JPS63104385A - 高分子圧電素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は高分子圧電素子における電極層の改良に関す
る。

［従来の技術］ 従来の高分子圧電素子はポリ弗化ビリニデン、ポリシア
ン化ビニリデン等の圧力−電気変換特性を有する高分子
フィルムの両面にニッケル、アルミニウム等の金属薄膜
を形成して電極部とした。構成のものが殆どであった。

［発明が解決しようとする問題点］ この様な上記高分子圧電素子においては、電極部として
ニッケルを採用した場合は圧電フィルム自体は極めて可
撓性に冨むが前記電極部を構成するニッケル′ａ膜は、
これに比べて可撓［生が極めて小さいので、当該電極部
分が高分子圧電フィルムの伸縮動作に追従できず、金属
薄膜にクランク等が発生し、電極部の抵抗値が高くなっ
たり、断線等の原因となり易く、一方アルミニウム薄膜
を採用した場合は、ニッケルに比べると可撓性を有し延
展性に冨み圧電フィルムの伸縮動作により追従可能であ
るが、耐蝕性が小さいため経時変化による表面抵抗の増
大がある。

［問題を解決するための手段］ この発明は高分子圧電フィルムと当該圧電フィルムの表
面に積層した電１！！！層より構成される高分子圧電素
子において、前記型）へ層が前記圧電フィルムに積層さ
れたアルミニウム、スズ若しくは鉛を主成分とする第１
層と、当該第１層に積層されたチタン、ニッケル若しく
は金を主成分とする第２層よりなる高分子圧電素子であ
る。

［作用］ 耐蝕性の良好な第２層を伸びの大ぎい第１層を介して積
層することにより、耐蝕性の良好な第２層のクラックを
防止する。

［実施例］ ポリ弗化ビリニデンフィルム１０両面にそれぞれアルミ
ニウム薄膜を形成して第１Ｆｉ２ａとし、当該第１層２
ａにニッケル薄膜を形成して第２層２ｂとし、前記第１
層２ａ及び第２層２ｂよりなる電極部２を形成した。

［発明の効果］ 以上に説明のこの発明によれば耐蝕性の良好なニッケル
薄膜等を伸びの大きいアルミニウム薄膜層を介して積層
することにより、電（※部の伸縮追従性を増大せしめ耐
蝕性の良好なニッケル薄膜等のクラックが抑制できた。

又、アルミニウムにかえて鉛及びスズを、ニッケルにか
えてチタン又は金でも同様の効果が得られた。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明実施例の圧電変換素子の断面図でおる。 １は高分子圧電フィルム、２ａは第１層、２ｂは第２層
、２は電極部でおる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　高分子圧電フィルム（１）と当該圧電フィルムの表面
   に積層した電極層（２）より構成される高分子圧電素子
   において、前記電極層（２）が前記圧電フィルム（１）
   に積層されたアルミニウム、スズ若しくは鉛を主成分と
   する第１層（２ａ）と、当該第１層（２ａ）に積層され
   たチタン、ニッケル若しくは金を主成分とする第２層（
   ２ｂ）よりなることを特徴とする高分子圧電素子。