JPS628966A - ウエハとリングフレ−ムの貼り合せ方法ならびに装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基盤となるシリコン
などのウェハと、このウェハのキャリャ治具となる円形
環状などの一リングに粘着フィルムからなるテープを貼
着し、かつ、この貼着されたテープをリング上において
円形に切断したのち、不要となったテープを巻取る操作
を半自動または全自動で行なう方法および装置に関する
ものである。

〔従来の技術〕

従来では上記のようなリング状のキャリヤ冶具に対する
フィルムの貼着と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は全て手作業で行ない、リングの周囲からはみ
出したフィルムの切り取りも手作業で行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の手作業による貼着方法はきわめて手
数がかかり、かつ皺ができないように張ることは困難で
、熟練を要するなどの問題があった。

また、半自動式のものもあるが、貼着後の不要テープの
除去などに手数がかかるなどの問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はウェハとこ
のウェハを囲むリングを定位置にあるテーブル上に支持
せしめたのち、このテーブルの後方に待機していたテー
プ貼着ユニットおよび不要テープの巻取りユニットを前
進させて粘着面を下にしたテープをウェハとリング上に
引出し、ついで、巻取りユニットを残して貼着ユニット
を若干下降させた状態で待機位置に後退させるさいに、
この貼着ユニットの貼着ローラによりテープをウェハと
リングに貼着し、つぎにテーブルの測方の切断ユニット
の操作によりリング上のテープを円形に切り抜き、その
後、巻取りユニットを待機位置まで後退させるさいに、
ウェハとリングに貼着された部分以外の不要テープを巻
取りリールに巻取らせる方法および、この方法を実施す
る装置を提供するものである。

〔実施例〕

図面はこの発明方法を実施する装置の一例を示すもので
、１は複数の支柱２により基板７上に支持された支持板
であり、この支持板１上に複数の支柱３により固定テー
ブル４が取付けである。

５は７０−ティングテーブルで、このテーブル５は円筒
形であり、その下端の支持脚６が前記支持板１のガイド
孔に昇降自在に嵌合し、かつテーブル４の開口１１に若
干の遊隙を存して臨み、同７０−ティングテーブルＸ５
の上面が固定テーブル４の上面とほぼ同一面となるよう
にバネ８で押上し、ストッパ９で上限を限定する。また
、このテーブル５には適当な回り止めを施す。

前記テーブル５上にはウェハ１０の位置決め用の浅い凹
所または目印を設け、さらに複数の真空吸引孔を設けて
テーブル５上のウェハ１０を真空吸引により固定するよ
うにし、前記固定テーブル４も同様に真空吸引式とする
。

第１図の１４は前記支持板１などの設置部の前方におい
て基板７上に固定した左右一対の軸受、１５は同じく支
持板１などの後方において、基板７上に固定した左右一
対の軸受である。

この各軸受１４．１５には前後の横軸１６．１７を回動
自在に支承せしめ、この各横軸１６．１７の両端には後
方へ向くレバー１８．１９の後端をそれぞれ固定する。

また、この左右の各レバー１８．１９は第１図のように
左右のロッド２０で連結して各レバー１８．１９が同時
に同角度上下に揺動するようにする。

２１．２２は前後の昇降枠で、前部昇降枠２１の両側枠
２３の下端は軸により前記各レバー１日の後端に連結さ
れ、後部の昇降枠２２の両側枠２４の下端は軸により前
記各レバー１９の後端に連結されている。

また、前部の両側枠２３と後部の両側枠２４の上部には
左右一対のガイドレール２５の前後端を固定し、同両側
枠２３．２４の下部にも左右一対の枠材２６の両端を固
定して昇降枠２１．２２を一体に結合し、ガイドレール
２５が水平の状態で昇降し得るようにする。

また、第１図のように後方のレバー１９の中間けてレバ
ー１９を上方へ突き上げるようにし、かつ基板７上には
各側枠２３．２４を下限で支持する支持台３０を設けで
ある。

Ａはテープ貼着ユニットである。このユニットＡは前記
ガイドレール２５に沿って進退する左右一対の側枠３１
間の上下にガイドローラ３２と貼着ローラ３３とを回動
自在に架設したものである。

Ｂは不要テープの巻取りユニットである。このユニット
Ｂは前記ガイドレール２５に沿って進退する左右一対の
側枠３５間に−Ｆ下のピーリングローラ３６を回動自在
に架設したものである。

第１図のように前部の昇降枠２１の両側枠２３には上下
一対の横軸３８．８９を回転自在に支承させ、後部の昇
降枠２２の両側枠２４には上下一対の横軸４０．４１を
回転自在に支承させる。

上部の横軸３８．４０の両端にはそれぞれブーｌ３４２
．４３を固定してこれに無端状のタイミングベルト４４
をかけ、その一部と前記テープ貼着ユニツ）Ａの側枠３
１とを連結片４５により連結して、横軸４０を図示省略
しである駆動手段により正逆転させることによりタイミ
ングベルト４４を介して貼着ユニットＡが進退するよう
に構成する。

下部の横軸３９．４１の両端は上部の横軸３８．４０の
両端より外方に突出させてそれぞれブー１Ｊ４７．４８
を固定し、これに無端状のタイミングベルト４９をかけ
、その一部と前記巻取りユニットＢの側枠３５とを第３
図のような倒立り形の連結枠５０により連結して、横軸
４１を図示省略しである駆動手段により正逆転させるこ
とによりタイミングベルト４９を介し巻取りユニットＢ
が進退するように構成する。

第１図ないし第３図の５１は支持板１などの設置部の側
方において基板７上に固定した左右一対の取付枠で、こ
の両取付枠５１の上端には支持枠５２の一端両側の腕５
３を軸５４により起伏自在に取付ける。

支持枠５２の中央には、この枠５２を水平にしたとき、
テーブル４の開口１１と同心となる開口５５を設け、こ
の開口５５の上部外周にはＴ形横断面の円形ガイドレー
ル５６を設ける。

第３図のＣは切断ユニットで、ガイドレール５６に取付
けた移動部材５７と、この部材５７に取付けた自由回転
の円板状カッタ５８で構成されている。また、この移動
部材５７上にはハンドル５９を設ける。

第１図の６０はテープリール、６２はガイドローラ、６
４はセパレータ巻軸で何れも図示省略しであるフレーム
に取付けられる。

６３は巻取りユニッ）Ｂの側枠３５上の軸受３７により
支承された不要テープの巻取りリールである。

上記貼着ユニッ）Ａのローラ３２．３３の何れかに逆転
防止装置を設けてユニッ）Ａが前方へ走行したとき回転
せずにテープ６１を引出し、戻り時には回転するように
し、ピーリングローラ３６の何れかにも逆転防止装置を
設けて、貼着ユニットＡが前進位置から後退しつつその
貼着ローラ３３でテープ６１を貼着中はピーリングロー
ラ３６を逆転不可としてテープ６１が弛まないようにす
る。

前記のリール６０から引出され、セパレータ６５を分離
したテープ６１はガイドローラ６２を経て貼着ユニツ）
Ａのがイドローラ３２上を通り、下部の貼着ローラ３３
の後部を回り、粘着面を下にして巻取りユニツ）Ｂの下
部のローラ３６の下側から前側を回り、上部のローラ３
６の下側から後側を通り巻取リリール６３に巻取られ、
セパレータ６５は巻軸６４に巻取られる。

つぎに作用を説明すれば７０−ティングテーブル５と固
定テーブル４上にそれぞれウェハ１０とリング１２を載
せて真空吸引などで吸着固定した条件で、第３図のよう
に切断ユニットＣを上向きとしてユニットＡ、Ｈの移動
の邪魔にならないようにし、ついで、アクチュエータ２
９の作動で各レバー１８．１９を若干上向きにして各昇
降枠２１．２２を上昇させた条件で、ユニットＡ、Ｂが
第１図の右方へ前進を始める。これにより第４図のよう
にテープ６１がウェハ１０とリング１２上に張りわたさ
れる。

ついで、アクチュエータ２９が復帰して、各ユニットＡ
、Ｂが下り、ついで貼着ユニットＡのみが元の位置へ復
帰すると、その途中で貼着ローラ３３がテープ６１をウ
ェハ１ｏとリング１２上へ第５図のように貼着する。

その後、切断ユニットＣを第３図の鎖線のように下方へ
回動してハンドル５９により移動部材５７をガイドレー
ル５６に沿って約２回程度回転させてカッタ５日により
リング１２上でテープ６１を円形に切断する。

こうしてテープ６１を切断したのち、切断ユニットＣを
第３図の実線の位置まで上昇させ。巻取りユニットＢを
後退させるとともに巻取りリール６３によりテープ６１
を巻取ると、リング１２およびウェハ１０に貼着された
テープを残した不要なテープ６１が巻取りリール６３に
巻取られ、ユニッ）Ｂは元に戻って第１図の位置になっ
て１行程が終了する。

なお、前記切断ユニッ）Ｃを、自動的に昇降し、かつ下
降時にカッタが自動的に回転してテープを切断するよう
にして、これを他のユニットＡ、Ｂの動作と関連させて
動かすようにすれば全自動となる。

〔効果〕

この発明は上記のように、テーブル上のウェハとその外
側を囲むリングへの粘着テープの貼着を貼着ユニットに
より自動的に行なうので、従来の手作業による貼着方法
に比較して、熟練者でなくともテープの貼着が正確にで
きるようになる。また、図示例の場合、切断ユニットの
カッタのみが手作業であるが、カッタはガイドレールに
沿って動かすので切断は容易であり、切断後の余分なテ
ープは巻取りユニットにより自動的に剥離するので剥離
作業もきわめて能率的に行なえ、全自動化も容易である
などの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一実施例を示す
縦断側面図、第２図は同上の平面図、第３図は同正面図
、第４図、第５図は要部の作用を説明する側面図である
。 ４・・・固定テーブル、５・・・フローティングテーブ
ル、１０・・・ウェハ、１２・・・リング、６１・・・
テープ、Ａ・・・テープ貼着ユニット、Ｂ・・・テープ
巻取りユニット、Ｃ・・・切断ユニット。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハとこのウェハを囲むリングを定位置にある
   テーブル上に支持せしめたのち、このテーブルの後方に
   待機していたテープ貼着ユニットおよび不要テープの巻
   取りユニットを前進させて、粘着面を下にしたテープを
   ウェハとリング上に引出し、ついで、巻取りユニットを
   残して貼着ユニットを若干下降させた状態で待機位置に
   後退させるさいに、この粘着ユニットの貼着ローラによ
   りテープをウェハとリングに貼着し、つぎにテーブルの
   側方の切断ユニットの操作によりリング上のテーブルを
   円形に切り抜き、その後巻取りユニットを待機位置まで
   後退させるさいに、ウェハとリングに貼着された部分以
   外の不要テープを巻取りリールに巻取らせることを特徴
   とするウェハとリングの貼り合せ方法。
2. （２）ウェハとその外側を囲むリングを支持するテーブ
   ルと、このテーブル上を移動して粘着面を下にしたテー
   プをウェハとリング上に引出すテープ貼着ユニットと、
   不要テープの巻取りリールを有する巻取りユニットを設
   け、貼着ユニットには、テープ引出後若干下降して、そ
   の貼着ローラによりテープをウェハとリング上に貼着す
   る機能をもたせ、前記テーブルの側方には、巻取りユニ
   ットを残して貼着ユニットが後退し、ウェハおよびリン
   グに貼着されたテープをリング上において、円形に切抜
   くカッタを有する切断ユニットを設け、前記巻取りユニ
   ットにはテープ切断後に後退してウェハとリング上に貼
   着された部分以外の不要のテープを巻取りリールに巻取
   らせる機能をもたせたことを特徴とするウェハとリング
   の貼り合せ装置。