JPS6284949A - 微動回転装置 - Google Patents
微動回転装置Info
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- JPS6284949A JPS6284949A JP22253985A JP22253985A JPS6284949A JP S6284949 A JPS6284949 A JP S6284949A JP 22253985 A JP22253985 A JP 22253985A JP 22253985 A JP22253985 A JP 22253985A JP S6284949 A JPS6284949 A JP S6284949A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、例えばＬＳＩの検査装置、製造装置、測定
機器、工作機械その他の精密な回転位置決め装置に適用
する微動回転装置に関する。
機器、工作機械その他の精密な回転位置決め装置に適用
する微動回転装置に関する。
〈発明の概要〉
この発明は、テーブル中央に固定部、その外周に放射状
に突出する薄肉弾性片を介して回動部を連設した微動回
転テーブルの回動部に対し、固定部に薄肉部を介して可
動部を連設した微動レバーの前記固定部を取付け、回動
部の周辺に係合部、微動レバーに係合ピンを配設して互
いに係合させ且つ微動レバーの先端部を往復駆動機構に
連繋してなり、微動回転テーブルの回転案内機構の省略
化、微動回転の円滑性および精度を向上するにある。
に突出する薄肉弾性片を介して回動部を連設した微動回
転テーブルの回動部に対し、固定部に薄肉部を介して可
動部を連設した微動レバーの前記固定部を取付け、回動
部の周辺に係合部、微動レバーに係合ピンを配設して互
いに係合させ且つ微動レバーの先端部を往復駆動機構に
連繋してなり、微動回転テーブルの回転案内機構の省略
化、微動回転の円滑性および精度を向上するにある。
〈発明の背景〉
従来この種微動回転装置として第４図に示す機構（公知
文献：日経メカニカル、１９８４年２月２７日号、第８
６頁図−１）がある。
文献：日経メカニカル、１９８４年２月２７日号、第８
６頁図−１）がある。
該微動回転装置は、回転テーブル４の外周数箇所を回転
自由な案内車５に支承し、一方、上記回転テーブル４に
対し、接線方向に対応して往復動機構６を配設し、往復
動機構６において、送り軸６１に螺合したスライダ６２
に突き棒６３を備えてその先端をテーブル４に当て、該
突き棒６３に近接し且つ平行してテーブル４とモータフ
レーム等の固定部６４との間に引張バネ６５を介装して
構成されている。この装置は、パルスモータ６６の動作
により送り軸６１上のスライダ６２が往動、または復動
することにより、突き棒６３または引張バネ６５がテー
ブル４に対し接線方向から押引力を作用し、正逆方向に
微動回転させるものである。ところが、かかる構造にお
いて、テーブル４の回転分解能を向上させるためには、
送り軸６１のネジピッチを小ピツチとするか或いはパル
スモータ６６をステップ角度の小さいものを使用する必
要があり、前者の場合は加工上に、また後者の場合はモ
ータの重量、形状ともに大となり、装置の小型化に不都
合を生じる。しかも、微動回転テーブル４は、外周の数
個所を案内車５に支承しているため、テーブル４と緊内
溝５との間にガタを生じて回転精度に悪影客を及ぼすと
共に、案内車５のヘアリングが摩耗し、同様に回転精度
の低下、微動回転特性の劣化を招く等、幾多の問題があ
った。
自由な案内車５に支承し、一方、上記回転テーブル４に
対し、接線方向に対応して往復動機構６を配設し、往復
動機構６において、送り軸６１に螺合したスライダ６２
に突き棒６３を備えてその先端をテーブル４に当て、該
突き棒６３に近接し且つ平行してテーブル４とモータフ
レーム等の固定部６４との間に引張バネ６５を介装して
構成されている。この装置は、パルスモータ６６の動作
により送り軸６１上のスライダ６２が往動、または復動
することにより、突き棒６３または引張バネ６５がテー
ブル４に対し接線方向から押引力を作用し、正逆方向に
微動回転させるものである。ところが、かかる構造にお
いて、テーブル４の回転分解能を向上させるためには、
送り軸６１のネジピッチを小ピツチとするか或いはパル
スモータ６６をステップ角度の小さいものを使用する必
要があり、前者の場合は加工上に、また後者の場合はモ
ータの重量、形状ともに大となり、装置の小型化に不都
合を生じる。しかも、微動回転テーブル４は、外周の数
個所を案内車５に支承しているため、テーブル４と緊内
溝５との間にガタを生じて回転精度に悪影客を及ぼすと
共に、案内車５のヘアリングが摩耗し、同様に回転精度
の低下、微動回転特性の劣化を招く等、幾多の問題があ
った。
〈発明の目的〉
この発明は、材料の弾性変形にてテーブルを微動回転さ
せることにより、上記従来の諸問題を解消し、高精度、
高分解能、高安定性を実現する新規な微動回転装置を提
供することを目的とする。
せることにより、上記従来の諸問題を解消し、高精度、
高分解能、高安定性を実現する新規な微動回転装置を提
供することを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、この発明では、テーブル中
央に固定部、その外周に放射状に突出する薄肉弾性片を
介して回動部を連設した微動回転テーブルの回動部に対
し、固定部に薄肉部を介して可動部を連設した微動レバ
ーの前記固定部を取付け、回動部の周辺に係合部、微動
レバーに保合ピンを配設して互いに係合させ且つ微動レ
バーの先端部を往復駆動機構に連繋して成る。
央に固定部、その外周に放射状に突出する薄肉弾性片を
介して回動部を連設した微動回転テーブルの回動部に対
し、固定部に薄肉部を介して可動部を連設した微動レバ
ーの前記固定部を取付け、回動部の周辺に係合部、微動
レバーに保合ピンを配設して互いに係合させ且つ微動レ
バーの先端部を往復駆動機構に連繋して成る。
上記の構成によると、この発明では、回転テーブルは複
数の薄肉弾性片の変形にて微動回転し、従って、外周を
支承する案内車の省略、微動動作の円滑性および性能を
向上する。しかも、上記テーブルに対し、微動レバーが
薄肉部の変形によって微動力を作用するため、微動レバ
ーの回転中心をなす薄肉部とレバー先端の回転入力部と
の間隔、および前記薄肉部とテーブルに連繋した出力部
との間隔の比例関係において、テーブル回動部の動作は
、往復駆動機構の動作の数分の１に縮小され、以て、構
成および組立作業が簡易となり、且つ高精度、高分解能
を実現し得る実用上の効果を奏する。
数の薄肉弾性片の変形にて微動回転し、従って、外周を
支承する案内車の省略、微動動作の円滑性および性能を
向上する。しかも、上記テーブルに対し、微動レバーが
薄肉部の変形によって微動力を作用するため、微動レバ
ーの回転中心をなす薄肉部とレバー先端の回転入力部と
の間隔、および前記薄肉部とテーブルに連繋した出力部
との間隔の比例関係において、テーブル回動部の動作は
、往復駆動機構の動作の数分の１に縮小され、以て、構
成および組立作業が簡易となり、且つ高精度、高分解能
を実現し得る実用上の効果を奏する。
〈実施例の説明〉
第１図は本発明に係る微動回転装置を示す。
該微動回転装置は、テーブル中央に固定部１１、その外
周に放射状に突出した複数の薄肉弾性片１２を介して回
動部１３を一体に連設した微動回転テーブル１と、前記
回動部１３に取付けた固定部２１！、：薄肉部２２を介
してテーブルＩ外周から突出した可動部２３を有し、こ
の可動部２３と回動部１３との間に互いに係合した係合
部１４、ピン２４を有す微動レバー２と、該レバー２の
先端部に連繋配備され、このレバー２を前記薄肉部２２
を中心として微動回転させる往復駆動機構３とから構成
する。
周に放射状に突出した複数の薄肉弾性片１２を介して回
動部１３を一体に連設した微動回転テーブル１と、前記
回動部１３に取付けた固定部２１！、：薄肉部２２を介
してテーブルＩ外周から突出した可動部２３を有し、こ
の可動部２３と回動部１３との間に互いに係合した係合
部１４、ピン２４を有す微動レバー２と、該レバー２の
先端部に連繋配備され、このレバー２を前記薄肉部２２
を中心として微動回転させる往復駆動機構３とから構成
する。
前記微動回転テーブル１は、中央固定部１１を半導体製
造装置等の要所にビス固定すると共に、外周部には一辺
を一薄肉弾性片１２を通る直径線上に揃えた直角の切欠
部１５を設けてＬ型材１６の一辺を取付け、Ｌ型材１６
の立上壁と切欠壁にて係合部１４を形成し、その間にレ
バー２上のピン２４を係合している。
造装置等の要所にビス固定すると共に、外周部には一辺
を一薄肉弾性片１２を通る直径線上に揃えた直角の切欠
部１５を設けてＬ型材１６の一辺を取付け、Ｌ型材１６
の立上壁と切欠壁にて係合部１４を形成し、その間にレ
バー２上のピン２４を係合している。
微動レバー２は、その固定部２１を前記係合部１４と薄
肉弾性片１２との略中間部にビス固定して薄肉部２２を
直径線上に揃えると共に、可動部２３には係合部Ｉ４に
対応してピン２４を植設し、互いに係合している。前記
可動部２３の先端には、薄肉弾性片１２および薄肉部２
２を通る直径線上に対応して一例にピン２５、他側にＬ
型材２６を縦設し、ピン２５と■、型材２６の立上壁と
の間に係合部２７を設けて、これに往復駆動機構３を連
繋している。
肉弾性片１２との略中間部にビス固定して薄肉部２２を
直径線上に揃えると共に、可動部２３には係合部Ｉ４に
対応してピン２４を植設し、互いに係合している。前記
可動部２３の先端には、薄肉弾性片１２および薄肉部２
２を通る直径線上に対応して一例にピン２５、他側にＬ
型材２６を縦設し、ピン２５と■、型材２６の立上壁と
の間に係合部２７を設けて、これに往復駆動機構３を連
繋している。
往復駆動機構３は、一端を駆動モータ３１に連繋し軸身
上にネジ溝を形成した送り軸３２を前記微動レバー２の
先端に直交して軸承配備し、該送り軸３２には、第２図
に示す如くガイド３３およびガイドピン３４によって回
転を阻止したスライダ３５を螺合してその一例に伝動ピ
ン３６を突設し、該伝動ピン３６を前記微動レバー２先
端の係合部２７に係合し、連繋してなるものである。
上にネジ溝を形成した送り軸３２を前記微動レバー２の
先端に直交して軸承配備し、該送り軸３２には、第２図
に示す如くガイド３３およびガイドピン３４によって回
転を阻止したスライダ３５を螺合してその一例に伝動ピ
ン３６を突設し、該伝動ピン３６を前記微動レバー２先
端の係合部２７に係合し、連繋してなるものである。
然して、第３図において、駆動モータ３１の作動により
スライダ３５が矢印入方向に移行し、伝動ピン３６が微
動レバー２の先端を伝動するとき、伝動レバー２は薄肉
部２３がその弾力に抗して変形し、核部を回転中心とし
て微動回動する。これにより、可動部２３のピン２４が
テーブル回動部１３に微動回動力を作用する。従って、
テーブル回動部１３は、前記レバー２の回動入力によっ
て各薄肉弾性片１２がその弾力に抗して変形し、微動回
動する。スライダ３５が後退したときは、薄肉部２２は
レバー２の復帰に応じ、また、薄肉弾性片にはテーブル
回動部１３の復帰に応して資材の弾性により原状に復帰
する。スライダ３５が逆方向に移行した場合、微動レバ
ー２は先とは逆方向に微動し、テーブル回動部１３を逆
方向に微動回動する。
スライダ３５が矢印入方向に移行し、伝動ピン３６が微
動レバー２の先端を伝動するとき、伝動レバー２は薄肉
部２３がその弾力に抗して変形し、核部を回転中心とし
て微動回動する。これにより、可動部２３のピン２４が
テーブル回動部１３に微動回動力を作用する。従って、
テーブル回動部１３は、前記レバー２の回動入力によっ
て各薄肉弾性片１２がその弾力に抗して変形し、微動回
動する。スライダ３５が後退したときは、薄肉部２２は
レバー２の復帰に応じ、また、薄肉弾性片にはテーブル
回動部１３の復帰に応して資材の弾性により原状に復帰
する。スライダ３５が逆方向に移行した場合、微動レバ
ー２は先とは逆方向に微動し、テーブル回動部１３を逆
方向に微動回動する。
本発明は上記の如く、テーブル中央に固定部１１、その
外周に放射状に突出する薄肉弾性片１２を介して回動部
１３を連設した微動回転テーブル１の回動部１３に対し
、固定部２１に薄肉部２２を介して可動部２３を連設し
た微動レバー２の前記固定部２１を取付け、回動部１３
の周辺に係合部１４、微動レバー２に係合ピン２４を配
設して互いに係合させ且つ微動レバー２の先端部を往復
駆動機構３に連繋したから、特に本発明は、微動回転テ
ーブルの回動を複数の薄肉弾性片１２の弾性変形により
実現するため、案内車を用いた従来装置に比べて構成の
開局化および案内車とテーブルとの間のガタ付き、ベア
リングの摩耗等の問題が一挙に解消され、精度の高いま
た安定した微動回転を実現する。
外周に放射状に突出する薄肉弾性片１２を介して回動部
１３を連設した微動回転テーブル１の回動部１３に対し
、固定部２１に薄肉部２２を介して可動部２３を連設し
た微動レバー２の前記固定部２１を取付け、回動部１３
の周辺に係合部１４、微動レバー２に係合ピン２４を配
設して互いに係合させ且つ微動レバー２の先端部を往復
駆動機構３に連繋したから、特に本発明は、微動回転テ
ーブルの回動を複数の薄肉弾性片１２の弾性変形により
実現するため、案内車を用いた従来装置に比べて構成の
開局化および案内車とテーブルとの間のガタ付き、ベア
リングの摩耗等の問題が一挙に解消され、精度の高いま
た安定した微動回転を実現する。
しかも、テーブル１に対し微動レバー２が薄肉部２２の
変形によって微動を行わせるため、テーブル回動部１３
の動作は、駆動機構３の動作の数分の１に縮小され、以
て、テーブル動作に高精度、高分解能を実現し得る等、
発明目的を達成した効果を有す。
変形によって微動を行わせるため、テーブル回動部１３
の動作は、駆動機構３の動作の数分の１に縮小され、以
て、テーブル動作に高精度、高分解能を実現し得る等、
発明目的を達成した効果を有す。
第１図は本発明にかかる微動回転装置の一例を示す平面
図、第２図は第１図■−■線に沿う断面図、第３図は作
動状況を説明する図、第４図は従来装置の平面図である
。 １・・・・微動回転テーブル １１・・・・固定部１２
・・・・弾性片 １３・・・・回動部１４・
・・・係合部 ２・・・・微動レバー２１・
・・・固定部 ２２・・・・薄肉部２３・・
・・可動部 ２４・・・・ピン３・・・・往
復駆動機構 ３５・・・・スライダ３６・・・・伝
動ピン 特許 出 願 人 立石電機株式会社；７ｔ′Ｚ ＞
ｆｉ 寸’ ” ａｎ ；Ｑ 漬＋ｆ＋ ｔｓａ
／、−６在史動Ｉｉ転テーフ・ル ／ｌ−、圓９−節
ｔ２＝、、ｉｉ村片 ノ３−−、、
ｕｎ會１４１Ｐｔ１．−、、ｆｌｂ、４ンｓｐ
ｚ −、、、ｔｈｉｎ レバ’−２１−、
、ｒＵ定辞 ２２９．−牙、４叶’２Ｌ−、町り
郁 ｚ＊−、、ヒ・ン３０１．注蝋鳥ｒｔ勤オ幾
・オ鳶 ３６−−−−スライダ゛。 ３６−、 イ、ｉ：＊ｒン ：ｆＦ ３＋″ｙＸ イ＞Ｉｎ状シに５ｇ莞１ハする
司寸ム）２ オ８１工ｎ軸品 手続ネ甫正書く方式〉 昭和６１年２月３日
図、第２図は第１図■−■線に沿う断面図、第３図は作
動状況を説明する図、第４図は従来装置の平面図である
。 １・・・・微動回転テーブル １１・・・・固定部１２
・・・・弾性片 １３・・・・回動部１４・
・・・係合部 ２・・・・微動レバー２１・
・・・固定部 ２２・・・・薄肉部２３・・
・・可動部 ２４・・・・ピン３・・・・往
復駆動機構 ３５・・・・スライダ３６・・・・伝
動ピン 特許 出 願 人 立石電機株式会社；７ｔ′Ｚ ＞
ｆｉ 寸’ ” ａｎ ；Ｑ 漬＋ｆ＋ ｔｓａ
／、−６在史動Ｉｉ転テーフ・ル ／ｌ−、圓９−節
ｔ２＝、、ｉｉ村片 ノ３−−、、
ｕｎ會１４１Ｐｔ１．−、、ｆｌｂ、４ンｓｐ
ｚ −、、、ｔｈｉｎ レバ’−２１−、
、ｒＵ定辞 ２２９．−牙、４叶’２Ｌ−、町り
郁 ｚ＊−、、ヒ・ン３０１．注蝋鳥ｒｔ勤オ幾
・オ鳶 ３６−−−−スライダ゛。 ３６−、 イ、ｉ：＊ｒン ：ｆＦ ３＋″ｙＸ イ＞Ｉｎ状シに５ｇ莞１ハする
司寸ム）２ オ８１工ｎ軸品 手続ネ甫正書く方式〉 昭和６１年２月３日
Claims (2)
- （１）テーブル中央に固定部その外周に放射状に突出し
た薄肉弾性片を介して回動部を連設した微動回転テーブ
ルと、前記回動部に取付けた固定部に薄肉部を介してテ
ーブル外周から突出した可動部を連設し、この可動部と
回動部との間に互いに係合した係合部、ピンを有す微動
レバーと、該レバーの先端部に連繋配備され、このレバ
ーを前記薄肉部を中心として微動回動させる往復駆動機
構とを具備して成る微動回転装置。 - （２）往復駆動機構は、微動レバーに直交して配設され
た送り軸に対し、伝動ピンを有すスライダが螺合され、
前記伝動ピンが微動レバーに連繋されている特許請求の
範囲第１項記載の微動回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22253985A JPH0757455B2 (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 微動回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22253985A JPH0757455B2 (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 微動回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284949A true JPS6284949A (ja) | 1987-04-18 |
| JPH0757455B2 JPH0757455B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=16784022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22253985A Expired - Lifetime JPH0757455B2 (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 微動回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0757455B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106735480A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 宁波兴瑞电子科技股份有限公司 | 铣边机 |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22253985A patent/JPH0757455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106735480A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 宁波兴瑞电子科技股份有限公司 | 铣边机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0757455B2 (ja) | 1995-06-21 |
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