JPS63111404A - 基板の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、基板を撮像して得られたデータを処理して前
記基板上の部品実装状態を検査する基板の検査方法に関
する。

（従来の技術） プリント基板に抵抗器や半導体素子等の各種チップ部品
をマウントするときにおいて自動マウント装置を用いた
場合、マウントデータどうりに部品がマウントされてい
ないことがある。

このため、このような自動マウント装置等を用いる場合
には、マウント後にプリント基板をチェックして、この
マウント基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正し
い姿勢（位置、方向）でマウントされているかどうか、
また脱落がないかどうかを検査する必要がある。

しかしこのような検査を従来と同じように人手による目
視検査で行なっていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速麿を高めることができ
ないという問題がある。

そこで、近年、この種の検査を自動的に行なうことがで
きるプリント基板の自動検査装置が各メーカから種々提
案されている。

第１０図は、このような自動検査装置の一例を示づブロ
ック図である。

この図に示す自動検査装置は、部品１が実装された被検
査プリント塁根２−２を撮像するＴＶカメラ３と、キー
ボード８から入力されたデータ、つまり第１１図に示す
ように検査基準となる丼準プリントＭ板２−１の種類等
に関するｆ−タおよびこの基準プリント基板２−１上に
載っている各部品１の種類、配置位置、取付は姿勢、形
状等に関するデータ、およびこれら各部品１の検査処理
手順等に関する情報（データ）を記憶する記憶部４と、
この記憶部４に記憶されている情報と前記ＴＶカメラ３
からの画像によって示される情報とを比較して前記被検
査プリント駐板２−２上に全ての部品１が有るかどうか
、またこれらの部品１が位置ずれ等を起こしていないか
どうかを判定する判定回路５と、この判定回路５０判定
結果を表示したり、プリントアウトしたりするモニタ６
とを備えて構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） ところでこの種の自動検査装置によって検査される部品
１のなかには、基板の地色と似ているものがあり、この
ような部品１については部品部分の信号レベルと、背景
部分の信号レベルとがほぼ同じくなってしまい、この部
品１が脱落していても、また位置ずれ等を起していても
これを検出することができないという問題があった。

そこで、被検査プリント基板２−２のベース基板上に、
第１２図（Ａ＞、（Ｂ）に示す如く紫外線励起蛍光剤入
りのレジスト５０を塗布してレジストＷ１５２を形成し
、これを紫外線光源によって照明したとき、ベース基板
上にマウントされている部品１のシルエツト像が得られ
るようにしたものも既に開発されているが、このような
ものでは、第１３図に示す如くランド５１にレジスト層
５２が形成されていないので、部品１の完全なシルエツ
ト像を得ることができないという問題があった。

本発明は上記の事情に鑑み、部品の完全なシルエツト像
を得ることができ、これによって部品の色と、基板の地
色とが同じ場合や似ている場合でも、全部品について、
これらが脱落していないか、位置ずれ等を起していない
かどうかを検査することができるとともに、部品の極性
や基板マークが正しいかどうかを検査することができる
基板の検査方法を提供することを目的としている。

（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決するするために本発明による基板の検
査方法は、基板を撮像して１ｑられたデータを処理して
前記基板上の部品実装状態を検査する基板の検査方法に
おいて、昼光励起蛍光剤を含むプリフラックスが塗布さ
れた後、部品が実装された基板を可視単色光で照明しな
がら囮像し、この元画結果の蛍光部分と、非蛍光部分と
を区別して、前記基板上の部品実装状態を検査すること
を特徴としている。

（実施例） 第１図は本発明による基板の検査方法の第１実施例を適
用した基板検査装置の一例を示すブロック図である。

この図に示す基板検査装置は、Ｘ−Ｙテーブル部１４と
、照明部１２と、！Ｉυ像部１５と、処理部１６とを備
えており、基準プリン１〜基板１０−１をＲ＠して得ら
れた前記基準プリント基板１０−１上にある各部品１３
ａのパラメータ（判定データ）と、被検査プリント塞板
１０−２を囮像して得られた前記被検査プリント基板１
０−２上にある各部品１３ｂのパラメータ（被検査デー
タ）とを比較して、これらの各部品１３ｂが正しくマウ
ントされているかどうかを検査する。

この場合、前記基準プリント基板１０−１は次に述べる
ようにして作られている。

まず、両面（または片面）に銅箔が張られた生基板にエ
ツチング加工、レジスト加工、穴あけ加工等を施して第
２図（Ａ）に示すような素基板１１を作成する。次いで
、この素基板１１の基板マークエリア５５を除いた面上
に昼光励起蛍光剤（例えば、シンロイヒ株式会社製のＦ
Ｚ−６０１３や、ＦＺ−６０１１など）を含むプリフラ
ックス４５を塗布して蛍光層４６を形成した後、第２図
（Ｂ）に示す如くこの蛍光層４６上の、部品１３ａがマ
ウントされる部分に、昼光励起蛍光剤を含む接着剤４７
、または昼光励起蛍光剤を合むソルダーペースト４８を
塗布する。そして第２図（Ｃ）に示す如く、この上に部
品１３ａをマウントしたちのが基準プリント基板１０−
１となる。

また、前記被検査プリント基板１０−２も前記基準プリ
ント基板１０−１と同様な手順で作られる。

またＸ−Ｙテーブル部１４は、前記各プリント基板１０
−１．１０−２が装着すれ６Ｘ−Ｙテーブル１９と、前
記処理部１６からの制御信号に基づいて前記Ｘ−Ｙテー
ブル１９を駆動する２つのパルスモータ１７．１８とを
備えており、Ｘ−Ｙテーブル１９上にセットされた基準
プリント基板１Ｏ−１（または、被検査プリント基板１
Ｏ−２）は照明部１２によって照明されながら撮像部１
５によって撮像される。

照明部１２は、前記処理部１６からの制御信号に基づい
てオン／オフ制御や調光制御される白色光源７と、この
白色光源７が発した白色光から可視単色光（この可視単
色光は前記昼光励起蛍光剤を励起する波長の光）だけを
選択的に透過させる励起光選択フィルタ９と、この励起
光選択フィルタ９によって選択された可視単色光をＸ−
Ｙテーブル部１４側に反射して各プリント基板１０−１
．１０−２を照明するとともに、これら各プリント基板
１０−１．１０−２からの光を透過させるハーフミラ−
２０とを備えており、このハーフミラ−２０を透過した
光はｌ１ｆｉ像部１５に供給される。

撮像部１５は、前記処理部１６からの制御信号によって
制御されるカラーＴＶカメラ２１を備えており、このカ
ラーＴＶカメラ２１によって前配照明部１２を介して供
給される前記各プリント基板１０−１．１０−２の光学
画像を電気信＠（ＲｌＧ、Ｂカラー信＠）に変換して処
理部１６へ供給する。

この場合、照明部１２によって各プリント基板１０−１
．１０−２を照明すれば、各プリント基板１０−１．１
０−２上の蛍光Ｗ３４６が蛍光（例えば、赤色の光）を
発するので、第３図（Ａ）に示す如くプリント基板１０
−１．１０−２の地色が茶色で、かつこれら各プリント
基板１０−１．１０−２上にマウントされている各部品
１３ａ。

１３ｂの色が茶色や黒色のときでも、第３図（Ｂ）、（
Ｃ）に示す如く泥像部１５から出力されるＲ、Ｇ、Ｂカ
ラー信号のうちＲカラー信号の走査ラインａに対応する
部分に着目すれば、部品１３ａ、１３ｂ部分の信号レベ
ルよりその背景部分の信号レベルの方が高い。

したがってこのＲカラー信号を閾値Ｔ　ｌ−１１で２値
化するだけで、各部品１３ａ、１３ｂ部分と、基板マー
クエリア５５部分（第２図（Ｃ）参照）のシルエツト像
を得ることができる。

またこのシルエツト像を用いて前記撮像部１５の出力か
ら部品１３８．１３ｂ部分のＧ画像（または８画像）と
、基板マークエリア５５部分のＧ画像（またはＢ１１１
ｊ像）とを各々用いて閾値ＴＨ２で２ｆｆｆｉ化すれば
、各部品１３ａ、１３ｂの電極８３を識別して極性を判
別したり、基板マークの値を読んだりすることができる
。

また処理部１６は、Ａ／Ｄ変換部２３と、メ［す２４と
、ティーチングテーブル２５と、画像処理部２６と、判
定部２２と、Ｘ−Ｙステージコントローラ２７と、搬像
コントローラ３８と、ＣＲＴ表示器２８と、プリンタ２
つと、ギーボード３０と、制御部（ＣＰＵ）３１とを備
えており、ディーチングモードのとき、前記躍像部１５
から供給されるＲ、Ｇ、Ｂカラー信号（前記基準プリン
ト基板１０−１のＲＳＧ、Ｂカラー信号）を処理して前
記基準プリント基板１０−１上にある各部品１３ａや基
板マークエリア５５の特徴パラメータを抽出して判定デ
ータファイルを作成し、また検査モードのとき、前記！
Ｉｉ像部１５から供給されるＲ、Ｇ、Ｂカラー信号（前
記被検査プリント基板１０−２のＲ，０１Ｂ力ラー信号
）を処理して前記被検査プリント基根１０−２上にある
各部品１３ｂや基板マークエリア５５の特徴パラメータ
を抽出して被検査データファイルを作成する。

そしで、この被検査データファイルと前記判定データフ
ァイルとを比較して、この比較結果から被検査プリント
基板１０−２の基板マークの値や各部品１３ｂの極性が
正しいかどうか、およびこれらの部品１３ｂが、位置ず
れなしで全てマウントされているかどうかなどを検査す
る。

Ａ／Ｄ変換部２３は前記１心像部１５からＲ，Ｇ、Ｂ信
号を供給されたとぎに、これを△／Ｄ変換（アナログ・
ディジタル変換）シて、これを制御部３１へ供給する。

またメモリ２４は、Ｉ’（ＡＭ　（ランダム・アクセス
・メモリ）等を備えており、前記制御部３１の作業エリ
アとして使われる。

また画像処理部２６は前記υ制御部３１を介してＲ，Ｇ
、Ｂｉｉ！ｉｉ像データを供給されたとき、このＲｌＧ
、８画像データを構成するＲ信号を閾値ＴＨ１で２値化
して各部品１３ａ、１３ｂや基板マーク５５部分のシル
エット画像を作成したり、この画像領域の画像信号（Ｒ
およびＧ（またはＢ））の演算により各部品１３ａ、１
３ｂの極性および基板マークを識別したり覆るように構
成されてＪ３す、ここで１りられた各データは前記制御
部３１や判定部２２へ供給される。

またティーチングテーブル２５は、フロッピーディスク
装置等を備えており、ティーチング時において前記制御
部３１から判定データファイル等を供給されたときに、
これを記憶し、また検査時において、前記制御部３１が
転送要求を出力したとき、この要求に応じて判定データ
ファイル等を読み出して、これを制御部３１や判定部２
２などへ供給する。

また判定部２２は、検査時において前記制御部３１から
判定データファイルを供給され、かつ前記画像処理部２
６から検査データファイルを転送されたとき、これらを
比較判定して、被検査プリント基板１０−２の基板マー
クや部品１３ｂの極性等が正しいかどうか、およびこれ
らの部品１３ｂが位置ずれなしで全てマウントされてい
るかどうかなどを判定するように構成されており、この
判定結果は前記制御部３１へ供給される。

またｉａコントＯ−ラ３８は、前記制御部３１と、前記
照明部１２や撮像部１５とを接続するインターフェース
等を備えており、前記制御部３１の出力に基づいて前記
照明部１２と撮像部１５とを制御する。

またＸ−Ｙステージコントローラ２７は、前記制御部３
１と前記Ｘ−Ｙテーブル部１４とを接続するインターフ
ェース等を備えており、前記制御部３１の出力に基づい
て前記Ｘ−Ｙテーブル部１４を制御する。

またＣＲＴ表示器２８は、ブラｒクン管（ＣＲＴ）を備
えており、前記制御部３１から画像データ、判定結果、
キー人力データ等を供給されたとき、これを画面上に表
示させる。

またプリンタ２９は、前記制御部３１から判定結果等を
供給されたとき、これを予め決められた書式（フォーマ
ット）でプリントアウトする。

またキーボード３０は、操作情報や前記基準プリント基
板１０−１に関するデータ、この基準プリント基板１０
−１上にある部品１３ａに関するデータ等を入力するの
に必要な各種キーを備えており、このキーボード３０か
ら入力された情報やデータ等は制御部３１へ供給される
。

制御部３１は、マイクロプロセツサ等を備えており、次
に述べるように動作する。

まず、新たな被検査プリント基板１０−２を検査するど
きには、制御部３１は、第４図（Ａ）に示す如くメイン
フローチャートのステップＳＴ１で第４図（Ｂ）のティ
ーチングルーチン３２を呼び出し、このルーチン３２の
ステップＳＴ２で装置各部を制御して照明部１２や躍像
部１５をオンさせたり、搬像条件やデータの処理条件を
整えたりした後、ステップＳＴ３でＸ−Ｙテーブル部１
４上に基準プリント基板１０−１がセットされたかどう
かをチェックする。２ そして、Ｘ−Ｙテーブル部１４上に塁準プリント基板１
０−１がセットされれば、制御部３１はステップＳＴ３
からステップＳＴ４へ分岐し、ここでＸ−Ｙテーブル部
１４を制御して％Ｑプリント基板１０−１を位置出しし
た後、撮像部１５に基準プリント基板１０−１を搬像さ
せるとともに、この陽像動作によって得られたＲＳＧ、
Ｂカラー信号をＡ／Ｄ変換部２３でＡ／Ｄ変換させなが
ら、この△／Ｄ変換結果を（Ｒ，Ｇ、８画像データ）を
メモリ２４にリアルタイムで記憶させる。

次いで制御部３１は、ステップＳＴ５で前記メモリ２４
に記憶されているＲ、Ｇ、ｆ３ｉｉＴｉｉ４／ＪＡデー
タを画像処理部２６へ転送させて、この画像処理部２６
に前記Ｒ，Ｇ、［３画像データのＲｊ！ｊ像データを間
ｒｆｉＴ　Ｈ１で２値化させ、各部品１３ａおよび基板
マークエリア５５のシルエット画像を抽出させるととも
に、ステップＳＴ６でこのシルエット画像を用いて前記
Ｒ１Ｇ、Ｂ画像データから各部品１３ａおよび基板マー
クエリア５５の０画像を１山出させる。

次いで制御部３１は、ステップＳＴ７で画像処理部２６
を制御し、前記各部品１３ａおよび基板マークエリア５
５の０画像を各部分（電極など）の領域に分割した後、
各部品の３原色明度を求めて各部品１３ａの電極極性お
よび基準プリント基板１０−１の基板マークを識別させ
る。

この後制御部３１は、ステップＳＴ８で前記シルエット
画像と、前記識別結果とに基づいて、被検査プリント基
板１０−２を検査するのに必要な判定データファイルを
作成し、これをティーチングテーブル２５に記憶させた
後、このティーチングルーチン３２を終了する。

また、このティーチングルーチン３２が終了して、検査
モードにされれば、制御部３１はメインフローチャート
のステップＳＴ９で第４図（Ｃ）のフローチャートで示
される検査ルーチン３４を呼び出し、この検査ルーチン
３４のステップ５Ｔ１０でティーチングテーブル２５や
キーボード３０からその日の日付データや、被検査プリ
ント基板１０−２のＩＤナンバ（ｒＡ別番号）を取り込
むとともに、ティーチングテーブル２５から判定データ
ファイルを読み出して、これを判定部２２に供給する。

この後、制御部３１は、搬像条件やデータの処理条件を
整えた後、ステップＳＴ１１でＸ−Ｙテーブル部１４上
に被検査プリント基板１０−２がセットされたかどうか
をチェックする。

そして、これがセットされれば、制御部３１はステップ
ＳＴ１１からステップＳＴ１２へ分岐し、ここでＸ−Ｙ
テーブル部１４を制御して被検査プリント基板１０−２
を位置出しする。この後、制御部３１は画像部１５に被
検査プリント基板１０＝１を画像させるとともに、この
ｒａｍ動作によって得られたＲ、Ｇ、ｒ３信号をＡ／Ｄ
変換部２３でＡ／Ｄ変換させながら、この△／Ｄ変換結
果（ＲｌＧ、８画像データ）をメモリ２４にリアルタイ
ムで記憶させる。

次いで、制御部３１は、ステップ５Ｔ１３で前記メモリ
２４からＲ，Ｇ、８画像データを読み出し、これを画像
処理部２６に供給してこの画像データのＲｉｉ！ｊ像デ
ータを閾値Ｔｌ−１１で２１直化させ、各部品１３ｂお
よび基板マークエリア５５のシルエット画像を抽出させ
るとともに、ステップ５Ｔ１４でこのシルエット画像を
用いて前記Ｒ，Ｇ、８画像データから各部品１３ｂおよ
び基板マークエリア５５のＧｎｆｆｌを特定さける。

次いで制御部３１は、ステップ５Ｔ１５で画像処理部２
６を制御し、前記０画像のティーチングによる各パラメ
ータを用いて各部品１３ｂの電極極性や、被検査プリン
ト基板１０−２の基板マークを識別させる。

この後制御部３１は、ステップ５Ｔ１６で前記シルエッ
ト画像と、前記識別結果とに基づいて被検査データファ
イルを作成した後、ステップ５Ｔ１７で前記被検査デー
タファイルを判定部２２に転送させて、この被検査デー
タファイルと前記判定データファイルを各々比較させて
、被検査プリント基板１０−２上の部品１３ｂが位置ず
れなしで全てマウントされているかどうか、これら各部
品１３ｂの電極極性や基板マークが正しいかどうかなど
を判定させるとともに、ステップ５Ｔ１８でこの判定結
果をＣＲ７表示器２８やプリンタ２９に供給して、これ
らを表示させたり、プリントアウトさせたりする。

このようにこの実施例においては、部品１３ａ（または
、部品１３ｂ）をマウントする前の未実装基板上に昼光
励起蛍光剤を含むプリフラックス４５を塗布したので、
プリント基板の地色と、各部品１３ａ、１３ｂの色とが
同じ場合でも、これら各部品１３ａ、１３ｂの正確なシ
ルエラｔ−ｅを得ることができるとともに、これににつ
て各部品１３ｂの位置ずれ、脱落等に関する検査精度を
大幅に向上させることができる。

またこの実施例においては、各プリント基板１０−１．
１０−２を可視単色光ににって照Ｉ！ＩＩ　Ｌ、このと
き各プリント基板１０−２の基板マークエリア５５　ｔ
ｊよびこれら各プリント基板１０−１．１０−２上にマ
ウントされている各部品１３ａ。

１３ｂからの反射光を閾ｆｌｕ　Ｔ　ｌ−（２で２餡化
して各プリント基板１０−１．１０−２の基板マークお
よび各部品１３ａ、１３ｂの電極極性等を検知するよう
にしているので、プリント基板の種類を間違ったり、各
プリント基板１０−Ｌ　１０−２上に間違った部品がマ
ウントされていたり、またマウント方向く例えば、電極
の向き〉が間違っていたりした場合に、これを検知する
ことができる。

第５図は本発明による基板の検査方法の第２実施例を適
用した基板検査装置の一例を示ずブロック図である。な
おこの図において、第１図の各部と対応する部分、には
同一な符号が付しである。

この図に示す基板検査装置が第１図に示すものと異なる
点は、照明部１２を介して供給されるプリント基板１０
−１．１０−２からの光を２つに分ける光分配器４４と
、この光分配器４４から出射される一方の光からプリン
ト１１１０−１．１０−２が発する蛍光を抽出する蛍光
選択フィルタ４９ａと、この蛍光選択フィルタ４９ａに
よって選択された蛍光画像を電気信号に変換するモノク
ロＴＶカメラ４２ａと、前記光分配器４４から出射され
る他方の光から照明部１２内にある励起光選択フィルタ
９と同じ波長の光を抽出する反射光透過フィルタ４９ｂ
と、この反射光透過フィルタ４９ｂによって選択された
反射光画像を電気信号に変換するモノクロＴＶカメラ４
２ｂとによって撮像部１５−２を構成し、各モノクロＴ
Ｖカメラ４２ａ、４２ｂによって得られる蛍光画像と、
反射光画像とを処理部１６に供給して処理するようにし
たことである。

勿論この場合においても、これら各プリント基板１０−
１．１０−２上に昼光励起蛍光剤を含むプリフラックス
４５を塗布して蛍光層４６を形成しているので、各プリ
ント基板１０−１．１０−２の地色と、各部品１３ａ、
１３ｂの色とが似ている場合でも、部品１３ａ、１３ｂ
の正確なシルエツト像を得ることができる。

またこの場合、各モノクロＴＶカメラ４２ａ。

４２ｂが、各々、相異なった色の両・像を電気信号に変
換するので、これらモノクロＴＶカメラ４２ａ、４２ｂ
によって得られた各画像間に演綿を施して各画素の色を
判別させることにより、各部品１３ａ、１３ｂの電極極
性や、各プリント基板１０−１．１０−２の基板マーク
等を識別させることができる。

第６図は本発明による基板の検査方法の第３実施例を適
用した基板検査装置の一例を示すブロック図である。な
おこの図において、第１図の各部と対応する部分には同
一な符号が付しである。

この図に示す基板検査装置が第１図に示すのと異なる点
は、モノクロＴＶカメラ６０と、各プリント基板１０−
１．１０−２の光学画像から蛍光画像を抽出する蛍光選
択フィルタ６１ａと、前記各プリント基板１０−１．１
０−２の光学画像から反射光画像を抽出する反射光選択
フィルタ６１ｂと、これら蛍光選択フィルタ６１ａ、反
射光選択フィルタ６１ｂのいずれか一方を前記モノクロ
ＴＶカメラ６０のレンズ前面に配置させる駆動回路５９
とによって撮像部１５−３を構成し、照明部１２を介し
て供給される各プリント基板１〇−１，１０−２の光学
画像から各プリント基板１０−１．１０−２の蛍光画像
と、反射光画像とを順次、抽出して電気信号に変換し、
これらを処理部１６に、順次、供給して処理させるよう
にしたことである。

勿論この場合においても、これら各プリント基板１０−
１．１０−２上には昼光励起蛍光剤を含むプリフラック
ス４５が塗布されているので、各プリント基板１０−１
．１０−２の地色と、各部品１３ａ、１３ｂの色とが似
ている場合にも、各部品１３ａ、１３ｂの正確なシルエ
ラ１へ像を１１７ることができるとともに、このシルエ
ット画像を用いてモノクロＴＶカメラ６０によって得ら
れるカラー画ｌ！Ｅ４（蛍光と同色）と、反射光カラー
画像との間に演算を施して各画素の色を判別させること
により、各部品１３ａ、１３ｂの電極の極性や各プリン
ト基板１０−１．１０−２の基板マーク等を識別させる
ことができる。

第７図は本発明による基板の検査方法の第４実施例を適
用した基板検査装置の一例を示すブロック図である。な
おこの図において、第１図の各部と対応する部分には同
一な符号が付しである。

この図に示す基板検査Ｖｉ置が第１図に示すものと異な
る点は、処理部１６−４内にベルトコントローラ３５を
設けるとともに、このベルトコントローラ３５によって
制御されるベルトコンベア部６４の搬送ベルト６５上に
各プリント基板１０−１．１０−２を載冒して、これら
を搬送しながら撮像部１５−４によって撮像するように
したことである。

この場合、曜像部１５−４は、前記照明部１２を介して
供給されるプリント基板１０−１．１０−２からの光学
画像を２つに分ける光分配器５８と、この光分配器５８
から出射される一方の光学画像から各プリント基板１０
−１．１０−２の蛍光画像を抽出する蛍光選択フィルタ
６６８と、この蛍光選択フィルタ６６ａによって抽出さ
れた蛍光画像を電気信号に変換するライセンサ６７ａと
、前記光分配器５８から出射される他方の光学画像から
前記反射光画像を抽出する反射光選択フィルタ６６ｂと
、この反射光選択フィルタ６６ｂによって抽出された反
射光画像を電気信号に変換するラインセンサ６７ｂとを
備えており、各ラインセンサ６７ａ、６７ｂによって各
プリント基板１０−１．１０−２の画像を連続的に取り
込み、これによって得られた各プリント基板１０−１．
１０−２の蛍光画像と、反射光画像とを処理部１６−４
に供給して処理させる。

勿論この場合においても、これら各プリント基板１０−
１．１０−２上には昼光励起蛍光剤を含むプリフラック
ス４５が塗布されているので、各プリント基板１０−１
．１０−２の地色と、各部品１３ａ、１３ｂの色とが似
ている場合にも、各部品１３ａ、１３ｂの正確なシルエ
ツト像を得ることができるとともに、このシルエット画
像と、ラインセンサＧ７ａ、６７ｂによって得られる蛍
光画像と、反射光画像との間に演算を施して各画素の色
を判別させることにより、各部品１３ａ。

１３ｂの電極の極性や、各プリント基板１０−１．１０
−２の基板マーク等を識別させることができる。

第８図は本発明による基板の検査方法の第５実施例を適
用した基板検査装置の一例を示すブロック図である。な
おこの図において、第１図の各部と対応する部分には同
一な符号が付しである。

この図に示す基板検査装置が第１図に示すものと異なる
点は、可視中色光源（例えば、半導体レーザー素子）と
、この可視単色光源が発する光をビーム光にしてＸ−Ｙ
方向に撮らせる光学系とを備えた可視単色ビーム光源７
０によってＸ−Ｙデープル部１４にセットされたプリン
ト基板１〇−１，１０−２をスポット照明しながら躍像
部１５−５によってこれら各プリント基板１０−１．１
０−２からの光を電気信号に変換り°るようにしたこと
である。

この場合、戯像部１５−５は、前記プリント基板１０−
１．１０−２からの光を２つに分ける光分配器７１と、
この光分配器７１から出射される一方の光から各プリン
ト基板１０−１．１０−２が発する蛍光を抽出する蛍光
選択フィルタ７２ａと、この蛍光選択フィルタ７２ａに
よって選択された蛍光を電気信号に変換するフォトトラ
ンジスタ（または、光電子増倍管またはフォトダイオー
ドなど）７３ａと、前記光分配器７１から出射される他
方の光から前記可視単色ビーム光源７０が出射するビー
ム光の波長と同じ波長の光を抽出する反射光選択フィル
タ７２ｂと、この反射光選択フィルタ７２ｂによって選
択された反射光を電気信号に変換するフォトトランジス
タ（または、光電子増倍管またはフォトダイオードなど
）７３ｂとを備えており、各フォトトランジスタ７３ａ
。

７３ｂににつてプリント基板１０−１．１０−２からの
光を電気信号に変換し、これによって１ｑられた各プリ
ント基板１０−１．１０−２の蛍光画像を示す画素信号
と、反（ト）画像を示す画素信号とを処理部１６に供給
して処理させる。

勿論この場合におていも、これら各プリント基板１０−
１．１０−２上には昼光励起蛍光剤を含むプリフラック
ス４５が塗布されているので、プリント基板の地色と、
各部品１３ａ、１３ｂの色とが似ている場合にも、各部
品１３ａ、１３ｂの正確なシルエツト像を得ることがで
きるととらに、このシルエツト像と、各フォトトランジ
スタ７３ａ、７３ｂによって得られる蛍光画像の画素信
号と、反射光画像の画素信号との間に演算を施して各画
素の色を判別させることにより、各部品１３ａ、１３１
）の電極極性や、各プリント基板１０−１．１０−２の
基板マーク等を識別させることができる。

第９図は本発明による基板の検査方法の第６の実施例を
適用した基板検査装置の一例を示すブロック図である。

なおこの図において、第１図の各部と対応する部分には
同一な符号が付しである。

この図に示す基板検査装置が第１図に示すものと異なる
点は、可視単色ビーム光源８５からＸ−Ｙ方向にスキャ
ンする可視単色ビーム光を出射させてＸ−Ｙテーブル部
１４にセットされたプリン１−　Ｌｔ板１０−１．１０
−２をスポット照明しながら１１１１部１５−６によっ
て、これら各プリント基板１０−１．１０−２からの光
を電気信号に変換するようにしたことである。

この場合、比像部１５−６は、フォトトランジスタ（ま
たは、光電子増倍管なと）８０と、各プリン１〜基板１
０−１．１０−２からの光から蛍光を抽出する蛍光選択
フィルタ８１ａと、前記各プリント基板１０−１．１０
−２からの光から反射光を抽出する反射光選択フィルタ
８１ｂと、これら蛍光選択フィルタ８１ａ、反射光選択
フィルタ８１ｂのいずれか一方を前記フォトトランジス
タ８０のレンズ前面に配置させる駆動回路８２とを備え
ており、蛍光選択フィルタ８１ａと反射光選択フィルタ
８１ｂとを順次用いて各プリント基板１０−１，１０−
２からの光をフォトトランジスタ８０で電気信号に変換
し、これによって得られた各プリント基板１０−１．１
０−２の蛍光画像を示す画素信号と、反射画像を示す画
素信号とを処理部１６に供給して処理させる。

勿論この場合においても、これら各プリント基板１０−
１．１０−２上には昼光励起蛍光剤を含むプリフラック
ス４５が塗布されているので、プリント基板の地色と、
各部品１３ａ、１３ｂの色とが似ている場合にも、各部
品１３ａ、１３ｂの正確なシルエツト像を得ることがで
きるとともに、このシルエツト像と、フォトトランジス
タ８０によって得られる蛍光画像の画素信号と、反射光
画像の画素信号との間に演算を施して各画素の色を判別
さけることにより、各部品１３ａ、１３ｂの電極の極性
や、各プリント基板１０−１．１０−２の基板マーク等
を識別させることができる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、部品の完全なシル
エット画像を得ることができ、これににって部品の色と
、基板の地色とが同じ場合や似ている場合でも、全部品
について、これらが脱落していないか、位置ずれ等を起
こしていないかどうかを検査することができるとともに
、部品の極性や基板マークが正しいかどうかをも検査す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示すブロック図、第２図
（Ａ）〜（Ｃ）は各々この第１実施例にＪ３けるプリン
ト基板の作成工程を示す斜視図、第３図（Δ）はこの第
１実施例における部品の一例を示す平面図、第３図（Ｂ
）、（Ｃ）は各々第３図（Ａ）のラインａにおける搬像
信号例を示す波形図、第４図（Ａ）〜（Ｃ）は各々この
第１実施例の動作例を示すフローチャート、第５図は本
発明の第２実施例を示すブロック図、第６図は本発明の
第３実施例を示すブロック図、第７図は本発明の第４実
施例を示すブロック図、第８図は本発明の第５実施例を
示すブロック図、第９図は本発明の第６実施例を示すブ
ロック図、第１０図は従来の自動検査菰買の一例を示す
ブロック図、第１１図はこの装置で用いられる基準プリ
ント基板の−例を示す正面図、第１２図（Ａ）、（ｒ３
）は各々従来の自動検査装置の他の例を説明するための
プリント基板作成工程図、第１３図は第１２図（Ｂ）の
部分拡大平面図である。 １０−１・・・基準プリント基板、１，０−２・・・被
検査プリント基板、１２・・・照明部、１４・・・Ｘ−
Ｙテーブル部、１５・・・撮像部、１６・・・処理部、
４６・・・蛍光層。 代理人　弁理士　岩０百二（他１名） 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基板を撮像して得られたデータを処理して前記基板上
   の部品実装状態を検査する基板の検査方法において、昼
   光励起蛍光剤を含むプリフラックスが塗布された後、部
   品が実装された基板を可視単色光で照明しながら撮像し
   、この撮像結果の蛍光部分と、非蛍光部分とを区別して
   、前記基板上の部品実装状態を検査することを特徴とす
   る基板の検査方法。