JPS6286154A - 溶融物質の蒸気噴出装置 - Google Patents
溶融物質の蒸気噴出装置Info
- Publication number
- JPS6286154A JPS6286154A JP22496085A JP22496085A JPS6286154A JP S6286154 A JPS6286154 A JP S6286154A JP 22496085 A JP22496085 A JP 22496085A JP 22496085 A JP22496085 A JP 22496085A JP S6286154 A JPS6286154 A JP S6286154A
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- molten
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- vapor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、めっき技術などの電気化学的手段ではなく
、各種基板（金属、半導体、絶縁物など）上に物質薄膜
層などの薄膜を形成する、たとえば真空Ｚ桐着法などの
薄膜付着装置における溶融物質（たとえば鉛、銅、金、
銀、カドミュム、デルルなど）の蒸気噴出装置に関する
ものである。
、各種基板（金属、半導体、絶縁物など）上に物質薄膜
層などの薄膜を形成する、たとえば真空Ｚ桐着法などの
薄膜付着装置における溶融物質（たとえば鉛、銅、金、
銀、カドミュム、デルルなど）の蒸気噴出装置に関する
ものである。
一般にこの種薄膜付着装置は、蒸着しようとする溶融物
質を、蒸気噴出孔を有する密閉形のるつぼに収容してこ
れを加熱し、るつぼを設置した高真空雰囲気（たとえば
１０−’Ｔｏｒｒ以下のガス圧）と、加熱によりるつぼ
内に形成されろ溶融物質蒸気との間に少なくともｌＯ倍
以−ヒの圧力差を形成するとともに、ろっぽ内の溶融物
ｃｉ蒸気に熱平衡状態を保持させることにより、蒸気噴
出孔から溶融物質蒸気を低ガス圧雰囲気中に噴射させ、
断熱膨張による過冷却状態を蒸気噴出孔の近傍に形成さ
せて、過飽和状態による凝縮によって塊状原子集団（ク
ラスタ）をつくる一方、イオン引出電極に与えた負の高
電圧によってこのクラスタ全体に運動エネルギを与え、
基板」二に所定の物質薄）１り層を形成するようにした
ものである。
質を、蒸気噴出孔を有する密閉形のるつぼに収容してこ
れを加熱し、るつぼを設置した高真空雰囲気（たとえば
１０−’Ｔｏｒｒ以下のガス圧）と、加熱によりるつぼ
内に形成されろ溶融物質蒸気との間に少なくともｌＯ倍
以−ヒの圧力差を形成するとともに、ろっぽ内の溶融物
ｃｉ蒸気に熱平衡状態を保持させることにより、蒸気噴
出孔から溶融物質蒸気を低ガス圧雰囲気中に噴射させ、
断熱膨張による過冷却状態を蒸気噴出孔の近傍に形成さ
せて、過飽和状態による凝縮によって塊状原子集団（ク
ラスタ）をつくる一方、イオン引出電極に与えた負の高
電圧によってこのクラスタ全体に運動エネルギを与え、
基板」二に所定の物質薄）１り層を形成するようにした
ものである。
第３図（八）、 （Ｉｌｌは従来の薄膜付着装置におけ
る溶融物質の蒸気噴出装置の要部を示す平面図と縦断面
図を示し、第３図（人１． （Ｂ）はるつぼ（］）が円
筒形の場合、また第４図（八）、 （Ｂ）はるっぽｉｌ
ｌが矩形箱形の場合を示している。（１）ぼ内部に所定
の溶融物質（５）を収容（ツたるつぼ、（２）はこのる
つぼ（１）を所定間隔をあけて囲繞し、このるつぼ（１
）を加熱する加熱用フィラメンｌ−、ｆ３１ばろっぽｆ
ｉｌの上部開口を閉塞し、天井部中央に所定内径の蒸気
噴出孔（４）を形成した蓋体、（５ａ）はるつぼ（１）
内で形成され、蒸気噴出孔（４）から噴出する溶融物質
蒸気である。
る溶融物質の蒸気噴出装置の要部を示す平面図と縦断面
図を示し、第３図（人１． （Ｂ）はるつぼ（］）が円
筒形の場合、また第４図（八）、 （Ｂ）はるっぽｉｌ
ｌが矩形箱形の場合を示している。（１）ぼ内部に所定
の溶融物質（５）を収容（ツたるつぼ、（２）はこのる
つぼ（１）を所定間隔をあけて囲繞し、このるつぼ（１
）を加熱する加熱用フィラメンｌ−、ｆ３１ばろっぽｆ
ｉｌの上部開口を閉塞し、天井部中央に所定内径の蒸気
噴出孔（４）を形成した蓋体、（５ａ）はるつぼ（１）
内で形成され、蒸気噴出孔（４）から噴出する溶融物質
蒸気である。
従来の蒸気噴出装置は上記のように構成されているので
、加熱用フィラメンＩ−（２１に通電するととによって
加熱されたるつぼ（１）内の溶融物質（５）が蒸発する
と、その蒸気（５ａ）はるつぼ（１）内の圧力を高め、
蒸気噴出孔（４）から噴出されるが、この溶融物質蒸気
（５ａ）は圧力差による断熱膨張によって横方向に拡が
ると共に、この溶融物質蒸気（５ａ）は断熱Ｖｅ張によ
って加速冷却され、１０〜１０００個前後の原子が緩く
結合した塊状原子集団（クラスタ）が形成され、このク
ラスタが被蒸着材（図示せず）の薄膜形成に用いられる
。
、加熱用フィラメンＩ−（２１に通電するととによって
加熱されたるつぼ（１）内の溶融物質（５）が蒸発する
と、その蒸気（５ａ）はるつぼ（１）内の圧力を高め、
蒸気噴出孔（４）から噴出されるが、この溶融物質蒸気
（５ａ）は圧力差による断熱膨張によって横方向に拡が
ると共に、この溶融物質蒸気（５ａ）は断熱Ｖｅ張によ
って加速冷却され、１０〜１０００個前後の原子が緩く
結合した塊状原子集団（クラスタ）が形成され、このク
ラスタが被蒸着材（図示せず）の薄膜形成に用いられる
。
上述した従来の蒸気噴出装置においては、加熱用フィラ
メント（２）と、るつぼ（１）の外周壁との間隔が一定
でないと、るつぼ（１）が均等に加熱されない欠点があ
り、特に、第４図（Ａ）、 （Ｂ）に示すようにるつ
ぼ（１）が矩形箱形であると、加熱用フィラメン１−
（２＋との非対向面部分のるつぼの加熱温度がきオ）め
で低く、るつぼ内の溶融物質（５）が溶融されないため
、溶融物質蒸気（５ａ）の噴出量が不安定になったり、
著しく低下する欠点がある。
メント（２）と、るつぼ（１）の外周壁との間隔が一定
でないと、るつぼ（１）が均等に加熱されない欠点があ
り、特に、第４図（Ａ）、 （Ｂ）に示すようにるつ
ぼ（１）が矩形箱形であると、加熱用フィラメン１−
（２＋との非対向面部分のるつぼの加熱温度がきオ）め
で低く、るつぼ内の溶融物質（５）が溶融されないため
、溶融物質蒸気（５ａ）の噴出量が不安定になったり、
著しく低下する欠点がある。
この発明はかかる点に着目してなされたもので、加熱用
フィラメントと、るつぼの外周壁との間隔の「バラツキ
」や、るつぼの形状によって、るつぼ加熱ン晶度が不均
等にならないようにした蒸気噴出装置を提供（７ようと
するものである。
フィラメントと、るつぼの外周壁との間隔の「バラツキ
」や、るつぼの形状によって、るつぼ加熱ン晶度が不均
等にならないようにした蒸気噴出装置を提供（７ようと
するものである。
この発明にかかる蒸気噴出装置は、るつぼの外周壁の所
定位置に、熱伝導性と保を品性の良好な所定厚さの恒温
用金属板を重合定着するようにしたものである。
定位置に、熱伝導性と保を品性の良好な所定厚さの恒温
用金属板を重合定着するようにしたものである。
この発明において（よ、るつぼの外周壁の所定位置に、
熱伝導性と、保）品性の良好な恒）品用金属板を重合定
着するようにｒ、 ｔ、：のて、加熱用フィラメントと
、るつぼの外周壁との間隔の「バラツキ」や、るつぼの
形状によって、るつぼ加熱温度が全体的に不均等になる
ようなことがない。
熱伝導性と、保）品性の良好な恒）品用金属板を重合定
着するようにｒ、 ｔ、：のて、加熱用フィラメントと
、るつぼの外周壁との間隔の「バラツキ」や、るつぼの
形状によって、るつぼ加熱温度が全体的に不均等になる
ようなことがない。
第１図お、Ｌび第２図（八）、 （ＩＩ）ｉよ何れもこ
の発明の一実施例を示すもので、第１図は蒸気噴出体ｂ
ｑｆの１部断面図、第２図（人）（より２部の平面図、
第２図（Ｂ）はその縦断面図であり、上述した従来のも
の（第３図および第４図）と同一符号は同一構成部材に
つきその説明を省略する。
の発明の一実施例を示すもので、第１図は蒸気噴出体ｂ
ｑｆの１部断面図、第２図（人）（より２部の平面図、
第２図（Ｂ）はその縦断面図であり、上述した従来のも
の（第３図および第４図）と同一符号は同一構成部材に
つきその説明を省略する。
まず、第１図において、（８）は溶融物質（５）を収容
したるつぼ（１）の上部にこれと同心的に所定間隔をあ
けて配設され、溶融物質蒸気（５ａ）から生成されたク
ラスタをイオン化するイオン化電子放出フィラメント（
７）から放出される電子を加速するグリッド、（９）ζ
よこのグリッド（８）の上部に所定間隔をあけて配設さ
れ、イオン化されたクラスタを加速制御する加速電極、
α０）は表面に物質薄膜を蒸着させる被蒸着材、（１］
）は各構成部材を収容した真空槽、（６）はるつぼ（１
）の外周壁のうら、加熱用フィラメン）・（２）に対向
１７ないるつぼ（１）の外周壁に重合定着された恒温用
金属板で、この恒温用金属板（６）はたとえば熱伝導性
と保温性の良好な「タンクル」などの高温金属材料が用
いられており、この恒温金属板（６）はるつぼ（１）の
加熱）都度を全体的に均等にし、且つるつぼ（１）を保
温するために設けられたものである。
したるつぼ（１）の上部にこれと同心的に所定間隔をあ
けて配設され、溶融物質蒸気（５ａ）から生成されたク
ラスタをイオン化するイオン化電子放出フィラメント（
７）から放出される電子を加速するグリッド、（９）ζ
よこのグリッド（８）の上部に所定間隔をあけて配設さ
れ、イオン化されたクラスタを加速制御する加速電極、
α０）は表面に物質薄膜を蒸着させる被蒸着材、（１］
）は各構成部材を収容した真空槽、（６）はるつぼ（１
）の外周壁のうら、加熱用フィラメン）・（２）に対向
１７ないるつぼ（１）の外周壁に重合定着された恒温用
金属板で、この恒温用金属板（６）はたとえば熱伝導性
と保温性の良好な「タンクル」などの高温金属材料が用
いられており、この恒温金属板（６）はるつぼ（１）の
加熱）都度を全体的に均等にし、且つるつぼ（１）を保
温するために設けられたものである。
この発明の溶融物質の蒸気噴出装置は上記のように構成
されているので、るつぼ（１）を加熱するために加熱用
フィラメノＩ−（２１から放出された熱雷子は、ろっぽ
（１１と加熱用フィラメント（２１との間に印加された
正のバイアス電圧によりるつぼ（１）に間欠（７てこれ
を加熱する。そして、加熱用−フィラメント（２）に対
向しない位置に設けられた熱伝導性と保〆晶性の良好な
恒温用金属板（６）は、加熱用フィラメンｌ−（２１に
よって極部的に高ンｍに加熱されたるつぼ＋１）の熱を
、加熱フイラメンｌ−（２）に対向しないるつぼ（１）
の外周壁に伝達し、ろっぽ加熱ンに度は全体的に均等に
なす、ｌ容融物質蒸気（５＆）の噴出量が安定化され、
しかも、この恒温用金属板（６）の保温性により、るつ
ぼ（１）の熱効率が向上する。
されているので、るつぼ（１）を加熱するために加熱用
フィラメノＩ−（２１から放出された熱雷子は、ろっぽ
（１１と加熱用フィラメント（２１との間に印加された
正のバイアス電圧によりるつぼ（１）に間欠（７てこれ
を加熱する。そして、加熱用−フィラメント（２）に対
向しない位置に設けられた熱伝導性と保〆晶性の良好な
恒温用金属板（６）は、加熱用フィラメンｌ−（２１に
よって極部的に高ンｍに加熱されたるつぼ＋１）の熱を
、加熱フイラメンｌ−（２）に対向しないるつぼ（１）
の外周壁に伝達し、ろっぽ加熱ンに度は全体的に均等に
なす、ｌ容融物質蒸気（５＆）の噴出量が安定化され、
しかも、この恒温用金属板（６）の保温性により、るつ
ぼ（１）の熱効率が向上する。
この発明の溶融物質の蒸気噴出装置は上述したように、
加熱用フィラメントに対向しないるつぼの外周壁に、こ
のるつぼの温度を均等にする恒温用金属板を重合定着す
るようにしたので、加熱用−ノイラ、メン）・によって
極部的に高ン品に加熱されたるつぼの熱は、加熱フイラ
メ′Ｊ１・に対、向しないるつぼの外周壁に伝達される
ため、るつぼの加熱温度が全体的に均等化されることに
よって溶融物質蒸気の噴出量が安定化されるばかりでな
く、この恒温用金属板の保温性によってるつぼの熱効率
が向」二（）、低温プロセスによって被蒸着材に薄膜を
生成することができる優れた効果を有するものである。
加熱用フィラメントに対向しないるつぼの外周壁に、こ
のるつぼの温度を均等にする恒温用金属板を重合定着す
るようにしたので、加熱用−ノイラ、メン）・によって
極部的に高ン品に加熱されたるつぼの熱は、加熱フイラ
メ′Ｊ１・に対、向しないるつぼの外周壁に伝達される
ため、るつぼの加熱温度が全体的に均等化されることに
よって溶融物質蒸気の噴出量が安定化されるばかりでな
く、この恒温用金属板の保温性によってるつぼの熱効率
が向」二（）、低温プロセスによって被蒸着材に薄膜を
生成することができる優れた効果を有するものである。
第１図および第２図（Ａ）、 （Ｂ）は何れもこの発明
の一実施例を示すもので、第１図は蒸気噴出装置の縦断
面図、第２図（八）は要部の平面図、第２図（Ｂ）はそ
の縦断面図である。第３図（八）、 （Ｂ）および第４
図（Ａ）、 （Ｂ）は従来の溶融物質の蒸気噴出装置の
要部をそれぞれ示す平面図と縦断面図である。 図において、（１）はるつぼ、（２）は加熱用フィラメ
ン） 、（３１は蓋体、（４）は蒸気噴出孔、（５）は
溶融物質、（５ａ）は溶融物質蒸気、（６）は恒温用金
属板である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第 ｌ エ 第２図 （Ａ） （Ｂ） 第３図 （Ａ） ゛・１ 第４図 （Ａ）
の一実施例を示すもので、第１図は蒸気噴出装置の縦断
面図、第２図（八）は要部の平面図、第２図（Ｂ）はそ
の縦断面図である。第３図（八）、 （Ｂ）および第４
図（Ａ）、 （Ｂ）は従来の溶融物質の蒸気噴出装置の
要部をそれぞれ示す平面図と縦断面図である。 図において、（１）はるつぼ、（２）は加熱用フィラメ
ン） 、（３１は蓋体、（４）は蒸気噴出孔、（５）は
溶融物質、（５ａ）は溶融物質蒸気、（６）は恒温用金
属板である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第 ｌ エ 第２図 （Ａ） （Ｂ） 第３図 （Ａ） ゛・１ 第４図 （Ａ）
Claims (4)
- （１）加熱用フィラメントによって加熱され内部に溶融
物質を収容したものにおいて、上記加熱用フィラメント
に対向しないるつぼの外周壁に、このるつぼの温度を均
等にする恒温用金属板を重合定着したことを特徴とする
溶融物質の蒸気噴出装置。 - （２）恒温用金属板は、熱伝導性と保温性の良好なタン
タルなどの高温金属材料を用いたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の溶融物質の蒸気噴出装置。 - （３）るつぼの上部開口を閉塞する蓋体の天井部中央に
溶融物質蒸気を噴出させる蒸気噴出孔を形成しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の溶融物質の
蒸気噴出装置。 - （４）溶融物質を収容したるつぼの上部に、これと同心
的に溶融金属蒸気から生成されたクラスタをイオン化す
るイオン化電子放出フィラメントから放出される電子を
加速するグリッドを設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の溶融物質の蒸気噴出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22496085A JPS6286154A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22496085A JPS6286154A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286154A true JPS6286154A (ja) | 1987-04-20 |
| JPH0414185B2 JPH0414185B2 (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=16821895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22496085A Granted JPS6286154A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286154A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101918328B1 (ko) * | 2014-07-25 | 2018-11-13 | 현대중공업 주식회사 | 엔진의 푸시로드 커버 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5842159A (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-11 | Mini Pairo Denki:Kk | 片口金型放電ランプ |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22496085A patent/JPS6286154A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5842159A (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-11 | Mini Pairo Denki:Kk | 片口金型放電ランプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414185B2 (ja) | 1992-03-12 |
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