗温度特性が
良好であることが要求される部分には要求される規格を
満足した個別の抵抗素子が用いられる。

第７図は金属皮膜抵抗素子の一例を示すもので、図にお
いて１はセラミック棒、２はセラミック棒１の外周面に
真空蒸着法や無電解メッキ法などにより形成したＮ１−
ＣｒあるいはＴａＮ等の金属薄膜、３はセラミック棒１
の両端に嵌合され金属薄膜２に電気的に接続された金属
キャップで、図示しないがロウ材により固定されている
。４は金属キャップ３から延びるリード、５は金属キャ
ップ３゜３及び金属薄膜２を被覆し、金属薄膜２を保護
すると共にリード４，４の引っ張り強度を向上させる樹
脂外装部を示す。

なお、金属薄膜２は抵抗値を許容範囲におさめるために
スパイラルカットしている。

また、この抵抗素子は温度特性や抵抗値の変動が小さく
、準精度抵抗としても利用されている。

口（′− ところで、この抵抗素子は樹脂にて外装されているとは
いえ、定格電力いっばいあるいは定格電力を越えて使用
すると自己発熱によって金属薄膜２が品温にさらされ酸
化して抵抗値が変化するという問題があった。

またキャップ３は金属薄膜２に対する電気的接続は良好
でもセラミック棒１に対する熱的接続は必ずしも良好と
はいえず、また樹脂５も熱伝導性、熱輻射性が劣るため
金属薄膜２で発生した熱を効率良く除去することができ
ず、高温動作には向いていなかった。

ロロ　−　　“　　ための一 本発明は上記問題点に鑑み提案されたもので、ガラスス
リーブの両端を一対のスラグにて封着し、スラグ対向面
間に各スラグと電気的に接続された抵抗薄膜を形成した
ことを特徴とする。

尖凰叶 以下に本発明の一実施例を第１図から説明する。

図において６はガラススリーブ、７はジュメット線等の
ガラスに対する濡れ性の良好な材料からなるスラグ、８
はスラグ７の一端に溶接固定したリード、９はセラミッ
ク等の絶縁ロッドで両端に導体層ｌＯを形成している。

１１は絶縁ロッド９の外周面にスパイラル状に形成され
両端部が導体層ｌＯと電気的に接続された抵抗薄膜を示
す。

以下この抵抗素子の製造方法の一例を第２図及び第３図
から説明する。先ず、第２図に示すようにカーボンブロ
ックにガラススリーブ６、リード８を挿通する貫通孔１
２ａを同軸的に穿設した下治具１２にガラススリーブ６
、スラグリード７．８を収容し、さらに両端に導体層１
０を形成し外周面全面に抵抗薄膜１１′を形成した絶縁
ロッド９を収容する。そして下治具Ｉ２と同様に第３図
に示すようにスラグリード７．８を収容する貫通孔１３
ａを穿設した上治具■３に予めスラグリード７．８を収
容した状態で、下治具１２に上治具１３を重ね合わせ、
ガラススリーブ６内の絶縁ロッド９上にスラグ７を載せ
る。

そしてこの上下治具１２．１３を真空容器（図示せず）
内に配置し、真空容器内を排気して、カーボン治具１２
．１３に通電して発熱させスラグ７．７とガラススリー
ブ６とを封着する。

そしてガラススリーブ６を通して抵抗薄膜＋１’にレー
ザスポット光を当ててスパイラル状の抵抗薄膜を形成し
第１図抵抗素子を得る。

この抵抗素子は抵抗薄膜１１が気密に封止されたガラス
スリーブ内に配置されているため、発熱によって高温と
なっても酸化されない。

また絶縁ロッド９はスラグ７に圧接しているため、抵抗
薄膜ＩＩの熱が絶縁ロッド９からスラグ７゜７に伝わり
易く、放熱性も良好で、定格電力を大きくできる。

また本発明の他の実施例を第４図から説明する。

図において１４はガラススリーブ、１５はスラグで、ジ
ュメット線等をプレス成形して中間部に段部ををし両端
が異径の円柱状に形成され、小径部とガラススリーブ１
４の内周面とが気密に封着されている。Ｉ６は一対のス
ラグ１５．１５間で、ガラススリーブ１４の内周面にス
パイラル状に形成され、両端がスラグ１５．１５に電気
的に接続された抵抗薄膜を示す。

以下、この抵抗素子の製造方法の一例を第５図及び第６
図から説明する。先ず、図示しないが冶具上にスラグＩ
５、ガラススリーブ１４を順次積み重ねガラススリーブ
１４内に薄状又はペレット状又は線状の抵抗薄膜の材料
１６”を収容して、さらにスリーブ１４上にスラグ１５
を積み重ねる。そしてこの状態でスラグ１５．１５とガ
ラススリーブ１４を気密に封着する。

その後第６図に示すようにガラススリーブ１４の外部か
らスリーブ１４内の抵抗薄膜材料１６′にレーザ光を当
てて抵抗薄膜材料１６“を溶かし蒸気をガラススリーブ
１４内に付着させ抵抗層１６”を形成する。抵抗薄膜材
料ＩＧ’としてはＮｉ−Ｃｒ、　Ｎｉ−Ｃｒ　−Ｆｅ、
　Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ、等が固有抵抗が大きく好ましいが
、融点が１４００〜ｌ５２０°Ｃと極めて高く、ガラス
やスラグへの伝熱導により封着を損なったり破損する虞
があるため、レーザ光を間歇的に照射して所望部分以外
の温度上昇を制限する必要がある。蒸着の進行により、
レーザ光がスリーブ１４内面の蒸着面で反射され蒸着の
進行が停止するが、材料１Ｇ’が余るとこれがスリーブ
１Ｂ内で移動するため予め材料ＩＧ’をスラグ１５に溶
着固定しておく。

このようにしてスリーブ１４内面に抵抗層１６”９を形
成した後、レーザ光の焦点をガラススリーブ１４の内面
に合わせ、スリーブ１４を回転と同時に軸方向に移動さ
せ、抵抗層１６”にスパイラル状の透光部を形成する。

このトリミング作業時にスラグ１５゜１５間の抵抗値を
測定し、抵抗値が所定値になったところでトリミング作
業を終了し、第４図抵抗素子を得る。

尚、本発明は上記実施例にのみ限定されることなく、例
えば第１図実施例では絶縁ロッド９はスラグ７．７の単
なるスペーサとして用い、スリーブ６内面に予め抵抗薄
膜を形成したものを用いてもよい。この場合、絶縁ロッ
ド９の外周面に段部を形成し、抵抗薄膜のトリミングに
よって蒸発した絶縁ロンドの両端間が導通するのを防止
するようにしてもよい。また第４図実施例でもスラグ１
５゜１５間に絶縁スペーサを介在させてもよいし、予め
内面に抵抗薄膜を形成したガラススリーブを用いてもよ
い。またスリーブ内に不活性ガスを封入し対流により熱
伝導性を良好にできる。

処敦 以上のように、本考案によれば、抵抗薄膜が気密封止さ
れたガラススリーブ内にあるため、長時間高温状態にあ
っても酸化されず、抵抗値の経時変化が小さい。

またスラグにより抵抗薄膜の熱を外部に伝達するため放
熱性が良好で、定格電力を大きくできる。

また抵抗素子の製造後でもガラススリーブ外部から抵抗
薄膜をトリミングして抵抗値を変えることも可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第２図及び
第３図は第１図抵抗素子の製造方法を示す側断面図、第
４図は本発明の他の実施例を示す側断面図、第５図及び
第６図は第４図抵抗素子の製造方法を示す側断面図、第
７図は従来の抵抗素子の一例を示す側断面図である。 ６．１４・・・ガラススリーブ、 ７、　７．１５．１５・・・スラグ、 ＩＩ、　ＩＧ・・・抵抗薄膜。 特許出願人　　　関西日本電気株式会社（］］ 第　］　　図　本発日月（２ようｊ色坑圭ｊ泡尺すイ剰
峙１図第２図　　　　第３図 ８４　　　図　本イピσ月のイー１！！／１文施イｐＪ
ｓ丞チ史ｊ西７図２　　］ 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガラススリーブの両端を一対のスラグにて封着し、スラ
   グ対向面間に各スラグと電気的に接続された抵抗薄膜を
   形成したことを特徴とするガラス封止型抵抗素子。