JPS6422035U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6422035U JPS6422035U JP1987117715U JP11771587U JPS6422035U JP S6422035 U JPS6422035 U JP S6422035U JP 1987117715 U JP1987117715 U JP 1987117715U JP 11771587 U JP11771587 U JP 11771587U JP S6422035 U JPS6422035 U JP S6422035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- opening
- wafers
- stopper means
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案のウエハキヤリアの一実施例の
斜視図、第２図ａは同平面図、第２図ｂ及びｃは
ストツパー手段を示す部分図、第３図は本考案の
他の実施例を示す図、第４図は従来例を示す図で
ある。 １……ウエハキヤリア、２，２′……内壁、３
……開口部、４……ストツパー（ストツパー手段
）、４ａ……穴（ストツパー手段）、４ｂ……棒
状体（ストツパー手段）、５，５′……側板、７
，７′……溝、１０，１０′……蓋（ストツパー
手段）、１１，１１′……バネ（ストツパー手段
）、４０……ウエハ。
斜視図、第２図ａは同平面図、第２図ｂ及びｃは
ストツパー手段を示す部分図、第３図は本考案の
他の実施例を示す図、第４図は従来例を示す図で
ある。 １……ウエハキヤリア、２，２′……内壁、３
……開口部、４……ストツパー（ストツパー手段
）、４ａ……穴（ストツパー手段）、４ｂ……棒
状体（ストツパー手段）、５，５′……側板、７
，７′……溝、１０，１０′……蓋（ストツパー
手段）、１１，１１′……バネ（ストツパー手段
）、４０……ウエハ。
Claims (1)
- 複数枚のウエハを所定の間隔で夫々平行に載置
するように側板の内壁に溝を有し、かつウエハの
出入のための開口部を有してなるウエハキヤリア
において、前記開口部に前記ウエハの落下を防ぐ
ためのストツパー手段を設けたことを特徴とする
ウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987117715U JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987117715U JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6422035U true JPS6422035U (ja) | 1989-02-03 |
Family
ID=31361414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987117715U Pending JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6422035U (ja) |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP1987117715U patent/JPS6422035U/ja active Pending
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