JPS6284449A - 多数溝同時形成方法 - Google Patents
多数溝同時形成方法Info
- Publication number
- JPS6284449A JPS6284449A JP22377285A JP22377285A JPS6284449A JP S6284449 A JPS6284449 A JP S6284449A JP 22377285 A JP22377285 A JP 22377285A JP 22377285 A JP22377285 A JP 22377285A JP S6284449 A JPS6284449 A JP S6284449A
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- Japan
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- interruption
- reflection plates
- points
- plural
- light
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は元ディスク，元カード．元テープの媒体作［時
に行われる元ビーム案内＃１を同時に多数本形成する方
法に関するものでるる。
に行われる元ビーム案内＃１を同時に多数本形成する方
法に関するものでるる。
〔従来の技術）
元ディスクに、約ｌμｍφ程度の記録ピットを用いて記
録を行うために、高精管表位置決めの手法を必要とし、
これを実現するために記鎌丁る部分に前もってマーカを
形成する必要がらる。このマーカは、λ／８の探さ（λ
は使用する光波長）とし、約７００〜９００λの深さを
持つ微細な溝とするのが一般的で６９、これを形成する
ために、Ａｒイオンレーザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ等を用い
てし８厚さに塗布されたレジストを露覚した後、現像を
行うのが一般的である。
録を行うために、高精管表位置決めの手法を必要とし、
これを実現するために記鎌丁る部分に前もってマーカを
形成する必要がらる。このマーカは、λ／８の探さ（λ
は使用する光波長）とし、約７００〜９００λの深さを
持つ微細な溝とするのが一般的で６９、これを形成する
ために、Ａｒイオンレーザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ等を用い
てし８厚さに塗布されたレジストを露覚した後、現像を
行うのが一般的である。
〔発明が解決しようとする問題点］
し力為しながら、このような従来の溝形成方法において
は、レーザ元を一点に絞り込んで、ディスクを回転させ
ながら行うために、一枚のディスクもし７〈はディスク
用の原！１を作製するの（て３〜６時間を要し、生産性
が低いという不都合があった。
は、レーザ元を一点に絞り込んで、ディスクを回転させ
ながら行うために、一枚のディスクもし７〈はディスク
用の原！１を作製するの（て３〜６時間を要し、生産性
が低いという不都合があった。
又、このように一枚を製造するのに時間を必要とするた
めに、どうし゜Ｃも原盤を作り、これをもとに複製する
沈め工程がａ雑となり、この工程において発生するエラ
ーの原因が多数となり、原盤ではｌ口−７〜１０”の程
度であったものが１０−ｌ〜１０″″＠になってしまう
欠点ｔ−ＶＬ，ていた。又、一本のビームで全面を描画
するために、回転系，送り系に非常に精密な精度が要求
される。即ち溝と溝の間隔は、±０．０５μｍ以内とい
う機械精度としては極限のものが要求され、約１０ｇ＋
の長スパンで精度が１０−＠〜１０−８という値ｔ７寮
現させなければならないために、描画系自体が非常に複
Ｍ、高価に力らざるｆ：得な力・つ友。
めに、どうし゜Ｃも原盤を作り、これをもとに複製する
沈め工程がａ雑となり、この工程において発生するエラ
ーの原因が多数となり、原盤ではｌ口−７〜１０”の程
度であったものが１０−ｌ〜１０″″＠になってしまう
欠点ｔ−ＶＬ，ていた。又、一本のビームで全面を描画
するために、回転系，送り系に非常に精密な精度が要求
される。即ち溝と溝の間隔は、±０．０５μｍ以内とい
う機械精度としては極限のものが要求され、約１０ｇ＋
の長スパンで精度が１０−＠〜１０−８という値ｔ７寮
現させなければならないために、描画系自体が非常に複
Ｍ、高価に力らざるｆ：得な力・つ友。
本発明に係る多数溝同時形成方法は上述り、７’Ｌよう
な問題ｔ−Ｓ決丁べくなされたもので、多重干渉による
光学的な縞模材を形成し、シリンドリカルレンズを用い
て一軸的に絞り込むことによｐ光の輝点の点列を形成し
、この点りｌＩ￥ｒ走査することにより多数点の軌跡を
同時°に生じせしめる工うＶこしたものでるる。
な問題ｔ−Ｓ決丁べくなされたもので、多重干渉による
光学的な縞模材を形成し、シリンドリカルレンズを用い
て一軸的に絞り込むことによｐ光の輝点の点列を形成し
、この点りｌＩ￥ｒ走査することにより多数点の軌跡を
同時°に生じせしめる工うＶこしたものでるる。
本発明においてＬ光の輝点の点列を形成し、この点列を
走査しているので多数＃Ｉを一括訂元でき、溝の幅のみ
ならす溝間のピッチをも一定に保つことが可能でろる。
走査しているので多数＃Ｉを一括訂元でき、溝の幅のみ
ならす溝間のピッチをも一定に保つことが可能でろる。
１にだ、同時に多数の＃を描画できるため、従来よりも
数倍の描画速肚が得られ、生産性を著しく向上させる。
数倍の描画速肚が得られ、生産性を著しく向上させる。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明をで係る多数溝同時形成方法の基本構成
図でるる。同図において、図示しないレーザ光源力≧ら
出たレーザ光管通常のエクスパンダ（光の幅を広げる機
械）を通し、さらにレンズ（いずれも図示せず〕によｐ
平行ビーム１とり、７を後、この平行ビーム１１に１第
２図に示すように傾斜角ψで交差する２枚の反射板２．
３の多重干渉条件を形成せる部分に上方より透過させる
。この時、反射板２．３の間隔をｄとしたとき、２ｄ／
λ−ｍ（但し、λは使用せる元の波長、ｍｉｔ整数〕に
最大透過管（、，２ｄ／λ＝ｍ＋７の条件全満た丁ｄに
おいて、最小透過となるような干渉波形が得られ、反射
板２．３の平面性が十分間いものであれば、第２図に示
すＪうな干渉波形が得られ、ピークからピークまでの間
隔Ｐは−ψ＝”−’ よＰ ２Ｐ ９−足と々し得る。例えば、２つの反射板２．３の傾斜
角度ψを１９．５度とし、光源としてＨｅＮ・レーザ（
λ−０．６３２８μｍ）を用いれば、１．６＃ｍピッチ
の多数の干渉縞を形成できる。また、Ａｒイオンレーザ
の０．４８８μｍを用いれば、傾斜角度ψは１５．２度
で１い。これらの反射板２，３によって形成され７を第
２図に示す干渉波形は、スリット４を通して整形さね、
さらにシリンドリカルレンズ５にｊクー軸的ＶＣ絞り込
普れることにより、無点ｍ６上に多数の元の輝点からな
る点列Ｔを形成する。したがって、この方法を用いれば
多数の点列７を用いて同時に描画が可能でめる。
図でるる。同図において、図示しないレーザ光源力≧ら
出たレーザ光管通常のエクスパンダ（光の幅を広げる機
械）を通し、さらにレンズ（いずれも図示せず〕によｐ
平行ビーム１とり、７を後、この平行ビーム１１に１第
２図に示すように傾斜角ψで交差する２枚の反射板２．
３の多重干渉条件を形成せる部分に上方より透過させる
。この時、反射板２．３の間隔をｄとしたとき、２ｄ／
λ−ｍ（但し、λは使用せる元の波長、ｍｉｔ整数〕に
最大透過管（、，２ｄ／λ＝ｍ＋７の条件全満た丁ｄに
おいて、最小透過となるような干渉波形が得られ、反射
板２．３の平面性が十分間いものであれば、第２図に示
すＪうな干渉波形が得られ、ピークからピークまでの間
隔Ｐは−ψ＝”−’ よＰ ２Ｐ ９−足と々し得る。例えば、２つの反射板２．３の傾斜
角度ψを１９．５度とし、光源としてＨｅＮ・レーザ（
λ−０．６３２８μｍ）を用いれば、１．６＃ｍピッチ
の多数の干渉縞を形成できる。また、Ａｒイオンレーザ
の０．４８８μｍを用いれば、傾斜角度ψは１５．２度
で１い。これらの反射板２，３によって形成され７を第
２図に示す干渉波形は、スリット４を通して整形さね、
さらにシリンドリカルレンズ５にｊクー軸的ＶＣ絞り込
普れることにより、無点ｍ６上に多数の元の輝点からな
る点列Ｔを形成する。したがって、この方法を用いれば
多数の点列７を用いて同時に描画が可能でめる。
〔実施例１〕
第３図はポジ型レジストを１１１布せるガラス円盤１０
に回転描画を行う場合の例會示すもので、ガラス円盤１
０の上方に′ｔｓ１図會て示した構成からなる露光手段
１１を、スリットの長手軸がガラス円盤１０の＃Ｐ径方
向と一致するように配置し、レーザーパワー１６００ｍ
ｗとし、ガラス円盤１０を１０Ｏｒ、ｐ、ｍで回転させ
た。この時、スリットの長手方向は１０ ｍｍ とした
。露光後、現像処理を施したところ、複数の＃１２ｔ−
等間隔に形成できたＯ 〔実施例２〕 第４図は実施例１と同様、ガラス円盤１０に回転描画を
行う場合の例を示すものでらるが、スリット長手軸をガ
ラス円盤１０の中径方向に対して角度θ（θ−６０°）
だけ傾斜させた点が相異している。このような配置構成
においてＦｉ冥施例１のｌ／’２ （６０°の場合、（
２）６０°＝し２となって１／２ となる）のピッチ
の溝１２が形成できる。
に回転描画を行う場合の例會示すもので、ガラス円盤１
０の上方に′ｔｓ１図會て示した構成からなる露光手段
１１を、スリットの長手軸がガラス円盤１０の＃Ｐ径方
向と一致するように配置し、レーザーパワー１６００ｍ
ｗとし、ガラス円盤１０を１０Ｏｒ、ｐ、ｍで回転させ
た。この時、スリットの長手方向は１０ ｍｍ とした
。露光後、現像処理を施したところ、複数の＃１２ｔ−
等間隔に形成できたＯ 〔実施例２〕 第４図は実施例１と同様、ガラス円盤１０に回転描画を
行う場合の例を示すものでらるが、スリット長手軸をガ
ラス円盤１０の中径方向に対して角度θ（θ−６０°）
だけ傾斜させた点が相異している。このような配置構成
においてＦｉ冥施例１のｌ／’２ （６０°の場合、（
２）６０°＝し２となって１／２ となる）のピッチ
の溝１２が形成できる。
つｉり、２枚の反射板２．８の傾斜角ψヲ費えずとも、
スリット長手軸の傾き角θを制御することにより、溝１
２の間隔を自由に変え得るものでるる。
スリット長手軸の傾き角θを制御することにより、溝１
２の間隔を自由に変え得るものでるる。
〔実施例３〕
平板上にレジストを塗布し、一方−１に平板を動かし描
画させたところ、平行な多数の溝が同時に形成できた。
画させたところ、平行な多数の溝が同時に形成できた。
この方法を用いることによって、元カード用の溝形成が
連続して行えることを確認したＯ 〔実施例４〕 ５ｊ！施例１において、従来、３００ｒｐｍで２００ｒ
ｍφの溝基板を作製する沈めに、同心円を描く場合３〜
４時間が必要でめったが本方法を用いることによってわ
ずか２０分程度で作製が可能でめった。
連続して行えることを確認したＯ 〔実施例４〕 ５ｊ！施例１において、従来、３００ｒｐｍで２００ｒ
ｍφの溝基板を作製する沈めに、同心円を描く場合３〜
４時間が必要でめったが本方法を用いることによってわ
ずか２０分程度で作製が可能でめった。
又、本方法で得られた基板を用い、Ｔθ′ｆ蒸着せしめ
、光ディスクとしてエラー レートを畔価したところ、
転写法を用いた従来の手法では２ Ｘ １０−６のエラ
ー率でめったものが、５Ｘ］０−７以下と、特性の良い
結果が得られた。また、拳法で得られた溝のピッチむら
は１００５μｍ以下と々つた。
、光ディスクとしてエラー レートを畔価したところ、
転写法を用いた従来の手法では２ Ｘ １０−６のエラ
ー率でめったものが、５Ｘ］０−７以下と、特性の良い
結果が得られた。また、拳法で得られた溝のピッチむら
は１００５μｍ以下と々つた。
以上説明したように本発明に係る多数溝同時形成方法は
、多重干渉による縞模様をシリンドリカルレンズで一軸
的に絞り込むことにエリ、元の輝点の点列を形成し、こ
の点列を走査して多数の溝を同時に描画するようにして
いるので、高速描画が達成でき、生産性を著しく向上さ
せ得る。ｔｈｅ従来の１ビームで描画する場合は、どう
［２ても原盤作製を行って複写、転写を重ねるため、基
板の欠陥の増加ヲマねいていたが、本発明ブＪ法によれ
ば基板を固接形成可能であるために、低エラーレートが
突現でき、また、ピッチむらも従来±０，１μｍ程度で
めったものが±０．０５μｍを達成でき、高品質のもの
が得られる。′ｔた、元カード用の直接溝形成に適して
お９１カードの連続生産が可能になる利点も有している
。
、多重干渉による縞模様をシリンドリカルレンズで一軸
的に絞り込むことにエリ、元の輝点の点列を形成し、こ
の点列を走査して多数の溝を同時に描画するようにして
いるので、高速描画が達成でき、生産性を著しく向上さ
せ得る。ｔｈｅ従来の１ビームで描画する場合は、どう
［２ても原盤作製を行って複写、転写を重ねるため、基
板の欠陥の増加ヲマねいていたが、本発明ブＪ法によれ
ば基板を固接形成可能であるために、低エラーレートが
突現でき、また、ピッチむらも従来±０，１μｍ程度で
めったものが±０．０５μｍを達成でき、高品質のもの
が得られる。′ｔた、元カード用の直接溝形成に適して
お９１カードの連続生産が可能になる利点も有している
。
第１図は本発明方法の基本構成図、第２図は干渉波形と
傾斜角ψの関係を示す図、第３図はガラス円盤への婢描
画例を示す図、第４図はガラス円盤への溝描画例の他の
例を示す図でるる。
傾斜角ψの関係を示す図、第３図はガラス円盤への婢描
画例を示す図、第４図はガラス円盤への溝描画例の他の
例を示す図でるる。
Claims (1)
- 多重干渉による光学的な縞模様を形成し、シリンドリカ
ルレンズを用いて一軸的に絞り込むことにより光の輝点
の点列を形成し、この点列を走査することにより多数点
の軌跡を同時に生じせしめることを特徴とする多数溝同
時形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22377285A JPS6284449A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 多数溝同時形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22377285A JPS6284449A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 多数溝同時形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284449A true JPS6284449A (ja) | 1987-04-17 |
Family
ID=16803466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22377285A Pending JPS6284449A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 多数溝同時形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284449A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63271741A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Canon Inc | 光記録媒体の製造方法 |
| US5119359A (en) * | 1987-04-08 | 1992-06-02 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method and apparatus for fabricating an optical disc master and an optical disc |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5894149A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 光デイスクの光干渉型案内溝作製用原板の製造法 |
| JPS5933631A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用基板に案内溝を形成する方法 |
| JPS6238417A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-19 | Fujitsu Ltd | 環状パタ−ン形成方法 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP22377285A patent/JPS6284449A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5894149A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 光デイスクの光干渉型案内溝作製用原板の製造法 |
| JPS5933631A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用基板に案内溝を形成する方法 |
| JPS6238417A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-19 | Fujitsu Ltd | 環状パタ−ン形成方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5119359A (en) * | 1987-04-08 | 1992-06-02 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method and apparatus for fabricating an optical disc master and an optical disc |
| JPS63271741A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Canon Inc | 光記録媒体の製造方法 |
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