JPS6295409A - 外観検査装置 - Google Patents

外観検査装置

Info

Publication number
JPS6295409A
JPS6295409A JP23540885A JP23540885A JPS6295409A JP S6295409 A JPS6295409 A JP S6295409A JP 23540885 A JP23540885 A JP 23540885A JP 23540885 A JP23540885 A JP 23540885A JP S6295409 A JPS6295409 A JP S6295409A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
appearance
rotary table
inspected
external appearance
turntable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23540885A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Takagi
祥行 高城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Intelligent Technology Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Automation Equipment Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Automation Equipment Engineering Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP23540885A priority Critical patent/JPS6295409A/ja
Publication of JPS6295409A publication Critical patent/JPS6295409A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は、搬送ガイドによって搬送されてくる例えば
IC等の電子部品の外観を検査する外観検査装置に関す
る。
[発明の技術的背景およびその問題点]搬送ガイドによ
って製造ラインから順次搬送されてくるIC等の電子部
品は従来第5図に示すように搬送ガイド23の両側に設
けられているITVカメラ25.27等により外観を搬
像され、この躍像した外観情報を例えばコンビューク笠
により正常なものと比較し、その外観検査を行なってい
る。
ところで、このような従来の電子部品の外観検査におい
ては、搬送ガイド23の両側にそれぞれITVカメラを
必要とするため、高画であるとともに、搬送ガイド23
に沿った電子部品21の両側面の外観のみしか検査でき
ず、電子部品21の搬送ガイド23に直角な方向の前1
9面の外観は検査することができないという問題がある
[発明の目的] この発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、経済的かつ簡単に被検査体の全外観を検
査することができる外観検査装置を提供することにある
[発明の概要] 上記目的を達成するため、搬送ガイドによって搬送され
てくる被検査体の外観を検査する外観検査装置であって
、この発明は、第1図に示すように、搬送ガイドの途中
に設けられた回転台1と、該回転台1に対向して設けら
れた少なくとも1台のl+1@手段3と、前記回転台1
上に搬送されてきた被検査体の外観を前記画像手段3に
より所望の方向から搬像し1qるように回転台1を回転
させる回転駆動手段5と、前記顕像手段3″c囮像した
被検査体の外観情報から被検査体の外観の良否を判定す
る判定手段7とを有することを要旨とする。
[発明の実施例] 以下、図面を用いてこの発明の詳細な説明する。
第2図はこの発明の一実施例を示すもので、この実施例
においては搬送ガイド23によって矢印31で示づ方向
から搬送されてくるIC等の電子部品21は、搬送ガイ
ド23の途中に設けられている回転テーブル33上で停
止して自在に回転し1qるようになっている。この回転
テーブル33が設けられている所には、回転テーブル3
3に対向して撮像手段である[TVカメラ35が配設さ
れ、回転テーブル33上で回転する電子部品21の外観
を画像し1!?るようになっている。図では電子部品2
1は搬送ガイド23の搬送方向に対して90°回転して
、その後部の外観をITVカメラ35が画像している場
合を示している。また、このように電子部品21が90
°回転した方向には、すなわら搬送ガイド23の搬送方
向に対して直角な方向には別の搬送ガイド29が設けら
れているが、電子部品21が外観検査の結果不良品と判
定された場合にはこの搬送ガイド29に治って矢印37
で示す方向に搬送され、良品と区別されるようになって
いる。回転テーブル33における外観検査の結果、良品
となった電子部品21は更に+m送ガイド23に沿って
矢印39で示す方向に搬送されるようになっている。
第3図は第2図に示す外観検査装置の制御部の構成図で
ある。ITVカメラ35で搬像された電子部品21の外
観情報はインターフェース回路41を介してA/Dコン
バータ43でディジタル信号に変換され、パターンメモ
リ45に記憶され、更に二値化回路47を介して画像処
理プロセッサ4つで処理されている。また、画像処理プ
ロセッサ49は機構制御用プロセッサ51に接続され、
この機構制御用プロセッサ51は更に回転テーブル駆動
部53に接続されている。この回転テーブル駆動部53
は面記回転テーブル33を回転制御するためのちのであ
る。
以上のように構成される外観検査装置においては搬送ガ
イド23によって回転テーブル33の上を搬送されてき
た電子部品21を回転テーブル駆動部53で例えば90
°ずっ順次に回転してITVカメラ35により電子部品
21の全外観を画像し、この搬像した外観情報を画像処
理プロセッサ4つで処理して電子部品21の外観の良否
を判定するものであるが、その詳細な作用を次に第4図
のフローヂャートを参照して説明する。
まず、搬送ガイド23に沿って矢印31の方向から搬送
されたきた電子部品21は回転テーブル33の上で停止
させられ、rTVカメラ35によって第1の側面の外観
の画像が搬像されて入力される(ステップ110)。入
力された第1の側面の外観情報は画像処理プロセッサ4
つにおいて良否判定処理が行なわれる(ステップ120
)。
良否判定処理の結果、不良の場合には電子部品21は第
2図に示すように90’回転させられて不良品用の搬送
ガイド29によって矢印37で示す方向に良品と区別さ
れて搬出される(ステップ130)。
第1の側面の外観検査の結果、該側面が■常の場合には
、次のステップ140において4つの側面の外観検査が
完了したか否かがチェックされる。
すなわち、電子部品21には第1乃至第4の4つの側面
があるので、これらのすべての側面の検査が完了したか
をチェックしている。4つの…り面の検査が完了してい
ない場合には、回転テーブル33を90°回転して次の
側面の両像をITVカメラ35で撮像して入ツノする(
ステップ150,160>。そして、このように入力し
た別の側面の画像情報について同様にステップ120に
おいて良否判定処理を行なう。以下、同様にして電子部
品21の4つのすべての側面についての外観検査を行な
うのである。
なお、上記実施例においては、電子部品21、特にIC
の外観検査を行なう場合について説明したが、これに限
定されるものでない。また、側面の外観検査について説
明したが、回転テーブル33を平面的でなく、更に別の
方向に回転させたりすることにより上下面等の外ih 
ら検査できるものである。また、不良品m送用のガイド
を不良検査項目1Gに複数設けてもよい。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明によれば、被検査体は回
転台上で回転駆動手段により回転させられるようになっ
ているので、1台の1層像手段でも所望の方向からの外
観、すなわち必要により全外観を簡単に検査することが
できるため、従来のように複数のITVカメラ等を必要
とせず、極めて経済的であり、また外観検査の結果、不
良品を検出した場合には回転台により被検査体を良品と
区分した方向に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明のクレーム対応図、第2図はこの発明
の一実施例を示す外観検査装置の部分構成を示す斜視図
、第3図は第2図の外観検査装置の制御部のブロック図
、第4図は第1図の外観検査装置の作用を示すフローチ
ャート、第5図は従来の外観検査装置の構成図である。 1・・・回転台、3・・・擾象手段、5・・・回転駆動
手段、7・・・判定手段。 第1図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 搬送ガイドによって搬送されてくる被検査体の外観を検
    査する外観検査装置であって、搬送ガイドの途中に設け
    られた回転台と、該回転台に対向して設けられた少なく
    とも1台の撮像手段と、前記回転台上に搬送されてきた
    被検査体の外観を前記撮像手段により所望の方向から撮
    像し得るように回転台を回転させる回転駆動手段と、前
    記撮像手段で撮像した被検査体の外観情報から被検査体
    の外観の良否を判定する判定手段とを有することを特徴
    とする外観検査装置。
JP23540885A 1985-10-23 1985-10-23 外観検査装置 Pending JPS6295409A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23540885A JPS6295409A (ja) 1985-10-23 1985-10-23 外観検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23540885A JPS6295409A (ja) 1985-10-23 1985-10-23 外観検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6295409A true JPS6295409A (ja) 1987-05-01

Family

ID=16985650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23540885A Pending JPS6295409A (ja) 1985-10-23 1985-10-23 外観検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6295409A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0298614A (ja) * 1988-10-04 1990-04-11 Kokusai Syst Sci Kk Fpタイプ半導体のピン曲り検査におけるピン撮影方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0298614A (ja) * 1988-10-04 1990-04-11 Kokusai Syst Sci Kk Fpタイプ半導体のピン曲り検査におけるピン撮影方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6198529B1 (en) Automated inspection system for metallic surfaces
US4578810A (en) System for printed circuit board defect detection
US10438340B2 (en) Automatic optical inspection system and operating method thereof
JPH04166751A (ja) びんの欠陥検査方法
JP7280068B2 (ja) 検査装置および検査方法
WO2004036198A1 (ja) ガラス壜の検査装置における基準画像の作成方法及び装置
JP3181435B2 (ja) 画像処理装置及び画像処理方法
JP7270842B2 (ja) 外観検査装置および外観検査方法
JPS6295409A (ja) 外観検査装置
JP2954332B2 (ja) 画像入力方法およびその装置
JP2561193B2 (ja) 印刷パターン検査装置
JP3137459B2 (ja) ダイボンディング装置
US20210272257A1 (en) Inspection method and inspection apparatus
JPS63318748A (ja) 電子部品検査装置
JPH06241746A (ja) 外観検査装置
JP2001304836A (ja) 半導体パッケージ外観検査装置
JPH043820B2 (ja)
JP2842486B2 (ja) 透明モールドic検査装置
KR0119723B1 (ko) 집적회로의 리드 검사방법 및 그 장치
JP3130548B2 (ja) 画像処理装置
JPH07103730A (ja) リードフレーム検査装置
JPH08247740A (ja) チップ部品の外観検査装置
JPS62119404A (ja) 外観検査装置
JPH01150847A (ja) 瓶口部の欠陥検査装置
JPH01219547A (ja) 基板検査装置