JPS63102412A - 表面弾性波共振子

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は映像機器等に用いられる表面弾性波共振子に関
するものである。

従来の技術近年、機器の高周波化に伴い、表面弾性波共振子が多く
使われるようになってきているが、さらに高周波化への
要望が強くなってきている。

従来、この種の表面弾性波共振子は、第３図に示すよう
な構成であった。第３図において、１１は圧電基板、１
２は交叉電極指、１３は反射電極指列であった。

発明が解決しようとする問題点このような従来の構成では、表面弾性波の波長をλとす
れば、電極幅が％λになり、例えば圧電基板に水晶を用
いて、１ＧＨｚの表面弾性波共振子を得ようとすれば、
その電極幅は約０．８μｍとなり、従来のフォトリング
ラフィでは製造が非常に難しいという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決するもので、所定の共
振周波数に対する電極幅を従来のものより太くすること
により、さらに高周波への展開、あるいは歩留りの向上
を図ることを目的とするものである。

問題点を解決するための手段この問題点を解決するために不発明の表面弾性波共振子
は、所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλと
して、交叉電極指の電極幅を％λ、反射電極の電極幅を
％λ、ギャップ幅をηλとしたものである。

作用この構成により、交叉電極指は波長λの表面弾性波を３
次の高調波として励振することができ、また反射電極は
２λ毎に並んでいるだめ、波長λの表面弾性波が共振さ
れる。また交叉電極指の基本波は波長が３λとなるため
、反射電極内でキャンセルされ、励振されない。

実施例第１図は本発明の一実施例における表面弾性波共振子素
子の上面図であり、第２図は断面から見た模式図である
。図中で、１は圧電基板、２は交叉電極指、３は反射電
極指列であり、第２図における波は波長λの表面弾性波
が定在波として閉じ込められた状態を示したものである
。

従来この種の表面弾性波共振子は、第３図のように中央
に電極幅弯λの交叉電極指を配し、その両側に電極幅、
ギャップ幅が３／４λの反射電極指列を設けていた。し
かしながらこのような構成では、電極部がＡλになるた
め、高周波になると電極幅が細くなり、電極作成がむず
かしくなる。

本実施例では、所望の共振周波数に対する波長をλとし
て、電極幅３／４λの交叉電極指を設けるとともに、そ
の両側に電極幅％λ、ギヤツブ幅済λの反射電極指列を
配置するという構成としている。

交叉電極指は３／４λの電極幅とギャップ幅をもってい
るが、反射電極が２λ毎に並んでいるため、基本波とな
る波長３λの波は反射電極内でキャンセルされて励振さ
れない。一方、３次の高調波である波長λの波は反射電
極で共振されるため、波長λの表面弾性波のみが励振さ
れる。

なお、第１図では、１ポ一ト型表面弾性波共撮子になっ
ているが、２ボート型の場合についても同じであること
は、いうまでもない。

発明の効果以上のよう・に電極幅３／４λの交叉電極指と、電極幅
靭λ、ギャップ＠３／４λの反射電極指列によって、波
長λの表面弾性波を励振することができ、従来のＡλに
比べて％λと電極幅が３倍になり、高周波化が可能とな
り、その実用的価値は大きい。

また交叉電極指と反射電極指列の間隔は、第２図に示す
ように％λとする時、最も効率が良くなる０

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による表面弾性波共振子素子
の上面図、第２図は同素子を断面から見た模式図、第３
図は従来の表面弾性波共振子素子の上面図である。１・・・・・・圧電基板、２・・・・・・交叉電極指、
３・・・・・・反射。電極指列。代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図

【特許請求の範囲】

（１）所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλ
として、圧電基板上に、３／４λのラインアンドスペー
スをもつ交叉電極指を設け、かつその両側に３／４λの
電極幅と５／４λのギャップ幅をもつ反射電極指列を設
けたことを特徴とする表面弾性波共振子。
（２）交叉電極指と反射電極指列の間隔がおよそ（３／
８＋ｎ／２）λ（ｎ＝１、２、……）であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波共振子。