JPS628137B2 - - Google Patents
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- JPS628137B2 JPS628137B2 JP57203001A JP20300182A JPS628137B2 JP S628137 B2 JPS628137 B2 JP S628137B2 JP 57203001 A JP57203001 A JP 57203001A JP 20300182 A JP20300182 A JP 20300182A JP S628137 B2 JPS628137 B2 JP S628137B2
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- Japan
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- gas
- life
- temperature
- resistance
- change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は可燃性ガスなどのガス検知素子に用い
るガス感応体材料の製造方法に関するものであ
る。 従来例の構成とその問題点 近年、ガス機器の普及に伴なつて、ガス漏れに
よる事故が多発し、これらの事故を防ぐ方法が
種々検討されている。従来から使用されているガ
ス検知素子の代表的なものの一つとして、n型の
金属酸化物半導体を用いたものが知られている。
半導体式ガス検知素子は通常速い応答速度を要求
されるので、ガス感応体は大気中で高温度に保持
されて用いられる。そのため、ガス感応体として
は酸化雰囲気に対して安定な酸化物が選ばれる。
これまで各種の酸化物がガス感応体として用いら
れてきた。この中で、酸化亜鉛(ZnO)が優れた
感ガス特性を示し得ることが見い出されておりこ
れを感応体としたガス検知素子の検討が進められ
ている。 このZnOを用いたガス検知素子は、素子の温度
が350〜450℃の範囲においてガス感応特性が顕著
であり、感度(通常空気中での抵抗値Raと検知
すべきガス濃度中での抵抗値Rgとの比で表わさ
れる)、および検知すべき濃度範囲における単位
ガス濃度当たりの抵抗値の変化率が大きいので、
検知すべきガス濃度を定量度よく抵抗値変化とし
て検知できるという優れた特徴を持つている。 一般にこのようなガス検知素子においては、で
きるだけ少ない電力で感応体を効率よく加熱する
必要があるので、感応体はおのずと小さいものに
なる。セラミツク半導体式の場合も同様である。
したがつて感応体が2種以上の成分で構成された
ものについては、その成分が感応体に均一に含ま
れていないと素子間のばらつきの原因となる。ま
た素子そのものが外気に直接暴露され、過酷な条
件下で使用されるため、特に長期の課電寿命に対
して不安定になりやすいので、ガス感応体はでき
るだけ均質な微細構造を有している必要がある。
このため、製造方法としては水溶液法(共沈法や
均質沈澱法等)が有力な方法となる。これによる
と分散混合が優れているほかに、微粒子粉体が得
られるので、比表面積の増加すなわち高活性化に
つながり、メタンなどの安定なガスをも検知でき
る材料を得ることができるという利点がある。 しかしながら、水溶液法でもその方法によつて
は種々の問題がある。たとえば共沈法の場合は、
沈澱剤が溶液に加えられるとき、たとえその濃度
が薄く、かつ溶液をじゆうぶんに撹拌しながら添
加したとしても、部分的には一時沈澱剤が高濃度
になり、結晶核の生成が速められ沈澱粒子の大き
さが不均一になり、あるいは凝結を起こすという
ことがある。これが結果的には素子間のバラツキ
を大きくしたり、課電寿命試験等における特性劣
化を促進したりする原因となつていた。 発明の目的 本発明はこれら従来方法の欠点を解消し、凝結
のない均一な沈澱粒子を得ることによつてガス感
応体材料の均質化を図り、結果として素子間のば
らつきが少なく、課電寿命特性が大幅に改善され
たガス検知素子を提供しようとするものである。 発明の構成 本発明は種々の沈澱剤あるいはその他の製造工
程に関する一連の検討の結果なされたもので、亜
鉛イオンおよび陰イオンとして少なくとも硫酸イ
オンを含む水溶液に尿素〔(NH2)2CO〕を加え、
これを加熱することにより、この尿素の緩慢な加
水分解によるPHのゆるやかな上昇を利用して、均
一且つ均質な粒子の調整を可能としたものであ
る。 実施例の説明 以下に本発明による効果について、比較例と対
比させながらいくつかの実施例を用いて説明す
る。 比較例 1 市販の塩化亜鉛(ZnCl2)14gと硫酸アンモニ
ウム〔(NH4)2SO4〕40gをそれぞれ1の水に溶
かし、80℃に保ちながら撹拌した。さらに温度を
80℃に保ちつつ、この溶液に8規定の水酸化アン
モニウム(NH4OH)溶液を60c.c./分の割合で、
溶液の水素イオン濃度(PH)が7.0になるまで滴
下した。滴下終了後、10分間溶液の温度を80℃に
保持し、この共沈物を吸引過した。このように
して得られた粉体を減圧容器に入れて真空乾燥を
行なつた。得られた乾燥物をらいかい機で2時間
粉砕した後、有機バインダーを用いて100〜200μ
mの大きさの粒子に整粒した。この粉体に2本の
白金線を埋め込んで、直径2mm、高さ3mmの円柱
状に加圧成型し、空気中において550℃で2時間
の焼成を行なつた。得られた多孔質の焼結体を検
知素子用ベースにとりつけ、焼結体のまわりにコ
イル状のヒータを配置し、防爆用のステンレス鋼
網をかぶせて検知素子を得た。 第1図はガス検知素子の構造を示したものであ
る。図において、1は焼結体で、2本の白金線か
らなる電極3,4が埋め込まれている。2は焼結
体1を加熱するためのヒータで、ヒータ用ピン1
1,12からヒータ用フレーム7,8を通じてヒ
ータに電力が供給される。焼結体1の抵抗は電極
3,4からフレーム5,6を通じてピン9,10
の間で測定されるよう構成されている。ヒータ用
ピン11,12およびピン9,10はベース13
に固定され、ステンレス鋼製金網14はベースに
とりつけられている。 以上のようにして得られた検知素子について、
ガス感応特性、通常使用温度(400℃)での課電
寿命および通常使用する温度よりもはるかに高い
温度(600℃)での過負荷課電寿命を調べた。 ガス感応特性の測定方法は、あらかじめ検知素
子のヒータ部に電流を流し、感応体の温度が400
℃になるように調整しておき、それを容積の知ら
れている測定箱内に挿入した後、注射器でテスト
用ガスを測定箱内に注入し、焼結感応体の抵抗値
を測定した。通常課電寿命は、検知素子のヒータ
部に常に電流を流し感応体の温度を400℃に保持
し、経過時間とともに、上述の方法でガス感応特
性を測定し、メタン(CH4)と水素(H2)の抵抗経
時変化率、すなわち{初期の抵抗Rg
(5000ppm)―t時間通電後の抵抗Rg
(5000ppm)}/初期の抵抗Rg(5000ppm)の値
ΔR/R(%)を求めた。過負荷課電寿命につい
ては、感応体の温度を通常の動作温度(400℃)
よりもはるかに高い600℃に保持し、経過時間と
ともに、上記した方法で測定し、通常課電寿命と
同じ方法で抵抗経時変化率を求めた。初期ガス感
応特性および検知素子50個中の標準偏差を後掲の
表の試料No.Aの欄に、通常課電寿命におけるCH4
に対する抵抗変化率の推移を第2図に、またH2
に対するそれを第3図に、また過負荷課電寿命に
おけるCH4に対する抵抗変化率の推移を第4図
に、またH2に対するそれを第5図にそれぞれ示
した。この比較例1における実験結果は各図にお
いてそれぞれ試料No.Aで示してある。 表および第2図〜第5図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
ガスに対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変
化するため、このままでは実際の警報器に取り付
けて使用することは、直接検知濃度の変化につな
がるので好ましくないことがわかる。また検知素
子50個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 なお、表中は平均値、Sは標準偏差を示し、
Raは通常の空気中における抵抗値である。 比較例 2 市販の硫酸亜鉛(ZnSO4・7H2O)29gを1
の水に溶かし、以下比較例1と同様の方法で沈澱
生成から検知素子の作成およびガス感応特性の評
価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲の表の試
料No.Bの欄に、また課電寿命および過負荷課電寿
命の抵抗変化率の推移を第2図〜第5図に、それ
ぞれ試料No.Bで示した。 表および第2図〜第5図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
に対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変化す
るため、このままでは実際の警報器に取り付けて
使用することは、直接検知濃度の変化につながる
ので好ましくないことがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 実施例 1 市販の塩化亜鉛14gと硫酸アンモニウム40gお
よび尿素〔(NH2)2CO〕60gを1の水に溶か
し、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌した。
加熱は95℃以上で行なつた。終了時の水素イオン
濃度(PH)は7.0であつた。以下比較例1と同様
の方法で吸引ろ過から検知素子の作成およびガス
感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特性を
後掲の表の試料No.Cの欄に、また課電寿命の抵抗
変化率の推移を第2図〜第5図の中の試料No.Cで
それぞれ示しこ。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることが判る。また検知素子50個
中のばらつきも大幅に減少していることが判る。 実施例 2 市販の硫酸亜鉛29gと尿素60gを1の水に溶
かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌し
た。以下実施例1と同様の方法で処理を行ない、
吸引ろ過から検知素子の作成およびガス感応特性
の評価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲の表
の試料No.Dの欄に、また寿命試験の抵抗変化率の
推移を第2図〜第5図の中に試料No.Dでそれぞれ
示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも大幅に減少していることがわか
る。
るガス感応体材料の製造方法に関するものであ
る。 従来例の構成とその問題点 近年、ガス機器の普及に伴なつて、ガス漏れに
よる事故が多発し、これらの事故を防ぐ方法が
種々検討されている。従来から使用されているガ
ス検知素子の代表的なものの一つとして、n型の
金属酸化物半導体を用いたものが知られている。
半導体式ガス検知素子は通常速い応答速度を要求
されるので、ガス感応体は大気中で高温度に保持
されて用いられる。そのため、ガス感応体として
は酸化雰囲気に対して安定な酸化物が選ばれる。
これまで各種の酸化物がガス感応体として用いら
れてきた。この中で、酸化亜鉛(ZnO)が優れた
感ガス特性を示し得ることが見い出されておりこ
れを感応体としたガス検知素子の検討が進められ
ている。 このZnOを用いたガス検知素子は、素子の温度
が350〜450℃の範囲においてガス感応特性が顕著
であり、感度(通常空気中での抵抗値Raと検知
すべきガス濃度中での抵抗値Rgとの比で表わさ
れる)、および検知すべき濃度範囲における単位
ガス濃度当たりの抵抗値の変化率が大きいので、
検知すべきガス濃度を定量度よく抵抗値変化とし
て検知できるという優れた特徴を持つている。 一般にこのようなガス検知素子においては、で
きるだけ少ない電力で感応体を効率よく加熱する
必要があるので、感応体はおのずと小さいものに
なる。セラミツク半導体式の場合も同様である。
したがつて感応体が2種以上の成分で構成された
ものについては、その成分が感応体に均一に含ま
れていないと素子間のばらつきの原因となる。ま
た素子そのものが外気に直接暴露され、過酷な条
件下で使用されるため、特に長期の課電寿命に対
して不安定になりやすいので、ガス感応体はでき
るだけ均質な微細構造を有している必要がある。
このため、製造方法としては水溶液法(共沈法や
均質沈澱法等)が有力な方法となる。これによる
と分散混合が優れているほかに、微粒子粉体が得
られるので、比表面積の増加すなわち高活性化に
つながり、メタンなどの安定なガスをも検知でき
る材料を得ることができるという利点がある。 しかしながら、水溶液法でもその方法によつて
は種々の問題がある。たとえば共沈法の場合は、
沈澱剤が溶液に加えられるとき、たとえその濃度
が薄く、かつ溶液をじゆうぶんに撹拌しながら添
加したとしても、部分的には一時沈澱剤が高濃度
になり、結晶核の生成が速められ沈澱粒子の大き
さが不均一になり、あるいは凝結を起こすという
ことがある。これが結果的には素子間のバラツキ
を大きくしたり、課電寿命試験等における特性劣
化を促進したりする原因となつていた。 発明の目的 本発明はこれら従来方法の欠点を解消し、凝結
のない均一な沈澱粒子を得ることによつてガス感
応体材料の均質化を図り、結果として素子間のば
らつきが少なく、課電寿命特性が大幅に改善され
たガス検知素子を提供しようとするものである。 発明の構成 本発明は種々の沈澱剤あるいはその他の製造工
程に関する一連の検討の結果なされたもので、亜
鉛イオンおよび陰イオンとして少なくとも硫酸イ
オンを含む水溶液に尿素〔(NH2)2CO〕を加え、
これを加熱することにより、この尿素の緩慢な加
水分解によるPHのゆるやかな上昇を利用して、均
一且つ均質な粒子の調整を可能としたものであ
る。 実施例の説明 以下に本発明による効果について、比較例と対
比させながらいくつかの実施例を用いて説明す
る。 比較例 1 市販の塩化亜鉛(ZnCl2)14gと硫酸アンモニ
ウム〔(NH4)2SO4〕40gをそれぞれ1の水に溶
かし、80℃に保ちながら撹拌した。さらに温度を
80℃に保ちつつ、この溶液に8規定の水酸化アン
モニウム(NH4OH)溶液を60c.c./分の割合で、
溶液の水素イオン濃度(PH)が7.0になるまで滴
下した。滴下終了後、10分間溶液の温度を80℃に
保持し、この共沈物を吸引過した。このように
して得られた粉体を減圧容器に入れて真空乾燥を
行なつた。得られた乾燥物をらいかい機で2時間
粉砕した後、有機バインダーを用いて100〜200μ
mの大きさの粒子に整粒した。この粉体に2本の
白金線を埋め込んで、直径2mm、高さ3mmの円柱
状に加圧成型し、空気中において550℃で2時間
の焼成を行なつた。得られた多孔質の焼結体を検
知素子用ベースにとりつけ、焼結体のまわりにコ
イル状のヒータを配置し、防爆用のステンレス鋼
網をかぶせて検知素子を得た。 第1図はガス検知素子の構造を示したものであ
る。図において、1は焼結体で、2本の白金線か
らなる電極3,4が埋め込まれている。2は焼結
体1を加熱するためのヒータで、ヒータ用ピン1
1,12からヒータ用フレーム7,8を通じてヒ
ータに電力が供給される。焼結体1の抵抗は電極
3,4からフレーム5,6を通じてピン9,10
の間で測定されるよう構成されている。ヒータ用
ピン11,12およびピン9,10はベース13
に固定され、ステンレス鋼製金網14はベースに
とりつけられている。 以上のようにして得られた検知素子について、
ガス感応特性、通常使用温度(400℃)での課電
寿命および通常使用する温度よりもはるかに高い
温度(600℃)での過負荷課電寿命を調べた。 ガス感応特性の測定方法は、あらかじめ検知素
子のヒータ部に電流を流し、感応体の温度が400
℃になるように調整しておき、それを容積の知ら
れている測定箱内に挿入した後、注射器でテスト
用ガスを測定箱内に注入し、焼結感応体の抵抗値
を測定した。通常課電寿命は、検知素子のヒータ
部に常に電流を流し感応体の温度を400℃に保持
し、経過時間とともに、上述の方法でガス感応特
性を測定し、メタン(CH4)と水素(H2)の抵抗経
時変化率、すなわち{初期の抵抗Rg
(5000ppm)―t時間通電後の抵抗Rg
(5000ppm)}/初期の抵抗Rg(5000ppm)の値
ΔR/R(%)を求めた。過負荷課電寿命につい
ては、感応体の温度を通常の動作温度(400℃)
よりもはるかに高い600℃に保持し、経過時間と
ともに、上記した方法で測定し、通常課電寿命と
同じ方法で抵抗経時変化率を求めた。初期ガス感
応特性および検知素子50個中の標準偏差を後掲の
表の試料No.Aの欄に、通常課電寿命におけるCH4
に対する抵抗変化率の推移を第2図に、またH2
に対するそれを第3図に、また過負荷課電寿命に
おけるCH4に対する抵抗変化率の推移を第4図
に、またH2に対するそれを第5図にそれぞれ示
した。この比較例1における実験結果は各図にお
いてそれぞれ試料No.Aで示してある。 表および第2図〜第5図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
ガスに対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変
化するため、このままでは実際の警報器に取り付
けて使用することは、直接検知濃度の変化につな
がるので好ましくないことがわかる。また検知素
子50個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 なお、表中は平均値、Sは標準偏差を示し、
Raは通常の空気中における抵抗値である。 比較例 2 市販の硫酸亜鉛(ZnSO4・7H2O)29gを1
の水に溶かし、以下比較例1と同様の方法で沈澱
生成から検知素子の作成およびガス感応特性の評
価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲の表の試
料No.Bの欄に、また課電寿命および過負荷課電寿
命の抵抗変化率の推移を第2図〜第5図に、それ
ぞれ試料No.Bで示した。 表および第2図〜第5図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
に対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変化す
るため、このままでは実際の警報器に取り付けて
使用することは、直接検知濃度の変化につながる
ので好ましくないことがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 実施例 1 市販の塩化亜鉛14gと硫酸アンモニウム40gお
よび尿素〔(NH2)2CO〕60gを1の水に溶か
し、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌した。
加熱は95℃以上で行なつた。終了時の水素イオン
濃度(PH)は7.0であつた。以下比較例1と同様
の方法で吸引ろ過から検知素子の作成およびガス
感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特性を
後掲の表の試料No.Cの欄に、また課電寿命の抵抗
変化率の推移を第2図〜第5図の中の試料No.Cで
それぞれ示しこ。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることが判る。また検知素子50個
中のばらつきも大幅に減少していることが判る。 実施例 2 市販の硫酸亜鉛29gと尿素60gを1の水に溶
かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌し
た。以下実施例1と同様の方法で処理を行ない、
吸引ろ過から検知素子の作成およびガス感応特性
の評価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲の表
の試料No.Dの欄に、また寿命試験の抵抗変化率の
推移を第2図〜第5図の中に試料No.Dでそれぞれ
示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも大幅に減少していることがわか
る。
【表】
なお、上記各実施例においては、加圧成型体を
焼結して得られた感応体を用いた素子の場合につ
いて説明したが、本発明は感応体が上述のような
加圧成型された焼結体の場合にのみ有効であるの
ではなく、例えばこの焼結体原料をペースト化し
て基板上に塗布し、焼きつけて得られる焼結膜を
感応体として用いた場合についても本発明の効果
は何ら失なわれるものではない。 また原料塩については、上記各実施例では塩化
亜鉛と硫酸亜鉛を用いて説明したが、これに限ら
ず水溶性の亜鉛塩(硝酸亜鉛や臭化亜鉛等)なら
ば全て有効である。 また、実施例においては550℃で焼成を行なつ
た場合について述べたが、この焼成温度は特に限
定されるものではなく、実用上耐えうる焼結体強
度を持つ焼成温度であればよい。 発明の効果 以上詳細に述べたように、本発明の製造方法は
尿素の加水分解を利用した沈澱生成反応をガス感
応体の原料粉末の調製にたくみに応用したもので
あり、得られた粉体の粒子形状、粒子径が極めて
均一であるため、各検知素子間のガス感応特性の
ばらつきが非常に小さく、かつ長期間の高温動作
に対してもきわめて安定な特性を維持することの
できる素子を提供するものである。これによつ
て、互換性のある、しかも非常に信頼性の高い可
燃性ガス検知素子を実現することができ、各種の
ガス防災技術の分野に対して極めて大きな貢献が
できるものと期待される。
焼結して得られた感応体を用いた素子の場合につ
いて説明したが、本発明は感応体が上述のような
加圧成型された焼結体の場合にのみ有効であるの
ではなく、例えばこの焼結体原料をペースト化し
て基板上に塗布し、焼きつけて得られる焼結膜を
感応体として用いた場合についても本発明の効果
は何ら失なわれるものではない。 また原料塩については、上記各実施例では塩化
亜鉛と硫酸亜鉛を用いて説明したが、これに限ら
ず水溶性の亜鉛塩(硝酸亜鉛や臭化亜鉛等)なら
ば全て有効である。 また、実施例においては550℃で焼成を行なつ
た場合について述べたが、この焼成温度は特に限
定されるものではなく、実用上耐えうる焼結体強
度を持つ焼成温度であればよい。 発明の効果 以上詳細に述べたように、本発明の製造方法は
尿素の加水分解を利用した沈澱生成反応をガス感
応体の原料粉末の調製にたくみに応用したもので
あり、得られた粉体の粒子形状、粒子径が極めて
均一であるため、各検知素子間のガス感応特性の
ばらつきが非常に小さく、かつ長期間の高温動作
に対してもきわめて安定な特性を維持することの
できる素子を提供するものである。これによつ
て、互換性のある、しかも非常に信頼性の高い可
燃性ガス検知素子を実現することができ、各種の
ガス防災技術の分野に対して極めて大きな貢献が
できるものと期待される。
第1図は本発明にかかる可燃性ガス検知素子の
構造の一例を示す一部切欠正面図、第2図、第3
図は通電課電寿命におけるガス検知素子の抵抗値
の初期値に対する変化率の推移を示す図、第4
図、第5図は過負荷課電寿命におけるガス検知素
子の抵抗値の変化率を示す図である。 1……焼結体、2……ヒータ、3,4……電
極、5,6,7,8……フレーム、9,10……
電極用ピン、11,12……ヒータ用ピン、13
……ベース、14……ステンレス製金網。
構造の一例を示す一部切欠正面図、第2図、第3
図は通電課電寿命におけるガス検知素子の抵抗値
の初期値に対する変化率の推移を示す図、第4
図、第5図は過負荷課電寿命におけるガス検知素
子の抵抗値の変化率を示す図である。 1……焼結体、2……ヒータ、3,4……電
極、5,6,7,8……フレーム、9,10……
電極用ピン、11,12……ヒータ用ピン、13
……ベース、14……ステンレス製金網。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 亜鉛イオンおよび陰イオンとして少なくとも
硫酸イオンを含む水溶液に尿素〔(NH2)2CO〕を
加えることによつて得られる沈殿物を乾燥してガ
ス感応体材料を得ることを特徴とするガス感応体
材料の製造方法。 2 沈殿物を得る際に水溶液を加熱することを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載のガス感応体
材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57203001A JPS5992340A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ガス感応体材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57203001A JPS5992340A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ガス感応体材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992340A JPS5992340A (ja) | 1984-05-28 |
| JPS628137B2 true JPS628137B2 (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16466682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57203001A Granted JPS5992340A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ガス感応体材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992340A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2707325B2 (ja) * | 1989-06-21 | 1998-01-28 | 三井金属鉱業株式会社 | 白色導電性酸化亜鉛の製造方法 |
-
1982
- 1982-11-18 JP JP57203001A patent/JPS5992340A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5992340A (ja) | 1984-05-28 |
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