JPH03203277A - パルスガスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスガスレーザ発振装置Info
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- JPH03203277A JPH03203277A JP34430189A JP34430189A JPH03203277A JP H03203277 A JPH03203277 A JP H03203277A JP 34430189 A JP34430189 A JP 34430189A JP 34430189 A JP34430189 A JP 34430189A JP H03203277 A JPH03203277 A JP H03203277A
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- JP
- Japan
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- electrode
- gas
- gas laser
- pressure adjustment
- blower
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はパルスガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
第２図はパルスガスレーザ発振装置の構成国であって、
ガスレーザ管１の内部には第１電極２と第２電極３とが
対向配置されるとともにこれら第１電極２と第２電極３
と間に第３電極４が配置されている。この第３ｆｆｉ極
４には第３図に示すように多数の孔５が形成されて電子
やイオンなどの荷電粒子が通過するようになっている。
ガスレーザ管１の内部には第１電極２と第２電極３とが
対向配置されるとともにこれら第１電極２と第２電極３
と間に第３電極４が配置されている。この第３ｆｆｉ極
４には第３図に示すように多数の孔５が形成されて電子
やイオンなどの荷電粒子が通過するようになっている。
このように第３電極４が配置されることにより、第１電
極２と第３電極４とにより第１放電空間Ａが形成される
とともに第２電極３と第３電極４とにより第２放電空間
Ｂが形成される。上記第１電極２と第３電極４との間に
は放電用コンデンサＣＰｌ＋ Ｃ１１２が接続されると
ともに′ｓ１電極２の表面上には導線６を内設した多数
のガラス管７が配置されている。これら導線６は共通接
続されて接地されている。又、第２電極３と第３電極４
との間には各放電用コンデンサＣｐ３１ Ｃｎ４が接続
されるとともに第３電極４には各充電用コイルＬ、、Ｌ
２が接続されている。そして、第２電極３にはダイオー
ドＤ及び抵抗Ｒ１を介して晶型圧電［Ｈ，Ｖが接続され
ている。さらに、ガスレーザ管１の内部には送風機８が
配置されている。一方、充放電回路９には晶型圧電ＲＨ
，Ｖが備えられ、この晶型圧電＋１ｉＸＨ０Ｖに抵抗、
Ｒ２を介してスイッチ１ｏ及びコンデンサＣａが並列接
続され、かっこのコンデンサＣａに充電用コイルＬ３が
接続されている。そして、コンデンサＣａと充電用コイ
ルＬ、との接続点が第１電極２に接続されている。
極２と第３電極４とにより第１放電空間Ａが形成される
とともに第２電極３と第３電極４とにより第２放電空間
Ｂが形成される。上記第１電極２と第３電極４との間に
は放電用コンデンサＣＰｌ＋ Ｃ１１２が接続されると
ともに′ｓ１電極２の表面上には導線６を内設した多数
のガラス管７が配置されている。これら導線６は共通接
続されて接地されている。又、第２電極３と第３電極４
との間には各放電用コンデンサＣｐ３１ Ｃｎ４が接続
されるとともに第３電極４には各充電用コイルＬ、、Ｌ
２が接続されている。そして、第２電極３にはダイオー
ドＤ及び抵抗Ｒ１を介して晶型圧電［Ｈ，Ｖが接続され
ている。さらに、ガスレーザ管１の内部には送風機８が
配置されている。一方、充放電回路９には晶型圧電ＲＨ
，Ｖが備えられ、この晶型圧電＋１ｉＸＨ０Ｖに抵抗、
Ｒ２を介してスイッチ１ｏ及びコンデンサＣａが並列接
続され、かっこのコンデンサＣａに充電用コイルＬ３が
接続されている。そして、コンデンサＣａと充電用コイ
ルＬ、との接続点が第１電極２に接続されている。
かかる構成であれば、スイッチ１０が閉じられることに
より充放電用コンデンサＣａに蓄えられたて電荷が各放
電用コンデンサｃｌｌｌ＋ Ｃｐ２に移行する。これ
により各放電用コンデンサＣＤ１ｒ Ｃｐ２は充電さ
れて、これら放電用コンデンサｃＤｌｒＣ２２に印加さ
れる電圧は急激に高くなる。このときに各導線６と各ガ
ラス管７との間に印加される電圧は高くなって、これら
導線６とガラス管７と）間にコロナ放電が生じる。この
コロナ放電により第１電極２と第３電極４との間の放電
空間ＡかｆＯＩ電離され、続いてこれら第１電極２と第
３電極４との間にトリガ放電が生じる。このトリガ放電
によって第３電極４の各社５から電子、イオンなどの荷
電粒子が多数放電空間Ｂに供給される。
より充放電用コンデンサＣａに蓄えられたて電荷が各放
電用コンデンサｃｌｌｌ＋ Ｃｐ２に移行する。これ
により各放電用コンデンサＣＤ１ｒ Ｃｐ２は充電さ
れて、これら放電用コンデンサｃＤｌｒＣ２２に印加さ
れる電圧は急激に高くなる。このときに各導線６と各ガ
ラス管７との間に印加される電圧は高くなって、これら
導線６とガラス管７と）間にコロナ放電が生じる。この
コロナ放電により第１電極２と第３電極４との間の放電
空間ＡかｆＯＩ電離され、続いてこれら第１電極２と第
３電極４との間にトリガ放電が生じる。このトリガ放電
によって第３電極４の各社５から電子、イオンなどの荷
電粒子が多数放電空間Ｂに供給される。
この状態に第２電極３と第３電極４との間には晶型圧電
［Ｈ，Ｖから高電圧が印加されているので、大量の前型
粒子の供給及び放電による短波長光がトリガとなって第
２電極３と第３電極４との間のガスレーザ媒質が励起さ
れ、これにより第２電極３と第３電極４との間に主放電
が発生する。
［Ｈ，Ｖから高電圧が印加されているので、大量の前型
粒子の供給及び放電による短波長光がトリガとなって第
２電極３と第３電極４との間のガスレーザ媒質が励起さ
れ、これにより第２電極３と第３電極４との間に主放電
が発生する。
かくして、光共振器において光共振が生じてパルスレー
ザビームが出力される。
ザビームが出力される。
以上のように箇２電極３ど第３電極４との間に主放電が
発生すると、この主放電によってスパッタ等の不純物が
発生する。この不純物を除去するために送風機８を駆動
することによって第１電極２と第２電極３との間のガス
が流される。
発生すると、この主放電によってスパッタ等の不純物が
発生する。この不純物を除去するために送風機８を駆動
することによって第１電極２と第２電極３との間のガス
が流される。
このように第１電極２と第２Ｍａ極３との間のガスを流
しているが、パルスレーザビームの繰返し数を多くする
と、レーザの発生間隔が短くなるので、ガスの流速を速
くしなければ不純物が第１電極２と第２電拠３との間に
残った状態に次の主放電が発生する。従って、ガスの流
速を速くするために送風機８及びその付属装置が大型化
してしまう。
しているが、パルスレーザビームの繰返し数を多くする
と、レーザの発生間隔が短くなるので、ガスの流速を速
くしなければ不純物が第１電極２と第２電拠３との間に
残った状態に次の主放電が発生する。従って、ガスの流
速を速くするために送風機８及びその付属装置が大型化
してしまう。
（発明が解決しようとする課題）
以上のようにパルスレーザビームの繰返し数を多（する
と、ガスの流速を速くするために送風機及びその付属装
置が大型化してしまう。
と、ガスの流速を速くするために送風機及びその付属装
置が大型化してしまう。
そこで本発明は、パルスレーザビームの繰返し数が増加
しても大型の送風機箇を使用せずに確文に不純物を除去
して主放電を発生できるパルスガスレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
しても大型の送風機箇を使用せずに確文に不純物を除去
して主放電を発生できるパルスガスレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ媒質としてガスを封入したガスレーザ
管と、このガスレーザ管内に対向配置された第１及び第
２電極と、これら第１及び第２電極間に配置された通気
性の第３電極と、ガスをガスレーザ管内で循環させて第
１及び第３電極間と第２電極及び第３電極間とにそれぞ
れ流通させる循環手段とを備え、第１電極及び第３電極
との間に荷電粒子を発生させ、この荷電粒子を第２電極
と第３電極との間に供給してこれらめ２電極と第３電極
との間に主放電を発生させるパルスガスレーザ発振装置
において、流通の上流側における第１電極と第３電極と
の間への流通路に第２電極と第３電極との間への流通路
よりも狭い部分を形成して上記目的を達成しようとする
パルスガスレーザ発振装置である。
管と、このガスレーザ管内に対向配置された第１及び第
２電極と、これら第１及び第２電極間に配置された通気
性の第３電極と、ガスをガスレーザ管内で循環させて第
１及び第３電極間と第２電極及び第３電極間とにそれぞ
れ流通させる循環手段とを備え、第１電極及び第３電極
との間に荷電粒子を発生させ、この荷電粒子を第２電極
と第３電極との間に供給してこれらめ２電極と第３電極
との間に主放電を発生させるパルスガスレーザ発振装置
において、流通の上流側における第１電極と第３電極と
の間への流通路に第２電極と第３電極との間への流通路
よりも狭い部分を形成して上記目的を達成しようとする
パルスガスレーザ発振装置である。
（作用）
このような手段を備えたことにより、ガスレーザ管内の
第１電極と第３電極との間の気圧が気圧調整手段により
第２電極と第３電極との間の気圧よりも低く調整され、
この結果第２電極と第３電極との間のガスは電極間の圧
力差により第３電極を通過して第１電極と第３電極との
間に流入して除去される。
第１電極と第３電極との間の気圧が気圧調整手段により
第２電極と第３電極との間の気圧よりも低く調整され、
この結果第２電極と第３電極との間のガスは電極間の圧
力差により第３電極を通過して第１電極と第３電極との
間に流入して除去される。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について地１図に示すパルスガ
スレーザ発振装置の構成図を参照して説明する。なお、
第２図と同一部分には同一ね号を付してその詳しい説明
は省略する。
スレーザ発振装置の構成図を参照して説明する。なお、
第２図と同一部分には同一ね号を付してその詳しい説明
は省略する。
ガスレーザ管１の内部には各気！ｆ調整片２０゜２１が
設けられている。これら気圧調整片２０゜２１の配置位
置は第１乃至第３電極２，３．４から見てガスの流れの
上流側にあって送風機８によるガスの流れ方向に沿って
平行で、かつ第１電極２と第３電極４とにそれぞれ対応
している。つまり、気圧調整片２０はガスレーザ管１の
西壁に設けられ、又気圧調整片２１は第３電極４に連続
する如（設けられている。そして、各気圧調整片２０．
２１はそれぞれ対向する面側か凸状に形成されてガスの
流通路を狭くしている。
設けられている。これら気圧調整片２０゜２１の配置位
置は第１乃至第３電極２，３．４から見てガスの流れの
上流側にあって送風機８によるガスの流れ方向に沿って
平行で、かつ第１電極２と第３電極４とにそれぞれ対応
している。つまり、気圧調整片２０はガスレーザ管１の
西壁に設けられ、又気圧調整片２１は第３電極４に連続
する如（設けられている。そして、各気圧調整片２０．
２１はそれぞれ対向する面側か凸状に形成されてガスの
流通路を狭くしている。
このような構成であれば、スイッチ１０が閉じられるこ
とにより充放電用コンデンサＣａに蓄えられたて電曲が
各放電用コンデンサＣｐｌ＋Ｃｐ２に移行し、各放電用
コンデンサＣＰｌ＋ Ｃｐ２は充電されてこれら放電
用コンデンサＣｐｌ＋Ｃｐ：ｌに印加される電圧は急激
に高くなる。この状態に各導線６と各ガラス管７との間
に印加される電圧が高くなって、これら導線６とガラス
管７との間にコロナ放電が生じる。このコロナ放電によ
り第１電極２と第３電極４との間の放電空間Ａが予備電
離され、続いてこれら第１電極２と第３電極４との間に
トリガ放電が生じる。このトリガ放電によって第３電極
４の番孔５から電子、イオンなどの荷電粒子が多数放電
空間Ｂに供給される。
とにより充放電用コンデンサＣａに蓄えられたて電曲が
各放電用コンデンサＣｐｌ＋Ｃｐ２に移行し、各放電用
コンデンサＣＰｌ＋ Ｃｐ２は充電されてこれら放電
用コンデンサＣｐｌ＋Ｃｐ：ｌに印加される電圧は急激
に高くなる。この状態に各導線６と各ガラス管７との間
に印加される電圧が高くなって、これら導線６とガラス
管７との間にコロナ放電が生じる。このコロナ放電によ
り第１電極２と第３電極４との間の放電空間Ａが予備電
離され、続いてこれら第１電極２と第３電極４との間に
トリガ放電が生じる。このトリガ放電によって第３電極
４の番孔５から電子、イオンなどの荷電粒子が多数放電
空間Ｂに供給される。
この状態に第２電極３と第３電極４との間には高電圧電
源Ｈ，Ｖから高電圧が印加されているので、大量の荷電
粒子の供給及び放電による短波長光がトリガとなって第
２電極３と第３電極４との間のガスレーザ媒質が励起さ
れ、これにより第２電極３と第３電極４との間に主放電
が発生する。
源Ｈ，Ｖから高電圧が印加されているので、大量の荷電
粒子の供給及び放電による短波長光がトリガとなって第
２電極３と第３電極４との間のガスレーザ媒質が励起さ
れ、これにより第２電極３と第３電極４との間に主放電
が発生する。
か（して、光共振器において光共振が生じてパルスレー
ザビームが出力される。
ザビームが出力される。
一方、送風機８の駆動によってガスレーザ管１内のガス
は循環している。この場合、送風機８により送風された
ガスは、気圧調整片２（’）、２１の間を通って第１電
極２と第３電極４との間に流れ、これとともに気圧調整
片２１の凹面に沿って第２電極３と第３電極４との間に
流れる。このとき、各気圧調整片２０．２１によってガ
スの流通路が狭くなっているので、第１電極２と第３電
極４との間の流速の方が第２電極３と簗３電極４との間
の流速よりも大きくなる。なお、流量は逆である。
は循環している。この場合、送風機８により送風された
ガスは、気圧調整片２（’）、２１の間を通って第１電
極２と第３電極４との間に流れ、これとともに気圧調整
片２１の凹面に沿って第２電極３と第３電極４との間に
流れる。このとき、各気圧調整片２０．２１によってガ
スの流通路が狭くなっているので、第１電極２と第３電
極４との間の流速の方が第２電極３と簗３電極４との間
の流速よりも大きくなる。なお、流量は逆である。
従って、第１１！Ｉ！極２と第３電極４との間の気圧の
方が第２電極３と第３電極４との間の気圧よりも低くな
るので、第２電極３とｆｆ１３電極４との間に流れるガ
スは第３電極４の番孔５を通って第１電極２と第３電極
４との間に流入する。
方が第２電極３と第３電極４との間の気圧よりも低くな
るので、第２電極３とｆｆ１３電極４との間に流れるガ
スは第３電極４の番孔５を通って第１電極２と第３電極
４との間に流入する。
そこで、第２電極３と第３電極４との間の主放電により
生じた不純物は第１電極２と第３電極４との間の流速で
第１電極２と第３電極４との間に流入する。この結果、
不純物は速く除去されて次の主放電を速（発生させるこ
とが可能となる。
生じた不純物は第１電極２と第３電極４との間の流速で
第１電極２と第３電極４との間に流入する。この結果、
不純物は速く除去されて次の主放電を速（発生させるこ
とが可能となる。
このように上記一実施例においては、ガスレーザ管内の
第１電極２と第３電極４との間の気圧を各気圧調整片２
０．２１により第３電極４と第２電極３との間の気圧よ
りも低く調整して第１電極２と第３電極４との間のガス
の流速を第２電極３と第３電極４との間の流速よりも速
くしたので、第２電極３と第３電極４との間のガスは第
３電極４を通過して第１電極２と第３電極４との間に流
入して速く除去できる。従って、送風機８及びその付属
装置を大型化することなしにパルスレーザビームの繰返
し数を増加できる。そのうえ、送風機８の寿命を延ばす
ことができる。
第１電極２と第３電極４との間の気圧を各気圧調整片２
０．２１により第３電極４と第２電極３との間の気圧よ
りも低く調整して第１電極２と第３電極４との間のガス
の流速を第２電極３と第３電極４との間の流速よりも速
くしたので、第２電極３と第３電極４との間のガスは第
３電極４を通過して第１電極２と第３電極４との間に流
入して速く除去できる。従って、送風機８及びその付属
装置を大型化することなしにパルスレーザビームの繰返
し数を増加できる。そのうえ、送風機８の寿命を延ばす
ことができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、各
気圧側１月’２０．２１は凸状の形状でなく他の形状と
してもよく、要するに放電空間Ａの気圧が放電空間Ｂの
気圧よりも低下させるようなものであれば良い。又、予
備電離の手段はＵＶ方式やＸ線方式に代えても良い。
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、各
気圧側１月’２０．２１は凸状の形状でなく他の形状と
してもよく、要するに放電空間Ａの気圧が放電空間Ｂの
気圧よりも低下させるようなものであれば良い。又、予
備電離の手段はＵＶ方式やＸ線方式に代えても良い。
［発明の効果コ
以上詳記したように本発明によれば、パルス０
レーザビームの繰返し数が増加しても大型の送風機等を
使用せずに確実に不純物を除去して主放電を発生できる
パルスガスレーザ発振装置を撮供できる。
使用せずに確実に不純物を除去して主放電を発生できる
パルスガスレーザ発振装置を撮供できる。
第１図は本発明に係わるパルスガスレーザ発振装置の一
実施例を示す構成図、第２図は従来装置の構成図、第３
図は第３電極の外観図である。 １・・・ガスレーザ管、２・・・第１電極、３・・・第
２電極、４・・・第３電極、６・・・導線６．７・・・
ガラス管、８・・・送風機、９・・・充放電回路、２０
．２１・・・気圧調整片。
実施例を示す構成図、第２図は従来装置の構成図、第３
図は第３電極の外観図である。 １・・・ガスレーザ管、２・・・第１電極、３・・・第
２電極、４・・・第３電極、６・・・導線６．７・・・
ガラス管、８・・・送風機、９・・・充放電回路、２０
．２１・・・気圧調整片。
Claims (1)
- レーザ媒質としてガスを封入したガスレーザ管と、この
ガスレーザ管内に対向配置された第１及び第２電極と、
これら第１及び第２電極間に配置された通気性の第３電
極と、前記ガスを前記ガスレーザ管内で循環させて前記
第１及び前記第３電極間と前記第２電極及び前記第３電
極間とにそれぞれ流通させる循環手段とを備え、前記第
１電極及び前記第３電極との間に荷電粒子を発生させ、
この荷電粒子を前記第２電極と前記第３電極との間に供
給してこれら第２電極と第３電極との間に主放電を発生
させるパルスガスレーザ発振装置において、前記流通の
上流側における前記第１電極と前記第３電極との間への
流通路に前記第２電極と前記第３電極との間への流通路
よりも狭い部分を形成したことを特徴とするパルスガス
レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1344301A JP2753088B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | パルスガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1344301A JP2753088B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | パルスガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03203277A true JPH03203277A (ja) | 1991-09-04 |
| JP2753088B2 JP2753088B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=18368183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1344301A Expired - Fee Related JP2753088B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | パルスガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2753088B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6281078A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振装置 |
| JPS63227084A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
| JPH02152286A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-12 | Komatsu Ltd | 放電型ガスレーザの放電電極 |
| JPH02184089A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-18 | Hitachi Ltd | ガス循環型パルスレーザ |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1344301A patent/JP2753088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6281078A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振装置 |
| JPS63227084A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
| JPH02152286A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-12 | Komatsu Ltd | 放電型ガスレーザの放電電極 |
| JPH02184089A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-18 | Hitachi Ltd | ガス循環型パルスレーザ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2753088B2 (ja) | 1998-05-18 |
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