JPS6238855B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ウエハの搬送方法に関し、特に搬
送ベルトによるウエハの搬送方法に関するもので
ある。

（従来の技術） 半導体ウエハに施こされる各種の処理、例えば
フオトリソ工程に於けるレジスト塗布及び露光は
処理装置が異るため、レジスト塗布の終了したウ
エハは搬送ベルトに乗せられて露光装置に移送さ
れる。この搬送ベルト方式によるウエハの移送
は、ウエハの移動を自動化出来ることから極めて
有益である。しかしながら搬送ベルトの前段に設
置される処理装置の処理能力が後段に設置される
処理装置の処理能力（いずれも単位時間当りの処
理能力）に比べ大きな差、例えば２：１の関係に
あるとすると、後段に投入されるウエハは過乗投
入される不都合が生じる。

かかる不都合を回避する従来技術は、例えば実
開昭51−76372号公報や特開昭55−22832号公報な
どがある。これらはいずれも分岐或は振分け装置
によつて一列で搬送されてくる被搬送体を二列に
振分けることによつて上記問題点を解決したもの
である。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながらこれらの先行技術は搬送路の他に
特別な振分け機構を必要とし、更にこれら振分け
機構をドライブする駆動装置も必要となる。半導
体素子の製造工程、特にフオトリソ工程の露光、
現像装置へのウエハ搬送は、塵埃を極端に嫌うこ
と又レジストの経時変化を極力小さくするためス
ムースな搬送を維持する関係で、搬送トラブルの
少ない、換言すればよりシンプルな搬送方法が要
求されるが、未だ満足なものではない。

（問題を解決するための手段） この発明はウエハを移送する３つの搬送ベルト
でほぼＹ字状の分岐搬送路を構成し、前記搬送ベ
ルトの駆動装置の回転方向を制御することのみ
で、前記分岐搬送路で、ウエハの移送方向を変更
する方法であり、具体的には第１の搬送ベルトの
回転により分岐搬送路に搬送されるウエハを、第
２又は第３の搬送ベルト上に移載するに際し、第
２及び第３の搬送ベルトのいずれか一方を前記第
１の搬送ベルトの回転方向と同一方向で回転さ
せ、他方をこの方向と逆方向で回転させる搬送方
法である。

（作用） ほぼＹ字状の分岐搬送路で移送方向と同方向で
回転する移載側の搬送ベルトに対し非移載側の搬
送ベルトが逆転するので非移載側が搬載側にウエ
ハを押し出すように作用し、もつて分岐搬送路で
のウエハの淀みを防ぐよう作用する。

（実施例） 第１図はこの発明方法を採用した実施例装置の
平面概略図であり、１はウエハを、２〜６は搬送
ベルト（以下単にベルトと称すこともある）を、
７は内側ガイドを、８〜１２はウエハ到来検出用
のセンサを、１３，１４は外側ガイドをそれぞれ
表わす。また、矢印は、分岐搬送路部イへウエハ
が移送される方向を示している。ベルト２〜６は
それぞれ単独に或はある部分のベルトと連動し
て、正又は逆の回転をすることにより、ウエハ１
を、このゴム製のベルト上に搭載して移送するも
のである。そしてこれらを好ましくは全てほぼ同
一の高さに設置する。更に内側ガイド７と外側ガ
イド１３，１４はウエハ１の移送路用案内である
から前記搬送ベルト２〜６の高さにウエハ１の厚
みを加えた高さより高くなる壁を形成している。
また本発明で説明する正回転は明細書全体を通し
て右回転とする。

さて、この発明のウエハ搬送方法を第１図に従
つて詳説すると、矢印で示される様に、ウエハ１
が処理装置Ａから搬送ベルト２の正回転により搬
送されて来ると、センサ８がウエハ１の到来を検
出し、分岐部で後段の装置Ｂ又はＣのいずれかに
供給するかを図示しないベルト回転制御装置でベ
ルトの回転方向を決定する。例えば後段の処理装
置Ｂにウエハ１を投入する場合には、センサ８の
検出信号により作動するベルト回転制御装置は、
ベルト３及び５を正回転にし、ベルト４を逆回転
させる。するとウエハ１はベルト２からウエハ３
及びベルト５上を移動し装置Ｂに投入（搬入）さ
れる。ウエハ１がベルト２上をある間隔をもつて
連続して搬送されると、順次到来するウエハ１を
センサ８で検出すると共にセンサ９でのウエハ１
の到来信号をベルト回転制御装置に送出し、次の
ウエハ１を装置Ｃに投入するべく、ベルト４及び
６を正回転にベルト３を逆回転に回転させる。も
しベルト２上に搬送されるウエハ１の間隔が、セ
ンサ８を通過して後段の処理装置Ｂ又はＣに投入
されるに充分な時間をもつていればセンサ９や１
０は必ずしも必要ではない。つまりセンサ８の通
過信号によりベルト３と４とを交互に正から逆
へ、逆から正へと回転させれば良い。但し搬送ベ
ルト３及び４は常に逆の関係で回転させる必要が
あることに注意しなければならない。つまりベル
ト２からベルト３またはベルト４にウエハ１を転
送する際、ウエハ１が分岐部で澱みしばしばベル
ト３又は４に転送されないことが起るからであ
る。ベルト３又は４のいずれか一方が搬送方向と
反対の回転をするのは、後段の装置Ｂ又はＣのい
ずれか一方、例えば装置Ｂへ搬入する時は装置Ｃ
への侵入を逆回転により阻止し且つ装置Ｂ方向へ
ウエハ１を搬送するべく搬送ベルト３へ送り込む
ためである。

また、この実施例装置に於て搬送ベルト２，
３，４，５及び６を逆回転することにより装置Ｂ
及びＣから搬出されるウエハ１を装置Ｂ及びＣの
二基の装置の合計処理能力と等しい処理能力を有
する装置Ａに対する安定な供給を確保できるか
ら、このような場合にも本発明は利用することが
できる。この場合でもベルト３及び４は言うまで
もなく逆方向の回転を与えねばならない。そし
て、装置Ｂ及びＣから搬出されるウエハ１０が合
流部（前述の例では分岐部）でぶつかり合わない
ようにセンサ１１及び１２で検出される信号によ
りウエハ１の搬送をベルト５及び６の回転により
制御すれば良い。

この搬送ベルト３及び４の回転は常に逆の関係
でしかも同期して回転するため、二つの駆動源例
えばモータを２基設置してこれを同期させて回転
させても良くまた、第２図に示すように１基のモ
ータ１３と、プーリ１４及びチエーン１５の組合
せで構成しても良い。なお第２図に於ける矢印は
回転方向を表わす。

（発明の効果） 以上のように本発明は、半導体ウエハに各種の
処理を施す処理装置間を連絡する搬送ベルト方式
によるウエハ移送に於て、ウエハの搬送路を２つ
に分岐するに際しウエハが分岐部で澱むことなく
スムーズに搬送できるという第１の大きな効果の
他に、この搬送路の前段に設置される処理装置と
後段に設置される処理装置の単位時間当りの処理
能力のアンバランスあるいは、バツチ処理（一括
処理）と個別処理に伴う搬送量のむらを補正する
ことができる等、この種方式に採用して際立つた
効果を発揮するものである。加えて、この発明方
法は、搬送ベルトの回転方向の制御のみでウエハ
を分岐搬送できるので、特に振分け機構を必要と
しないシンプルな装置で実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を採用した実施例装置の
平面概略図であり、第２図は発明の搬送ベルトド
ライブ方法の説明図である。 １……ウエハ、２〜６……搬送ベルト、７……
内側ガイド、８〜１２……センサ、１３，１４…
…外側ガイド、Ａ，Ｂ，Ｃ……処理装置、イ……
分岐搬送路部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 第１，第２及び第３の搬送ベルトでほぼＹ字
   状の分岐搬送路を形成し、前記第１の搬送ベルト
   上に載置され、この搬送ベルトの移動によつて移
   送される半導体ウエハを、前記分岐搬送路で、前
   記第２，第３のいずれか一方の搬送ベルトに移送
   するウエハの搬送方法に於て、前記第２及び第３
   の搬送ベルトのいずれか一方を前記第１の搬送ベ
   ルトの回転方向と同一方向で回転させ他方をこの
   方向と逆方向で回転させることにより前記第１の
   搬送ベルト上の前記ウエハを、同一方向で回転す
   る第２，第３の搬送ベルトのいずれか一方に移送
   することを特徴とするウエハの搬送方法。