JPS6283642A - 感湿素子およびその製造方法 - Google Patents
感湿素子およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6283642A JPS6283642A JP22374785A JP22374785A JPS6283642A JP S6283642 A JPS6283642 A JP S6283642A JP 22374785 A JP22374785 A JP 22374785A JP 22374785 A JP22374785 A JP 22374785A JP S6283642 A JPS6283642 A JP S6283642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sensitive element
- moisture
- diacrylate
- quaternary ammonium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 4
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 claims abstract 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims abstract 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 3
- JXSVGTPMFNKSIC-UHFFFAOYSA-L [Cl-].CC[N+](C)(C)C.CC[N+](C)(C)C.CC(=C)C([O-])=O Chemical group [Cl-].CC[N+](C)(C)C.CC[N+](C)(C)C.CC(=C)C([O-])=O JXSVGTPMFNKSIC-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 claims 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 abstract 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- UXYBXUYUKHUNOM-UHFFFAOYSA-M ethyl(trimethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C UXYBXUYUKHUNOM-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
- 150000002735 metacrylic acids Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 abstract 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000005518 polymer electrolyte Substances 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZGUJOWBVDZNNF-UHFFFAOYSA-N azanium;2-methylprop-2-enoate Chemical compound [NH4+].CC(=C)C([O-])=O DZGUJOWBVDZNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 230000026041 response to humidity Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- MNCGMVDMOKPCSQ-UHFFFAOYSA-M sodium;2-phenylethenesulfonate Chemical compound [Na+].[O-]S(=O)(=O)C=CC1=CC=CC=C1 MNCGMVDMOKPCSQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000003053 toxin Substances 0.000 description 1
- 231100000765 toxin Toxicity 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業−１−二の利用分野〕
未発明は感湿末子及びそのＶ漬方法に係り、特に品分１
’ ｌ漠湿１毘センサ１こ用いられる感湿素子であって
、高分子゛屯解質架橋屯合膜を感湿材料として用い、雰
囲気中の水分ｊ１にに感応して、感湿膜の電気抵抗値が
変化する感湿体に関する。
’ ｌ漠湿１毘センサ１こ用いられる感湿素子であって
、高分子゛屯解質架橋屯合膜を感湿材料として用い、雰
囲気中の水分ｊ１にに感応して、感湿膜の電気抵抗値が
変化する感湿体に関する。
一般に、湿度センサには、雰囲気中の湿気に感応して電
気抵抗が変化する感湿体が用いられている。
気抵抗が変化する感湿体が用いられている。
従来より、このような感湿体としては１例えば、塩化リ
チウム（ＬｉＣ文）等の電解質塩を利用するもの、吸湿
性樹脂に炭素等の導電性粉末を混合したもの、金属酸化
物焼結体あるいは金属酸化物焼結膜により形成したもの
、サーミスタ（温度センサ）を利用するもの、高分子電
解質１模を利用したもの、吸湿性高分子膜を半導体ノ、
（板に接して設けたもの、等が提案されている。
チウム（ＬｉＣ文）等の電解質塩を利用するもの、吸湿
性樹脂に炭素等の導電性粉末を混合したもの、金属酸化
物焼結体あるいは金属酸化物焼結膜により形成したもの
、サーミスタ（温度センサ）を利用するもの、高分子電
解質１模を利用したもの、吸湿性高分子膜を半導体ノ、
（板に接して設けたもの、等が提案されている。
しかしながら、先ず、１話化すチウＬ、（ＬｉＣＱ）”
ｖの電解１！１塩を利用するものにあっては、中休のセ
ンサで計測できる湿度範囲が狭く、また、７．！ｌＩ！
度の高い雰囲気中に長時間放置した場合には、１Ｌ解質
塩が＃ｊ）ｌれてしまいノア命が箸しく短くなってしま
う、という欠点があった。また、吸湿性樹脂に）父素等
の導電性粉末を混合したものにあっ〔は、湿度８０％以
」−の雰囲気中においてヒス子すシスを生じで、応答性
が悪化し、さらに、形状変化を生じて安定性が低い、と
いう欠点があった。また、金属酸化物焼結体あるいは金
属酸化物焼結膜を利用するものにあっては、低湿度雰囲
気中において′：［気抵抗が高すぎ実用に適さないもの
か多く、また製作効率（歩留り）が低いと共に長時間の
使用にＮえられない、という欠点があった。ざらに、ザ
ーミスタ（温度センサ）を利用するものは、空気熱伝導
率が、含有されている木へ気ｊ−に依存して変化するこ
とを利用し、発熱した′Ａｌ１１温体の温度変化から間
接的に湿度を検知するものであり雰囲気温度及び風速等
の影響を受は易い、という欠点が存していた。
ｖの電解１！１塩を利用するものにあっては、中休のセ
ンサで計測できる湿度範囲が狭く、また、７．！ｌＩ！
度の高い雰囲気中に長時間放置した場合には、１Ｌ解質
塩が＃ｊ）ｌれてしまいノア命が箸しく短くなってしま
う、という欠点があった。また、吸湿性樹脂に）父素等
の導電性粉末を混合したものにあっ〔は、湿度８０％以
」−の雰囲気中においてヒス子すシスを生じで、応答性
が悪化し、さらに、形状変化を生じて安定性が低い、と
いう欠点があった。また、金属酸化物焼結体あるいは金
属酸化物焼結膜を利用するものにあっては、低湿度雰囲
気中において′：［気抵抗が高すぎ実用に適さないもの
か多く、また製作効率（歩留り）が低いと共に長時間の
使用にＮえられない、という欠点があった。ざらに、ザ
ーミスタ（温度センサ）を利用するものは、空気熱伝導
率が、含有されている木へ気ｊ−に依存して変化するこ
とを利用し、発熱した′Ａｌ１１温体の温度変化から間
接的に湿度を検知するものであり雰囲気温度及び風速等
の影響を受は易い、という欠点が存していた。
一方、高分子′Ｉｋ解質ＩＩ！ＩＩ！ （例えば、スチ
レンスルホン酸ソーダ、ポリビニルアルコール等）を利
用したもの、及び吸湿性高分子膜（例えば、ナイロン樹
脂、アセテート、セルロース等）を半導体ノ、（板に接
して設けたものにあっては、上記の如き欠点は有さず、
良好な感湿特性を持つものである。しかしながら、高分
子電解質膜を利用したものにあっては、耐湿耐水性が低
く、更に長期安定性が悪く、感湿体の寿命が短い、とい
う欠点があり、また、吸湿性高分子膜を半導体基板に接
して設けたものにあっては、感湿特性の再現性、長期安
定性が低く、Ｌ配回様に感湿体の寿命が短い、という欠
点があった。さらに、いずれの場合にも、高分子１１１
２の−に部に保護Ｉ漠を形成する必要があり、感湿素ｆ
の作成が煩雑である、という欠点をも右していた。
レンスルホン酸ソーダ、ポリビニルアルコール等）を利
用したもの、及び吸湿性高分子膜（例えば、ナイロン樹
脂、アセテート、セルロース等）を半導体ノ、（板に接
して設けたものにあっては、上記の如き欠点は有さず、
良好な感湿特性を持つものである。しかしながら、高分
子電解質膜を利用したものにあっては、耐湿耐水性が低
く、更に長期安定性が悪く、感湿体の寿命が短い、とい
う欠点があり、また、吸湿性高分子膜を半導体基板に接
して設けたものにあっては、感湿特性の再現性、長期安
定性が低く、Ｌ配回様に感湿体の寿命が短い、という欠
点があった。さらに、いずれの場合にも、高分子１１１
２の−に部に保護Ｉ漠を形成する必要があり、感湿素ｆ
の作成が煩雑である、という欠点をも右していた。
本発明はこのような従来の欠点に鑑み成されたものであ
って、その目的とするところは、良好な感湿特性を有す
ると共に、ｌ耐湿、Ｉ耐水性を有し、Ｌｒ：ｌ’ＪＩ使
川に酎用、史に、−１一部に保護１漠を形成する必・＆
・がなく、感１８特性の（Ｉｆ現性に富む感湿素ｒを提
ｔ！（することにある。
って、その目的とするところは、良好な感湿特性を有す
ると共に、ｌ耐湿、Ｉ耐水性を有し、Ｌｒ：ｌ’ＪＩ使
川に酎用、史に、−１一部に保護１漠を形成する必・＆
・がなく、感１８特性の（Ｉｆ現性に富む感湿素ｒを提
ｔ！（することにある。
かかるＩＩ的達成のため物の発明番こあっては、メグク
リレートの第４級アンモニウムルミ解質モノマと、゛、
つのビニルノ、（を有するジアクリレートとの共重合体
により感湿素子−を形成［またものであり、また、方法
の発明にあっては、メラクリレ−１・の第４級アンモニ
ウト１！工′屯解質モノマと、−っのヒニルノ１（を？
−ｉするジアクリレートと、開裂型の尤Φ２合反！わ開
始剤とを混合し、゛ネ素雰囲気ドで紫外線を照射してラ
ジカル東金させたものである。
リレートの第４級アンモニウムルミ解質モノマと、゛、
つのビニルノ、（を有するジアクリレートとの共重合体
により感湿素子−を形成［またものであり、また、方法
の発明にあっては、メラクリレ−１・の第４級アンモニ
ウト１！工′屯解質モノマと、−っのヒニルノ１（を？
−ｉするジアクリレートと、開裂型の尤Φ２合反！わ開
始剤とを混合し、゛ネ素雰囲気ドで紫外線を照射してラ
ジカル東金させたものである。
以ド、添付図面にイくす実施例に）Ｋづき、本発明を訂
ｎ＋＋に説明する。
ｎ＋＋に説明する。
先ず、Ｌ足型解質モノマとしては、メタクリル酸エチル
トリメナルアンモニ内ムクロライト、そして、このモノ
マと架橋重合するジアクリレートとしてはビスフェノー
ル−５−エチレンオキシド変性アクリレート、また、光
重合開始剤としてｌ−ヒトロキシシクロへキシルフェニ
ルヶトンヲ用い、これら３種をエタノールを溶媒として
溶解混合した。その配合割合を第１表に示す。尚、本実
施例にあっては、第１表に示す配合割合により感湿素子
を作成したものであるのが、配合割合は第１表に示すも
のに限定されない。
トリメナルアンモニ内ムクロライト、そして、このモノ
マと架橋重合するジアクリレートとしてはビスフェノー
ル−５−エチレンオキシド変性アクリレート、また、光
重合開始剤としてｌ−ヒトロキシシクロへキシルフェニ
ルヶトンヲ用い、これら３種をエタノールを溶媒として
溶解混合した。その配合割合を第１表に示す。尚、本実
施例にあっては、第１表に示す配合割合により感湿素子
を作成したものであるのが、配合割合は第１表に示すも
のに限定されない。
そして、−１−記配合Ｍ合に基づき、感湿素子を作製す
る場合には、先ず、第１図に示すように、アルミナ、＋
１（板１−にに一対の櫛型電極２をスクリーン印刷によ
り形成し、焼き付けたものを用意する。
る場合には、先ず、第１図に示すように、アルミナ、＋
１（板１−にに一対の櫛型電極２をスクリーン印刷によ
り形成し、焼き付けたものを用意する。
尚、この場合、７１ｆ極２の間隔は２００用ｍでありま
た、図中符号３はギャップを示す。そして、該アルミナ
シ、（板１」二に前記のエタノールに溶解混合した液体
をスピンコード法により塗布して薄膜を形成する。この
場合、スピンコードの際にスピンコータの回転速度１時
間、液体の粘度をコントロールすることにより均一な薄
膜を形成できる。
た、図中符号３はギャップを示す。そして、該アルミナ
シ、（板１」二に前記のエタノールに溶解混合した液体
をスピンコード法により塗布して薄膜を形成する。この
場合、スピンコードの際にスピンコータの回転速度１時
間、液体の粘度をコントロールすることにより均一な薄
膜を形成できる。
その後、このようにして形成１．た膜に′ネ素雰囲気ド
番こおいて紫外線を照射し２、光重合反応により架橋重
合させる。この際の紫外線ランプには高圧水銀ランプを
用い、アルミナノ、（板１１での照射エネルギーは４０
０ ａＩＪ ／ ｃ ｍ’程度である。また、光重合反
応には、主に、３６５ｎｍの波長の光線が有効に作用す
るものである。さらに、光重合反応の際に窒素雰囲気と
することにより、重合架橋反応が促進され、安定性に優
れた高分子薄膜が形成されるものである、また、光重合
反応過程を経ることにより感湿素子を作製したものであ
るため、製作過程が簡素化され、量産性、＋［ｒ現性の
点においても極めて有利なものである。
番こおいて紫外線を照射し２、光重合反応により架橋重
合させる。この際の紫外線ランプには高圧水銀ランプを
用い、アルミナノ、（板１１での照射エネルギーは４０
０ ａＩＪ ／ ｃ ｍ’程度である。また、光重合反
応には、主に、３６５ｎｍの波長の光線が有効に作用す
るものである。さらに、光重合反応の際に窒素雰囲気と
することにより、重合架橋反応が促進され、安定性に優
れた高分子薄膜が形成されるものである、また、光重合
反応過程を経ることにより感湿素子を作製したものであ
るため、製作過程が簡素化され、量産性、＋［ｒ現性の
点においても極めて有利なものである。
このようにして１作製された感湿素子の抵抗−相対湿度
特性は、第２図にグラフに示すように、相対湿度１０％
から９０％までの広い範囲において、電気抵抗はｉｏ
〜１０ Ωの間の実用的な抵抗範囲であり、また、湿
度変化率も大きいため、湿度測定を高精度に行うことが
できる。さらに、ヒステリシスも１％以下であり、誤差
を生ずることなく ７Ｍ度を検知することが＋１［能と
なる、−力、６常の室内雰囲気中、ｌソ＋ｎ： ５０
′ｅ湿湿度９懸ぞれに１１ν間放石した場合であっても
、感１Ｍ特性の変・肋は 抵抗１１１′１の湿度換算で
１〜２％以内である。また、夕／＜コ煙雰囲気中やホル
マリン等の有機ガス雰囲気中にあっても、３％程度の変
動である。従って、感湿特性は長期にわたって安定して
いることがｈ明したものである。
特性は、第２図にグラフに示すように、相対湿度１０％
から９０％までの広い範囲において、電気抵抗はｉｏ
〜１０ Ωの間の実用的な抵抗範囲であり、また、湿
度変化率も大きいため、湿度測定を高精度に行うことが
できる。さらに、ヒステリシスも１％以下であり、誤差
を生ずることなく ７Ｍ度を検知することが＋１［能と
なる、−力、６常の室内雰囲気中、ｌソ＋ｎ： ５０
′ｅ湿湿度９懸ぞれに１１ν間放石した場合であっても
、感１Ｍ特性の変・肋は 抵抗１１１′１の湿度換算で
１〜２％以内である。また、夕／＜コ煙雰囲気中やホル
マリン等の有機ガス雰囲気中にあっても、３％程度の変
動である。従って、感湿特性は長期にわたって安定して
いることがｈ明したものである。
本発明は以■−のような構成４を有することから、良好
な感湿特性を４１すると共に該感ｌソ特性の再現性に富
むものであるやまた、幅広いａｌｌ！定湿度範囲に適用
でき、かつヒステリシスが小さいため、高精度な測定が
ＩＩｒ能となる．史に、湿度変化にｋＪする抵抗変化率
が入きいため、湿度検知が容易となる。また、′￥毒素
雰囲気下紫外線を照射し、ラジカルＪ（重合反応により
架橋東金させ品分イ膜を形成するものであるため、長期
安定性に優れ、過酷な環境ドにおいても使用することが
できる、という効果を奏する。更に、高分子１模の上部
に更に保護膜を形成する必要がないため、容易に作製す
ることができ、−」産性にも富むものであるという効災
を奏する。
な感湿特性を４１すると共に該感ｌソ特性の再現性に富
むものであるやまた、幅広いａｌｌ！定湿度範囲に適用
でき、かつヒステリシスが小さいため、高精度な測定が
ＩＩｒ能となる．史に、湿度変化にｋＪする抵抗変化率
が入きいため、湿度検知が容易となる。また、′￥毒素
雰囲気下紫外線を照射し、ラジカルＪ（重合反応により
架橋東金させ品分イ膜を形成するものであるため、長期
安定性に優れ、過酷な環境ドにおいても使用することが
できる、という効果を奏する。更に、高分子１模の上部
に更に保護膜を形成する必要がないため、容易に作製す
ることができ、−」産性にも富むものであるという効災
を奏する。
ｔｌ 表
４、図面ノｆ？Ｔｌ’ｆｉ す説明
第１図はアルミナノ、（板Ｉ−に形成された櫛型電極を
示す→・面図、第２ＩＡは抵抗相対湿度特性を示すグラ
フである６ １・・・アルミナノ、（板 ２・・・櫛型電極 ３・・・ギャップ ４シ４出願人 住友セメント株式会社第１図
示す→・面図、第２ＩＡは抵抗相対湿度特性を示すグラ
フである６ １・・・アルミナノ、（板 ２・・・櫛型電極 ３・・・ギャップ ４シ４出願人 住友セメント株式会社第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）メタクリレートの第４級アンモニウム塩電解質モノ
マと、２つのビニル基を有するジアクリレートとの共重
合体からなる感湿素子。 ２）メタクリレートの第４級アンモニウム塩電解モノマ
は、メタクリル酸エチルトリメチルアンモニウムクロラ
イドである特許請求の範囲第１項記載の感湿素子。 ３）２つのビニル基を有するジアクリレートは、ビスフ
ェノール−Ｓ−エチレンオキシド変性アクリレートであ
る特許請求の範囲第１項記載の感湿素子。 ４）メタクリレートの第４級アンモニウム塩電解質モノ
マと、２つのビニル基を有するジアクリレートと、開裂
型の光重合反応開始剤とを混合し、窒素雰囲気下で紫外
線を照射してラジカル共重合させたことを特徴とする感
湿素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22374785A JPS6283642A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 感湿素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22374785A JPS6283642A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 感湿素子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283642A true JPS6283642A (ja) | 1987-04-17 |
Family
ID=16803067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22374785A Pending JPS6283642A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 感湿素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283642A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313752A (ja) * | 1988-06-14 | 1989-12-19 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
| EP1369683A4 (en) * | 2001-03-13 | 2008-06-18 | Tdk Corp | MOISTURE SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP22374785A patent/JPS6283642A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313752A (ja) * | 1988-06-14 | 1989-12-19 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
| EP1369683A4 (en) * | 2001-03-13 | 2008-06-18 | Tdk Corp | MOISTURE SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN117624669B (zh) | 离子凝胶薄膜制备方法、化学传感器及其制备方法 | |
| US3909386A (en) | Gas detector unit | |
| CN104165912A (zh) | 氧化石墨烯表面分子印迹溶胶-凝胶聚合物的制备及其应用 | |
| Roman et al. | A capacitive-type humidity sensor using crosslinked poly (methyl methacrylate-co-(2 hydroxypropyl)-methacrylate) | |
| JPH051903B2 (ja) | ||
| JPS6283642A (ja) | 感湿素子およびその製造方法 | |
| JPS5899743A (ja) | 感湿素子及びその製造方法 | |
| JPS554531A (en) | Humidity sensitive element | |
| JPS5816467B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPH0215820B2 (ja) | ||
| SE450062B (sv) | Framstellning av ett elektriskt ledande skikt ur en vattenlosning innehallande en vattenloslig polymer och en pyrrol | |
| JPS54149691A (en) | Moisture detecting element | |
| CN106018700A (zh) | 一种可用于同时检测多种挥发性有机化合物的气敏材料及其制备方法与应用 | |
| Han et al. | New efficient polyelectrolyte containing zwitterionic sulfobetaine salt for the high sensitive resistive humidity sensor | |
| JPS6236549A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS60201244A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH116809A (ja) | 湿度センサおよびそれを用いた電子機器 | |
| JPS61241643A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS589055A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPH06160327A (ja) | 湿度センサ素子およびその製造方法 | |
| Pastor et al. | New bromide‐selective membrane electrodes based on a methyl methacrylate matrix and their use in drug analysis | |
| JPH02210253A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH01295153A (ja) | 湿度センサ | |
| CN117871628A (zh) | 一种用于钾离子电化学传感器的二维层状框架复合敏感膜制备方法 | |
| JPS5994057A (ja) | 湿度センサ |