JPS6289969A - 再粘着性マスキングフイルム - Google Patents

再粘着性マスキングフイルム

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Publication number
JPS6289969A
JPS6289969A JP60231799A JP23179985A JPS6289969A JP S6289969 A JPS6289969 A JP S6289969A JP 60231799 A JP60231799 A JP 60231799A JP 23179985 A JP23179985 A JP 23179985A JP S6289969 A JPS6289969 A JP S6289969A
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JP
Japan
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film layer
base film
layer
protective film
adhesive
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Pending
Application number
JP60231799A
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English (en)
Inventor
Noriji Iwai
岩井 紀治
Tetsuya Maekawa
哲也 前川
Shinji Omura
大村 慎次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Shinko Corp
Shinko Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shinko Chemical Co Ltd
Shinko Chemical Industries Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shinko Chemical Co Ltd, Shinko Chemical Industries Co Ltd filed Critical Shinko Chemical Co Ltd
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Publication of JPS6289969A publication Critical patent/JPS6289969A/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (4I)産業上の利用分野 本発明は、ベースフィルム層、遮光性粘着剤層及び保護
フィルム層を積層させた再粘着性マスキングフィルムに
関するものである。
(11)従来の技術 従来、写真製版用の代表的なマスキングフィルムとしで
は以下のものが知られでいる7第一のマスキングフィル
ムとしてはグラシン紙、ワンクスペーパー、塩化ビニル
や塩化ビニル系共重合体をベースとする剥離性シート層
上にゴム系の感圧接着剤を塗布し、マスキング層である
ニトロセルロース系ラフカーを重ね塗りした積層物であ
る(例えば米国特許第357f3491号公報)。
第二のマスキングフィルムとしてはポリエチレンテレフ
タレートをベースフィルム層とし、その上に染料入り塩
化ビニルを塗布したものである。
(c)発明が解決しようとする問題、ヴしかしながら、
第一のマスキングフィルムは作業雰囲気の温度や湿度の
影響を受けて寸法の変化を生じ易く、又写真原版作成時
に使用される光源の熱により伸縮を起こし易いなど、耐
熱寸法安定性、吸湿寸法安定性に難点があった。
又、ニトロセルロース系ラッカーの場合、層が比較的厚
いため剥離性シート層との間の17み及び保護フィルム
との間の厚みによって写実体との間でズレが生じ、この
結果精密な写実を要する際には不向きな製品であった。
又保護フィルム層より剥離、分離さhたベースフィルム
層は強度が不充分なため破断、伸びを起こし易い等の欠
点を持っている。
一一方、fM二のマスキングフィルムは塩化ビニル層を
一旦剥離すると、それを再びベースフィルム層に接着さ
せたりシルクスクリーンや写真服に貼りつけることは事
実上不可能であった。
更に、最近では上記の改良タイプと見られるベースフィ
ルム層及び保、4フィルム層にポリプロピレンフィルム
を用い、又アクリル系粘着剤に染料を加えて遮光性粘着
剤層としたものが市販されているが、ベースフィルム層
と保護フィル!一層が同じポリプロピレンフィルムで形
成されているから保、aフィルム層をベースフィルム層
から剥離させるためにはベースフィルム層に剥離処理を
施す必要があり、剥離処理を施こすことにより以下に述
べる問題が生じていた。
先ず、第一の問題点としては、マスキングフィルムとし
て使用する場合、CADグラフやカットナイフにより、
所定の図案作成のため保護フィル1%層上り力ントシて
いくが、ポリプロピレンフィルムはその臨’/、!x面
張力が31 dynes/ Cmと比較的小さく、この
ためポリプロピレンフィルム(ベースフィルムJIj)
に剥離剤で剥離処理を施すと粘着力が著しく低下し、こ
の結果、カット面に沿って)7きが発生し、写真製版等
での端部が不鮮明lこなるのであっrこ。
第二の問題点としては、遮光性粘着剤層を形成して成る
保護フィルム層をベースフィルム層より剥離したとき、
該遮光性粘着剤層に含まれる染料がベースフィルム層に
転mu、この結果% ヘー スフイルムの光線透過性が
悪くなるといった問題があった。
(d) I!!J題点を解決するための手段本発明者ら
は」ユニ問題点を解決すべく種々検討を重ねた結果、ベ
ースフィルム層と保護フィルム層を同一素材のフィルム
で形成し、且つ保護フィルムの臨界表面張力がベースフ
ィルム層の臨界表面張力より3 dyne*/ cIf
1以上大きくし、これによって、上記のベースフィルム
層と保護フィルム層との間において遮光性tIIIXf
削層の接着力に差異をもたせることを見い出し、本発明
を完成するに至ったものである。
即ち、本発明は実質的に透明なベースフィルム層と、遮
光性粘着剤層及び保:aフィルム層からなるマスキング
フィルムであって、上記のベースフィルム層ト保J フ
ィルム層をR−Z 材のフィルムで形成し、且つ上記保
護フィルム層の臨界表面張力を上記ベースフィルム層の
臨界表面張力より3Jy11eS/c111以上大きく
したことを特徴とするものである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明に用いられるベースフィルム層としては、実質的
に透明なプラスチックフィルムであれば特に限定される
ものではなく、例えばポリスチレン、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリニス
デル、ポリエチレン、ポリビニルブチラール、ポリ弗化
ビニル、ポリアミド、ポリ弗化ビニリデン、ポリプロピ
レン、ポリ弗化エチレン等のプラスチックフィルムが挙
げられ、これらのプラスチ・ンクフイルムのうち要り尺
される臨界表面張力、耐熱性、耐湿性、寸法安定性等を
考慮して適宜選択して使用される。
そして、このベースフィルム層としては、特に無色透明
のものが好ましく、又、延伸、無延伸いずれのプラスチ
ックフィルムも使用できるが、フィルム強度と寸法安定
性より2軸延伸したプラスチックフィルムが−特に好ま
しく、更に、その17さは6〜30()μ積程度が好ま
しく、特に、取扱い性、加工性等の観点から12〜15
0μtoが望ましい。
又、本発明に用いられる保護フィルムとしては、透明或
は半透明のいずれのプラスチ7クフイルムら使用できる
のであり、例えばポリエチレンテレフタレート酸エステ
ル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリオキシベンゾエート、ポリイソブチレン
オキサイド等のポリエステルフィルムやポリエーテルフ
ィルム、ナイロン6、ナイロン6.6、ナイロン10、
ナイロン11、ナイロン12等のポリアミドフィルム、
セルロースアセテート、セルロースブチレート等のセル
ロース誘導本フィルム、塩化ビニリデン、塩化ビニル、
ポリメタクリル酸メチル、ポリウレタン、ポリビニルア
ルコール、ポリスルホン、ポリイミド等のプラスチ・ン
クフイルムが挙げられ、これらのプラスチックフィルム
のうち要求される臨界表面張力、耐熱性、耐湿性、寸法
安定性等を考慮して適宜選択して使用される。
そして、この保護プラスチックフィルムとしでは、延伸
、無延伸いずれのプラスチックフィルムも使用できるが
、フィルム強度と寸法安定性より2紬延伸したプラスチ
ックフィルムが特に好ましく、又その厚さは3〜150
μm1程度が好ましく、取扱い性、加工性等の観点から
6〜80μtoが最ら望ましい。
そして本発明の最も大きな特徴は、上記のベースフィル
ム層と、保護フィルム層を同−i +tのフィルムで形
成し、且つ上記保護フィルム層の臨界表面張力が上記ベ
ースフィルム層の臨界表面張力より3 dynes/ 
an以上大きくしたフィルムを用いた点にある。
ベースフィルムl1lr ト保護フィルム層をtq−Z
 材のフィルムで形成することにより、寸法安定性、耐
熱性等の3特性が改善され、カール、膨れ、浮き等の問
題が発生することがなく、しがし要求される特性、例え
ば耐薬品性、耐溶剤性、耐水性等の各特性に合わせて最
適なプラスチックフィルムを選択して使用できる。
又、ベースフィルム層より保護フィルム層の方の臨界表
面張力を3 dynes/cw以上大きく設定したから
、ベースフィルム層の剥離性が維持され、この結果、ベ
ースフィルム層に剥離層を設ける必要がないのである。
そして、臨界表面張力の差が3 dynes/ can
未満であると、剥離性が不充分でベースフィルム層に遮
光性粘着剤層の一部が残存し、良好なネデ性が得られな
いから好ましくない。
本発明において、臨71L表面張力とは、固体上で液体
炭化水素その他の育成溶液化合物の同族列が示す接触角
をθ、その液体の表面張力をγとすると、CO’Uθと
γとの関係は同族体の種類に関せず大木−・本の直線と
なることが多い。
この時θ=0、即ち、cosθ=1に相当するγの値を
その固体の臨界表面張力という。
そして、保aフィルム+gの[11−22面張力をベー
スフィルムの臨界表面張力より大きくするには、保護フ
ィルム層において後述の遮光性粘着剤層形成側の表面を
低温プラズマ処理等の表面処理を行う方法が好適に採用
できるのである。
低温プラズマは、低温で解離分子をME持し、プラズマ
人面処理、プラズマ重合などに応用されている。
このような低温プラズマを発生する電源としては、高周
波、マイクロウェーブ、直流、交流などがあり、また放
電の形式としては、誘導負荷、容量負荷によるグロー放
電、コロナ放電、ボクサーチャーツヤ−などがある。
このようなプラズマを用いてフィルムを処理する場合、
通常のプラズマ処理装置を利用しても充分な処理効果が
得られる。
プラズマ気体としては、空気、水素、酸素、アンモニア
、二酸化炭素、炭化水素、四フッ化炭素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム等の反応性又は非反応性の気体又はこれら
気体のil1合物を耳jいることができる。プラズマ処
理は、常圧又は減圧下で行うことができるが、減圧下で
処理する場合には、処理槽内の真空度は5 X 10−
’−10+n+1Ill)(、好ましくは0.05〜5
LIII産11ビ、出力は50〜700Wである。
そして、マスキングフィルムとして好ましい素材は、ポ
リエステルフィルムとポリプロピレンフィルムであるが
、ポリエステルフィルムの好ましいコロナ処理条1′1
は、真空度0.1〜l Q n+b+1lH1電力密度
20−30W/cm2・min、出力200−300W
であり、又、ポリプロピレンフィルムの好ましいコロナ
処理条件は、真空度0.1〜10 mf。
11、、電力密度40〜60W/cI112・l111
11、出力400−C500Wである。
又、上記保護フィルム層上に設けC)れる遮光性粘着剤
層としては、アクリル系或はゴム系等の粘着性組成物の
池、これらと相溶性があり混合して使用できる熱可塑性
U(脂などで全体として粘着性を有するらのが使用でき
るが、耐候性と粘着性に優れているアクリル系粘着性組
成物が特に好まし警1 。
上記粘着性組成物に遮光性を付与するための着色剤とし
ては染料や顔料或は染料と顔料の混合物を使用すること
ができ、染料としては油性染料、右へ溶媒可溶性染料、
金属錯塩染料等が例示され、粘着性AJI成物と良好な
相溶性があり、熱や紫外線に対し色調の変化の少ないも
のが好ましいが、マスキングフィルムとして遮光性を満
たすものであれば染料の色調や?+η造については、特
に限定されるものではない。
上記の粘着剤組成物と着色剤の溶剤としては、アセトン
、メチルエチルケトン ルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル
、ドルオール、キジロール等が挙げられる。
又、上記の保護フィルム層及び/又は遮光性粘着剤層に
は、所望により尤の反射を防止する目的でつや?”(’
(L加工を適宜施したり、或は酸化防止剤、安定剤、紫
外7線吸収削、ブロッキング防止剤及びイ;ン電防止削
等の配合剤をiu合してもよいのである。
つや消し剤としては粒径10μm以下の黒磯系粉末(例
えば含水シリカ)が挙げられる。つや消し剤の配合風は
保.I!Lフィルム又は遮光性粘X′i削層の樹脂固形
分100重量部に対して0.5〜5重量部の範囲で添加
、混合するのが好ましい。
上記帯電防止剤としては粘着性組成物に溶解しうるちの
であれば限定されるものではなく、特にカチオン系帯電
防止剤が好ましい。この帯電防止剤としては、例えばア
ルキロイル(炭素数8〜24程度)アミノプロピルジメ
チルヒドロキシエチルアンモニウム、アルキルアミン塩
や第4級アンモニウム塩(例えばN 、N 、N 、N
テトラアルキルでアルキル基はその少なくとも一つは炭
素数8〜24程度以上のものであり、残りは炭素数1〜
5程度のものである。)などが例示される。
帯電防止剤の配合量としては、昂電気の発生を防止”r
るに十分な量であればよく、保護フィルム層又は粘着性
組成物の樹脂固形分100重量部に対して1〜10重量
部とするのが好ましい。
又、他の配合剤の配合側合は、保:aフィルム層又は粘
着性組成物のり(脂固形分100重量部に対して(1.
1・〜5mffi部とするのが好ましい。
(c)作用 本発明の再粘着性マスキングフィルムは実質的に透明な
ベースフィルム層と保護フィルム層を同一X 4Iのフ
ィルムで形成したからこの両フィルム層の熱膨張率等の
特性が等しいため、寸法安定性、耐熱性等の各+?性が
改善され、カール、膨れ、浮き等の問題が発生すること
がなく、しかもベースフィルム層と保護フィルム層との
熱膨張率等の特性の差を問題にする必要がないから要求
される特性に合わせて最適なプラスチ・ンクフイルムを
容易に選択して使用しうる作用を有するのである。
又、本発明の再粘着性マスキングフィルムはその保J 
フィルム層の臨Vl!表面張力をベースフィルム層+I
lの臨界表面張力より3 dynes/ cIn大きく
なるように調整して成り、臨界表面張力が大きいフィル
ム1t;庶W・−17七重.1;諮盲II +閉め培薯
フ1 1十−人一筏いhlt、;庶尤性粘着削層は保:
aフィルム層に密着しており、ベースフィルムの接着力
は比較的小さいから、ベースフィルムに剥離処理を施す
必要性が全くないと共に、保:aフィルム層の剥離、換
言すると遮光性粘着剤層をベースフィルム層がら剥離に
際して、この遮光性粘着剤層の一部がベースフィルムに
残らないといった作用を有するのである。
又、保護フィルム層に密着している遮光性粘着前QJ台
は裳11欠でベースフィルム層:こ[IIT回も1榮り
返して貼着でき、したがって、当該ベースフィルム層を
何回もマスキングしたり或はンルクスクリーンや写真版
に何回も貼り付ける作用を有するのである。
([)実施例 以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明するが、本発
明はこれに限定されるものではない。
実施例1 粘着性組成物としてアクリル酸ブチル85重量都、アク
リロニトリル14重M部、2−ヒドロキシエチルツタク
リレート1重量部から成るう1子量約60万(数平均分
子量)のアクリルゴムを用い、これをメチルエチルケト
ンに固形分濃度が10重風%になるように溶解した。
この粘着性組成物溶液に遮光性染料であるスビロンオレ
ンノ2 RH(床組化学工業社製)8重量部と、カチオ
ン系帯電防止剤であるドデカロイルアミ7プロビルジメ
チルー2′−ヒドロキシエチルアンモニウム4瓜量部を
混合し、均一な溶液になるまで充分に攪拌を行い、次い
で、固形分濃度が6.0重風%なるようにメチルエチル
ケトンで希釈して遮光性塗工用溶液とした。該溶液は温
度23℃で粘度が900センチボイズであった。
保護フィルム層(2)として、真空度1■llビ、電力
密度25 W / ca+2・Iain、電力ff12
30Wの条件下コロナ処理層(5)を形成して成る透明
で、臨界表面張力が5 G dynes/ eta、厚
さ25μmflの2軸延伸ポリエチレンテレフタレート
フイルムを使用し、該保護フィルム層(2)のコロナ処
理層(5)側に上記塗工用溶液をロールコータ−で乾燥
後の塗膜のaさが10μIffになるように塗工して温
度100〜110 ’Cで5分間乾燥を行った。
このようにして、保護フィルム層(2)のコロナ処理層
(5)側に予め遮光性粘着剤ノー(3)を形成した。
次ぎに実質的に透明なベースフィルム層(・1)として
、無色透明で臨界表面張力が43 dyneS/ et
aで厚さ100μ【nのポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを用い、これを上記保INフィルムR11(2)
にす3ける遮光性粘着剤/(1(3)の露出面側に貼り
合わせて本発明の再粘着性マスキングフィルム(1)を
得た。
比較例 遮光性塗工用18液として実施例1と同じものを使用し
、保護フィルム層として透明で臨界表面張力が31 d
ynes/ Cm、厚さ25μmnのポリプロピレンフ
ィルムを用い、この保護フィルム層の片面に、実施例1
と同様の遮光性塗工用溶液をロールコータ−で乾燥後の
tJX膜厚さが10μ論になるように塗工して温度10
0〜110°Cで5分間乾燥を行った。
このようにして、保護フィルム層に遮光性粘着剤層を形
成した。
次に、無色透明のベースフィルム層としては厚さ60μ
mのポリプロピレンフィルムを使用した。
一方、公知の剥離剤である付加重合型のツメチルポリシ
ロキサンの30重量%トルエン溶液100m1部に対し
白金触!ll¥(商品名PL−3;信越化学工業社製)
1重量部を添加し、これを均一になるまで攪拌、混合し
た後、固形分濃度が3重量%になるまでトルエンで希釈
する。
上記ベースフィルム層の片面に、上記ネリ離削の溶液を
キスコーターで、乾燥後(固形分)の余り離削の量が0
.1ビ/1o2となるように均一に塗工して温度100
〜110℃で5分間乾燥した。
このベースフィルム層の剥離処理面側に、上記保護フィ
ルム層の遮光性粘着剤層側を貼り合わせて市販品と同様
なマスキングフィルムを得た。
実施例2 粘着性m成約としてアクリル酸7チル85重量部、アク
リロニトリル14重量部、2−ヒドロキンエチルメタク
リレ−1・1重量j猪から成る分子量約60万のアクリ
ルゴム90重量部と、塩化ビニル90重量部及び酢酸ビ
ニル10重量部から成るビニル共重合体(平均重合度7
50)10重量部の混合物をメチルエチルケトンに完全
に78解しく固形分濃度10重量%)、この粘着性組成
物溶液100重風部(固形分)に対して遮光性染料であ
るスビロンオレンノ2RI+(床組化学工業社製)8重
量部を配合し均一に混合した。
かくして11られた遮光性粘着組成物溶液の固形分10
000重量対してつや消し剤である・■4均位度4μm
1以下の含水無晶形二酸化ケイ素(酸化ケイ素含有量9
7重量%以上)1重量部を混合して遮光性塗工用溶液を
得た。
次いで、市販のシリコーン処理して成る2)1離紙の剥
離面に上記遮光性塗工用溶液を、乾燥後の膜F’l 7
5C15μ【nとなるように、ロールコータ−で塗工し
て温度100〜110°Cで5分間乾燥後し、これによ
って剥g!紙上に遮光性粘着剤/i’1(3)を形成し
た。
又、筺凌フィルムRり(2)とし′ζ、真空度1+n+
nllビ、電力密度50 W / era” ・min
、電力fi500Wの条件下コロナ処理層(5)を形成
して成る透明で臨界表面張力が38 dynes/ c
oo%qさ25μmnのプロピレンフィルムを用い、該
保護フィルム層(2)のコロナ処理層(5)側に、上記
週尤性粘着斉’]/(1(3,)を圧着して転写し、こ
れによって保護フィルム層(2)のコロナ処理層(5)
側に遮光性粘着剤JvI(3)を形成した。
一方、実質的に透明なベースフィルム層(4)として、
無色透明な厚さが60μ論のプロピレンフィルl、を使
用し、このベースフィルム層(4)を上記遮光性tII
I着/ff1(3)付き保2!フィルム(2)における
当該遮光性粘着剤M(3)とur+合わせて本発明の1
1■粘着性マスキングフィルム(1)を得た。
上記各実施例及び比較例の各特性結果をf51表に示す
(以下余白) 第1表より、本発明の再粘着性マスキングフィルムは力
/トの際にl′?きが発生せず、又保護フィルム層を♀
11雛した後、遮光性粘着剤層がベースフィルム層に残
存せず、しかも再粘着性を有するなど、比較例に比べて
優れた特徴を有することが認められた。
(g)発明の効果 本発明の再粘着性マスキングフィルムはそのベースフィ
ルムJMと保+’+e 7 イルムに4 ヲ1m −Z
 材のフィルムで形成したから、寸法安定性、耐熱性等
の各1.1性が改Hされ、カール、膨れ、浮き等の問屋
が発生せず、極めて(受れた特性を(r するのであり
、このtこめ精密な写真製版用に好適−二採用しうる等
の効果を(rするのである。
又、ベースフィルム層と保護フィルム層を同−素材のフ
ィルムで形成したから、要求される特性に合わせて最適
なプラスチックフィルムを広範な範囲から選択して使用
しうる効果を有するのである。
(fi i−イ’217 / ル/、 IM +n 1
m 9L 尤1fi1?rih本ヘースフィルム層の臨
界表面張力より3 dynes/ can以上火さくし
、これによって遮光性粘着剤層の接着力がベースフィル
ム層より保護フィルム層の方が大きくなるようにしたも
のであり、この結果、ベースフィルム層に剥離処理を施
す必要がないのであり、又、力/ターナイア等で保護フ
ィルム層に切り口を入れた際、ベースフィルムの浮きの
発生がほとんどない池、保護フィルム層をペースフィル
!、)けから剥離したとき、当、該ベースフィルム層に
遮光性粘着剤層が残存しないなどの優れた効果を有rる
のである。
又、本発明の再粘着性マスキングフィルムは保護フィル
ム層を剥離した後、この保護フィルムMを、再びベース
フィルム層に貼着したり、或はシルクスクリーンや写真
版に何回ら貼り付けることができる結果、取り扱い易く
、極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
°f51図は本発明のマスキングフィルムの要部拡大断
面図である。 (1)・・・再粘着性マスキングフィルム、(2)・・
・保護フィルム層、(3)・・・遮尤性粘着削層、(4
)・・・ベースフィルム/N、(5)・・・コロナ処J
!I! 層。 第1図 290.4蓼1ルル八贋 3−−・ fi尤A遣呵メーシMすλ−4−・ベースフ
ィルム層 5−・コロナ処チメ層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)実質的に透明なベースフィルム層と、遮光性粘着
    剤層及び保護フィルム層からなるマスキングフィルムで
    あって、上記のベースフィルム層と保護フィルム層を同
    一素材のフィルムで形成し、且つ上記保護フィルム層の
    臨界表面張力が上記ベースフィルム層の臨界表面張力よ
    り3dynes/cm以上大きくしたことを特徴とする
    再粘着性マスキングフィルム。
JP60231799A 1985-10-16 1985-10-16 再粘着性マスキングフイルム Pending JPS6289969A (ja)

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