JPS6280617A - インテグレ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造装置等に用いられるインテグレー
タに関するものである。

従来の技術 インテグレータの機能は、強度分布のある光を一様な強
度分布の光にするものである。

そして、その原理は第６図に示すように光イに対してレ
ンズ口を多数並べ各部分の光を拡げることによって強度
分布のある光を一様な強度分布の光にする。

従来の技術としては第７図に示すようなフライアイイン
テグレータがある。これは凹または凸レンズのようなマ
イクロレンズαを多数並べることによってインテグレー
タとしての機能を出している。

発明が解決しようとする問題点 上記したフライアイインテグレータのような構造では加
工が困難であり、高価なものになっていた。

また、フライアイインテグレータではマイクロレンズα
を接着剤で接合したものであるので、深紫外光であるエ
キシマレーザを光源として用いた場合、接着剤（ポリマ
ー）の光吸収による劣化が激しく耐久性に問題があった
。

本発明は上記の事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところはシリンドカルレンズを組み合せてイ
ンテグレータを構成し、加工を簡単にすると共に安価に
しまた紫外光のインテグレータとしても使用できるよう
にすることにある。

問題点を解決するための手段及び作用 上記の目的を達成するために、本発明に係るインテグレ
ータは、透明体１の一方の面にシリンドリカルレンズ２
を一方向に平行に多数並べて形成すると共に透明体１の
他方の面に一方の而のシリンドリカルレンズ２の方向と
は直角方向にシリンドリカルレンズ３を平行に多数並べ
て形成してあり、一方向例えば水平方向の光をシリンド
リカルレンズ２により拡げ、垂直方向の光をシリンドリ
カルレンズ３によって拡げてインテグレータとしての機
能を出すようにしたものである。

実施例 以下、本発明の実施例を第１図反型第４図を参照して説
明する。

図面中１はガラスのような透明体であり、透明体１の一
方の面には凹状のシリンドリカルレンズ２が水平方向に
平行に多数並べて形成してあり、透明体Ｉの他方の面に
は一方の面のシリンドリカルレンズ２に対して直角な方
向のシリンドリカルレンズ３が平行に多数並べて形成し
である。

このように構成されたインテグレータ４において、水平
方向のシリンドリカルレンズ２は水平方向の光を拡げる
し、また垂直方向のシリンドリカルレンズ３は垂直方向
の光を拡げる。このようにしてインテグレータとしての
機能を出す。

なお、シリンドリカルレンズ２．３は凹レンズに限らず
凸レンズでもよい。

紫外光のインテグレータとしての使用の場合は透明体１
の材質に石英ガラスを用いる。

エキシマレーザのレーザビーム７は不均質な九め、その
ｔまレーザ照射を行なうと反応が不均質となり均質な照
射を行なうことができない。

そこで第２図に示すようにレーザＣＶｆ）装置において
、レーザ発生器５から出たレーザビー　　・ム７がミラ
ー６に反射されて反応チャンバー８に入る前の部分に本
発明に係るインテグレータ４を位置させ基板９の表面に
均一なレーザビーム７を照射することによって均算なＣ
ＶＤを行なうことができる。

また、エキシマレーザのレーザビーム７は不均算なため
そのままコンデンサーレンズ１０にレーザビーム７を照
射するとウェハー１１上の像面が不均算なためリソグラ
フィーを行なうことができない。

そこで、第３図に示すようにレーザビーム７がコンデン
サーレンズ１０に入る前のところに本発明に係るインテ
グレータ４を位置させレチクル１２の面に均一なレーザ
ビーム７を照射することによって、ウェハー１１上に均
一な像面を形成させることができる。１３は縮小レンズ
である。

現状でのエキシマレーザおよび応用範囲を考えて溝巾Ｌ
（２〜６麺）、±２０≦曲率半径Ｒ≦±２０．０の矩形
インテグレータを実際に製作し、レーザビームの強度分
布を測定した結果を第４図に示す。第５図は矩形インテ
グレータを使用しない場合のエヤシマレーザのビーム強
度分布である。

第４図と第５図の比較により非常に高性能なインテグレ
ータであることが判明した。

発明の効果 本発明に係るインテグレータは透明体１の一方の面にシ
リンド　リ　カルレンズ２を一方向に平行に多数並べて
形成すると共に透明体１の他方の面に一方の面のシリン
ドリカルレンズ２の方向とな直角方向にシリンドリカル
レンズ３を平行に多数並べて形成して構成したから、一
方向例えば水平方向の光をシリンドリカルレンズ２によ
り拡げ、垂直方向の光をシリンドリカルレンズ３によっ
て拡げてインテグレータとしての機能を出すことかで・
きる。

このように、シリンドリカルレンズ２．３を組み合せた
簡単な構成であるために加工が簡単になり安価になるし
、接着剤を使用しないので紫外光のインテグレータとし
ても使用できる。

【図面の簡単な説明】

；窮１図は本発明一実施例の斜視図、第２図は本発明に
係るインテグレータを使用したレーザＣＶＤ装置の説明
図、第３図は本発明に係るインテグレータを使用したレ
ーザリングラフイー装置の説明図、第４図は本発明に係
るインテグレータを使用した場合のビーム強度分布の説
明図、第５図はエキシマレーザのビーム強度分布の説明
図、第６図はインテグレータの原理説明図、第７図は従
来のインテグレータの斜視図である。 １は透明体、２．３はシリンドリカルレンズ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明体１の一方の面にシリンドリカルレンズ２を一方向
   に平行に多数並べて形成すると共に透明体１の他方の面
   に一方の面のシリンドリカルレンズ２の方向とは直角方
   向にシリンドリカルレンズ３を平行に多数並べて形成し
   たことを特徴とするインテグレータ。