JPS6312241B2 - - Google Patents
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- JPS6312241B2 JPS6312241B2 JP10945480A JP10945480A JPS6312241B2 JP S6312241 B2 JPS6312241 B2 JP S6312241B2 JP 10945480 A JP10945480 A JP 10945480A JP 10945480 A JP10945480 A JP 10945480A JP S6312241 B2 JPS6312241 B2 JP S6312241B2
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- Japan
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- slit
- image
- light
- detector
- mask
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は長手方向に同一断面形状を有する物体
例えばホース、ケーブルなどの線条体の形状及び
断面凹凸などの欠陥を検査する装置に関するもの
である。
例えばホース、ケーブルなどの線条体の形状及び
断面凹凸などの欠陥を検査する装置に関するもの
である。
従来線条体の形状検査方法には、線条体の長手
方向に対し、直角に幅の狭い照明を行い、欠陥部
の乱反射光成分をだ円鏡を用いて検出する方法や
線条体表面に糸やダイスを接触させ、その変位を
検出することにより欠陥を検査する方法（特開昭
53−33064）などがある。
方向に対し、直角に幅の狭い照明を行い、欠陥部
の乱反射光成分をだ円鏡を用いて検出する方法や
線条体表面に糸やダイスを接触させ、その変位を
検出することにより欠陥を検査する方法（特開昭
53−33064）などがある。
乱反射光を検出する方法においては、ゆるやか
な凹凸の乱反射光成分の変化が小さいため検出が
困難である。また線条体表面にその表面より高い
乱反射率を有する印刷マーク等がある場合、印刷
マークを欠陥と誤検出してしまう欠点がある。
な凹凸の乱反射光成分の変化が小さいため検出が
困難である。また線条体表面にその表面より高い
乱反射率を有する印刷マーク等がある場合、印刷
マークを欠陥と誤検出してしまう欠点がある。
一方、糸やダイズを接触させる方法において
は、接触により表面にキズをつける可能性が大き
く、また線条体の移動速度が高速になると、追従
が困難である。
は、接触により表面にキズをつける可能性が大き
く、また線条体の移動速度が高速になると、追従
が困難である。
更に、以上の２つの方法においては、線条体の
断面形状そのものを検査するのではなく、そこか
らの乱反射光を検出したり、糸やダイスの引張力
を検出したりするものであり、そのため正確な形
状検査が実現できないという欠点がある。
断面形状そのものを検査するのではなく、そこか
らの乱反射光を検出したり、糸やダイスの引張力
を検出したりするものであり、そのため正確な形
状検査が実現できないという欠点がある。
一方、光切断法というのがあり、この方法の従
来技術には、軌道自動検測への応用（特開昭51−
143358）があり、この場合軌道検測車を走らせな
がらレールの状態を自動計測している。
来技術には、軌道自動検測への応用（特開昭51−
143358）があり、この場合軌道検測車を走らせな
がらレールの状態を自動計測している。
これは光切断像を２次元撮像素子で検出、処理
する事により、一定時間間隔で、対象物を検査す
るものである。
する事により、一定時間間隔で、対象物を検査す
るものである。
しかし、線条体の種類によつては、線条体の断
面形状の変化と共に、表面の微小な凹凸をも検査
する必要があり、そのためには、一定時間間隔の
サンプリングによる検査は使用できない。
面形状の変化と共に、表面の微小な凹凸をも検査
する必要があり、そのためには、一定時間間隔の
サンプリングによる検査は使用できない。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を解
決し、線条体の形状及び欠陥を、高速、高精度に
検査できる装置を提供することにある。
決し、線条体の形状及び欠陥を、高速、高精度に
検査できる装置を提供することにある。
本発明の要点は、線条体の断面形状及び欠陥を
検出するため、線条体の中心軸に垂直な平面内に
周囲より、一様強度、同一幅のスリツト状の光を
投光し、その像を斜め方向または線条体中心軸と
平行な方向より検出する光切断法を採用した点に
ある。
検出するため、線条体の中心軸に垂直な平面内に
周囲より、一様強度、同一幅のスリツト状の光を
投光し、その像を斜め方向または線条体中心軸と
平行な方向より検出する光切断法を採用した点に
ある。
また、本発明においては高速で異常形状部の有
無を検査するため、上記光切断法において線条体
表面に投光されたスリツト像を検出する光切断検
出器の実像面上に、良品の光切断像の焼込まれた
光学的マスクを設置し、これから漏れる光を集
光、その光量を光電的に検出する方式を採用した
ものである。
無を検査するため、上記光切断法において線条体
表面に投光されたスリツト像を検出する光切断検
出器の実像面上に、良品の光切断像の焼込まれた
光学的マスクを設置し、これから漏れる光を集
光、その光量を光電的に検出する方式を採用した
ものである。
さらに、本発明においては検査中に生じる線条
体の位置ずれが上記異常形状部の検出精度に及ぼ
す影響を除去するため、線条体の位置ずれを検出
し、これにもとづいて光学的マスクを自動追従さ
せようにしたものである。
体の位置ずれが上記異常形状部の検出精度に及ぼ
す影響を除去するため、線条体の位置ずれを検出
し、これにもとづいて光学的マスクを自動追従さ
せようにしたものである。
次に添付図面により本発明の実施例を説明す
る。第１図は本発明の一実施例における線条体の
形状及び欠陥検査装置の検出器の配置構成を示す
正面図、第２図はその側面図、第３図は全体構成
図である。本実施例はスリツト投光器として第１
図のように、被測定線条体１の送り方向（紙面に
垂直）に垂直な同一平面（XY平面）上に均一幅
のスリツト状光を周囲から一様に投光するための
３個のスリツト投光器２，２′，２″と線条体に投
光されたスリツト光を第２図のように斜め横から
検出する３個の光切断検出器３，３′，３″及び線
条体のＸ及びＹ方向の位置ずれを検出するため、
スリツト像検出位置の直前に置かれた変位検出器
４，４′、及び前記検出器４，４′の検出値を基に
光切断検出器実像面上に設置された光学マスク８
の位置にフイードバツクするための制御回路５、
及び光切断検出器３，３′，３″からの検出信号を
判定評価するための判定回路６からなる。光切断
検出器３，３′，３″はいずれも同一構成で、一例
として第３図の符号３に示すように結像レンズ
７、光切断実像面上の光学マスク８、該マスク８
を実像面上で移動させるための送りモーク９，
９′と送り機構１０、光学マスク８を透過した光
を集光するための集光レンズ１１及び光電変換器
１２からなる。
る。第１図は本発明の一実施例における線条体の
形状及び欠陥検査装置の検出器の配置構成を示す
正面図、第２図はその側面図、第３図は全体構成
図である。本実施例はスリツト投光器として第１
図のように、被測定線条体１の送り方向（紙面に
垂直）に垂直な同一平面（XY平面）上に均一幅
のスリツト状光を周囲から一様に投光するための
３個のスリツト投光器２，２′，２″と線条体に投
光されたスリツト光を第２図のように斜め横から
検出する３個の光切断検出器３，３′，３″及び線
条体のＸ及びＹ方向の位置ずれを検出するため、
スリツト像検出位置の直前に置かれた変位検出器
４，４′、及び前記検出器４，４′の検出値を基に
光切断検出器実像面上に設置された光学マスク８
の位置にフイードバツクするための制御回路５、
及び光切断検出器３，３′，３″からの検出信号を
判定評価するための判定回路６からなる。光切断
検出器３，３′，３″はいずれも同一構成で、一例
として第３図の符号３に示すように結像レンズ
７、光切断実像面上の光学マスク８、該マスク８
を実像面上で移動させるための送りモーク９，
９′と送り機構１０、光学マスク８を透過した光
を集光するための集光レンズ１１及び光電変換器
１２からなる。
なお、実施例の第１図、第２図において各部の
保持機構は省略した。また線条体１もその前後で
例えばガイドプーリにより保持されているが図面
からは省略した。
保持機構は省略した。また線条体１もその前後で
例えばガイドプーリにより保持されているが図面
からは省略した。
以下本実施例の動作を説明する。線条体１が例
えば円形断面を持つ場合検出器３，３′，３″の実
像、即ち光切断像は滑らかな円弧状となる。
えば円形断面を持つ場合検出器３，３′，３″の実
像、即ち光切断像は滑らかな円弧状となる。
この状態を第４図ａに例示する。一方、例えば
表面に凸状欠陥が存在すれば第４図ｂに例示する
ように一部に突起を有する円弧状の光切断像１４
となる。光切断検出器３の実像面上にはマスク８
が設置されているが、そのマスクのパターン形状
を第４図ｃに例示する。ここで斜線部に示すマス
クのパターン１５は不透明部、その他は透明部で
ある。従つて、今、線条体１が、Ｘ、Ｙ方向に正
しく位置決めされていれば、第４図ａのような正
常表面の部分では、光切断像１３は不透明なマス
クのパターン１５の上に重なり、マスクから光は
透過しない。この状態を第４図ｄに示す。一方第
４図ｂの突起を有する場合、同図ｅに示すよう
に、突起部の光切断像がマスクのパターン１５か
らはみ出し、マスクから光が漏れる。
表面に凸状欠陥が存在すれば第４図ｂに例示する
ように一部に突起を有する円弧状の光切断像１４
となる。光切断検出器３の実像面上にはマスク８
が設置されているが、そのマスクのパターン形状
を第４図ｃに例示する。ここで斜線部に示すマス
クのパターン１５は不透明部、その他は透明部で
ある。従つて、今、線条体１が、Ｘ、Ｙ方向に正
しく位置決めされていれば、第４図ａのような正
常表面の部分では、光切断像１３は不透明なマス
クのパターン１５の上に重なり、マスクから光は
透過しない。この状態を第４図ｄに示す。一方第
４図ｂの突起を有する場合、同図ｅに示すよう
に、突起部の光切断像がマスクのパターン１５か
らはみ出し、マスクから光が漏れる。
これを光電変換器１２で検出する。即ち、形状
変化を光切断像の許容形状からのはみ出し光量と
して検出し、これを電気信号に変換する。
変化を光切断像の許容形状からのはみ出し光量と
して検出し、これを電気信号に変換する。
マスク８が実像面上で固定されていると線条体
１がＸ、Ｙ方向にずれた場合、第５図に例示する
ように正常部の検出においても光切断像がマスク
のパターン１５からはみ出し、第４図ｅと誤検出
する危険性がある。このように線条体の位置ずれ
による誤検出を防ぐため、変位検出器４，４′の
出力を制御回路５を介して、マスクの位置にフイ
ードバツクする。
１がＸ、Ｙ方向にずれた場合、第５図に例示する
ように正常部の検出においても光切断像がマスク
のパターン１５からはみ出し、第４図ｅと誤検出
する危険性がある。このように線条体の位置ずれ
による誤検出を防ぐため、変位検出器４，４′の
出力を制御回路５を介して、マスクの位置にフイ
ードバツクする。
第６図は前記制御回路５の一例として、変位検
出器４，４′の出力信号を入力とし、これに基づ
いて光切断検出器３の送りモータ９，９′に移動
量を出力するためのブロツク構成を示すものであ
る。本回路は基準位置設定回路１７，１７′加算
器１８，１８増幅器１９，１９′，１９″，１９
、加算器２０，２０′モータ駆動回路２１，２
１′で構成される１つの光切断検出器用制御回路
１６からなる。
出器４，４′の出力信号を入力とし、これに基づ
いて光切断検出器３の送りモータ９，９′に移動
量を出力するためのブロツク構成を示すものであ
る。本回路は基準位置設定回路１７，１７′加算
器１８，１８増幅器１９，１９′，１９″，１９
、加算器２０，２０′モータ駆動回路２１，２
１′で構成される１つの光切断検出器用制御回路
１６からなる。
前記制御回路１６を各検出器用に合計３個配置
して上記制御回路５が構成される。変位検出器４
は差動トランスであり、送りモータ９はステツプ
モータである。尚、前者、空気マイクロメータ、
電気容量式変位検出器、光触針式検出器等いかな
る変位計であつても良い。また後者はDCモータ
とロータリーエンコーダの組合せ、DCモータと
ポテンシヨメータの組合せ、リニヤーモータなど
であつても良い。変位検出器４の出力、すなわち
各瞬間におけるＸ方向の線条体の座標Ｘとあらか
じめ設定した基準位置X0との差を加算器１８で
とり、基準位置からのずれ△Ｘを求める。
して上記制御回路５が構成される。変位検出器４
は差動トランスであり、送りモータ９はステツプ
モータである。尚、前者、空気マイクロメータ、
電気容量式変位検出器、光触針式検出器等いかな
る変位計であつても良い。また後者はDCモータ
とロータリーエンコーダの組合せ、DCモータと
ポテンシヨメータの組合せ、リニヤーモータなど
であつても良い。変位検出器４の出力、すなわち
各瞬間におけるＸ方向の線条体の座標Ｘとあらか
じめ設定した基準位置X0との差を加算器１８で
とり、基準位置からのずれ△Ｘを求める。
同様に加算器１８′から△Ｙを求める。増幅器
１９〜１９加算器２０，２０′により、 △Ｘ＝△Xksinθ＋△Ykcosθ △Ｙ＝−△Xkcosθ＋△Yksinθ なる座標変換を受ける。ここでθは変位検出器の
Ｘ、Ｙ座標とマスク送り機構の移動軸Ｘ，Ｙとの
なす角であり、３つの検出ヘツドにより異なる定
数である。またｋは検出器の倍率補正係数であ
る。△Ｘ、△Ｙはこのような移動軸Ｘ，Ｙ方向の
成分△Ｘ、△Ｙに変換され、モータ駆動回路２
１，２１′を介して、マスクが△Ｘ、△Ｙだけ移
動するようモータ９，９′により駆動される。
１９〜１９加算器２０，２０′により、 △Ｘ＝△Xksinθ＋△Ykcosθ △Ｙ＝−△Xkcosθ＋△Yksinθ なる座標変換を受ける。ここでθは変位検出器の
Ｘ、Ｙ座標とマスク送り機構の移動軸Ｘ，Ｙとの
なす角であり、３つの検出ヘツドにより異なる定
数である。またｋは検出器の倍率補正係数であ
る。△Ｘ、△Ｙはこのような移動軸Ｘ，Ｙ方向の
成分△Ｘ、△Ｙに変換され、モータ駆動回路２
１，２１′を介して、マスクが△Ｘ、△Ｙだけ移
動するようモータ９，９′により駆動される。
このようにして、検査中の線条体の位置ずれや
振動はマスクの位置にフイードバツクされ、位置
のずれた分だけマスクを移動させるため、マスク
のパターンは常に線条体正常部からの光切断像を
隠す事ができる。
振動はマスクの位置にフイードバツクされ、位置
のずれた分だけマスクを移動させるため、マスク
のパターンは常に線条体正常部からの光切断像を
隠す事ができる。
第７図は判定回路６の一例を示す。この判定回
路６は閾値設定回路２２、比較回路２３、ワンシ
ヨツト２４、カウンタ２５で構成され、光電変換
器１２の出力は、閾値設定回路２２の設定値と比
較回路２３で比較され、設定値以上の信号が検出
された時カウンタ２５を増加させる事により、１
つの線条体中の欠陥数を知る事ができる。
路６は閾値設定回路２２、比較回路２３、ワンシ
ヨツト２４、カウンタ２５で構成され、光電変換
器１２の出力は、閾値設定回路２２の設定値と比
較回路２３で比較され、設定値以上の信号が検出
された時カウンタ２５を増加させる事により、１
つの線条体中の欠陥数を知る事ができる。
また、第８図は本発明の一実施例における光切
断検出器３のより詳細な構成を示している。同図
はこれまで説明した７，８，９，１０，１１，１
２の他シヤツタ２６、マスク保持板２７、押えバ
ネ２８、位置決めピン２９で構成されている。マ
スク８は位置決めピン２９と押えバネ２８によ
り、マスク保持板２７に再現性良く位置決めされ
る。まずシヤツタ２６を閉じた状態で未感光のフ
イルムないし乾板をマスク位置にセツトし、線条
体もセツトする。この状態でシヤツタ２６を一定
時間開き露出し、このフイルムないし乾板を現像
し、光切断像のネガパターンを得る。
断検出器３のより詳細な構成を示している。同図
はこれまで説明した７，８，９，１０，１１，１
２の他シヤツタ２６、マスク保持板２７、押えバ
ネ２８、位置決めピン２９で構成されている。マ
スク８は位置決めピン２９と押えバネ２８によ
り、マスク保持板２７に再現性良く位置決めされ
る。まずシヤツタ２６を閉じた状態で未感光のフ
イルムないし乾板をマスク位置にセツトし、線条
体もセツトする。この状態でシヤツタ２６を一定
時間開き露出し、このフイルムないし乾板を現像
し、光切断像のネガパターンを得る。
これを再度マスク位置にセツトし、マスク８と
して使用する。
して使用する。
第９図は本発明を、表面に印刷マークが施され
ているゴムホース検査に適用した他の実施例の全
体構成を示す説明図である。
ているゴムホース検査に適用した他の実施例の全
体構成を示す説明図である。
第９図の構成を符号から簡単に説明すると、検
査すべきゴムホース３１、位置決め用ガイドプー
リ３２、照明ランプ３３、スリツト３４、照明用
レンズ３５、結像レンズ３６、マスク３７、集光
レンズ３８、ハーフミラー３９、光電変換器４
０、判定回路４１、差動ドランス４２、制御回路
４３マスク制御部４４からなる。
査すべきゴムホース３１、位置決め用ガイドプー
リ３２、照明ランプ３３、スリツト３４、照明用
レンズ３５、結像レンズ３６、マスク３７、集光
レンズ３８、ハーフミラー３９、光電変換器４
０、判定回路４１、差動ドランス４２、制御回路
４３マスク制御部４４からなる。
すなわち、本実施例は、スリツト投光部３３，
３４，３５、光切断像検出部３６，３７，３８判
定回路４１、差動トランス（位置ずれ検出器）４
２と制御回路４３、マスク制御部４４からなる。
３４，３５、光切断像検出部３６，３７，３８判
定回路４１、差動トランス（位置ずれ検出器）４
２と制御回路４３、マスク制御部４４からなる。
以下本実施例の動作を述べる。
検査すべきゴムホース３１はゴムホース断面と
同じ曲率の溝を有するガイドプーリ３２に保持さ
れており、検査位置におけるゴムホース中心軸に
対し、直角な方向からランプ３３よりスリツト３
４及び照明用レンズ３５を通して一定幅のスリツ
ト光を投光し、これを斜め横方向から検出し、結
像レンズ３６を通して光切断像実像面において良
品サンプルより作成したマスク３７と重ね合わせ
による光学的比較判定を行い、マスク後方にもれ
た光を集光レンズ３８及びハーフミラー３９を通
して光電変換器４０で検出し得られた信号を判定
回路４１で判定する。
同じ曲率の溝を有するガイドプーリ３２に保持さ
れており、検査位置におけるゴムホース中心軸に
対し、直角な方向からランプ３３よりスリツト３
４及び照明用レンズ３５を通して一定幅のスリツ
ト光を投光し、これを斜め横方向から検出し、結
像レンズ３６を通して光切断像実像面において良
品サンプルより作成したマスク３７と重ね合わせ
による光学的比較判定を行い、マスク後方にもれ
た光を集光レンズ３８及びハーフミラー３９を通
して光電変換器４０で検出し得られた信号を判定
回路４１で判定する。
第１０図に判定回路４１のブロツク図を示す。
判定回路４１において検出した信号のノイズ成分
周波数をフイルター回路４５で除去し、増幅器４
６で増幅された後に比較回路４７で基準値設定回
路４８で得られたレベルと比較することにより欠
陥が判定されたとき、ワンシヨツト４９および検
出表示カウンタ５０を動作させる。検査すべきゴ
ムホースの位置変動は差動トランス４２で測定し
ており、得られた測定値は、制御回路４３に入り
制御部４４を駆動させマスク位置が常に光切断像
の中心になるよう制御されている。
判定回路４１において検出した信号のノイズ成分
周波数をフイルター回路４５で除去し、増幅器４
６で増幅された後に比較回路４７で基準値設定回
路４８で得られたレベルと比較することにより欠
陥が判定されたとき、ワンシヨツト４９および検
出表示カウンタ５０を動作させる。検査すべきゴ
ムホースの位置変動は差動トランス４２で測定し
ており、得られた測定値は、制御回路４３に入り
制御部４４を駆動させマスク位置が常に光切断像
の中心になるよう制御されている。
第１１図と第１２図に、制御部と制御回路の詳
細を示した。モータ５１に減速ギア５２を接続さ
せ、出力軸とポテンシヨメータ５４の回転軸をカ
ツプリング５３で連結し、もう１方のポテンシヨ
メータ回転軸には回転用ボルト５５が固定されて
おり、一方移動用ナツト５６は、マスク５７に固
定されているためモータの駆動によりマスク移動
ステージ５８上をマスク５７が移動する。
細を示した。モータ５１に減速ギア５２を接続さ
せ、出力軸とポテンシヨメータ５４の回転軸をカ
ツプリング５３で連結し、もう１方のポテンシヨ
メータ回転軸には回転用ボルト５５が固定されて
おり、一方移動用ナツト５６は、マスク５７に固
定されているためモータの駆動によりマスク移動
ステージ５８上をマスク５７が移動する。
本実施例のマスク制御においてはDCモータと
ポテンシヨメータの組み合わせによる位置制御を
行つているため第１２図に示すように検査すべき
ゴムホースの位置ずれを加算器６１で検出し、サ
ーボアンプ６３でDCモータ５１を駆動させ、モ
ータ回転軸に接続したポテンシヨンメータ回転角
６４を、負のフイードバツク量として加算器６２
に入力するのでモータは位置ずれに比例して回転
し位置ずれを打ち消すまで駆動したところで、制
御を終了する。
ポテンシヨメータの組み合わせによる位置制御を
行つているため第１２図に示すように検査すべき
ゴムホースの位置ずれを加算器６１で検出し、サ
ーボアンプ６３でDCモータ５１を駆動させ、モ
ータ回転軸に接続したポテンシヨンメータ回転角
６４を、負のフイードバツク量として加算器６２
に入力するのでモータは位置ずれに比例して回転
し位置ずれを打ち消すまで駆動したところで、制
御を終了する。
実際のゴムホースの位置ずれ量と、マスク制御
量の比率は、加算器６２のゲインを調整すること
により、検出器の検出倍率と同じにすることがで
き、又、サーボアンプのゲイン調整で最適な応答
性が実現できる。
量の比率は、加算器６２のゲインを調整すること
により、検出器の検出倍率と同じにすることがで
き、又、サーボアンプのゲイン調整で最適な応答
性が実現できる。
尚、５９はゴムホース位置検出値、６０は基準
位置設定値を示す。
位置設定値を示す。
ゴムホース検査に適用した実施例では、検出器
が１個の場合について述べたが、複数個の検出器
を適用しても良い。
が１個の場合について述べたが、複数個の検出器
を適用しても良い。
また検査すべきゴムホースの位置変動を差動ト
ランスを用いて測定したが電気マイクロ、エアー
マイクロ又は光学的測定方法を用いて測定しても
良い。
ランスを用いて測定したが電気マイクロ、エアー
マイクロ又は光学的測定方法を用いて測定しても
良い。
この実施例では、ゴムホースの中心軸に対し、
直角方向から照明したが斜め横方向から照明を行
つても差し障えない。
直角方向から照明したが斜め横方向から照明を行
つても差し障えない。
更に、一定幅のスリツト光で照明を行つたが幅
の広い照明で、照明の明瞭な明暗境界部を一定幅
スリツト光に代えて用いても検出は可能である。
の広い照明で、照明の明瞭な明暗境界部を一定幅
スリツト光に代えて用いても検出は可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明は光切
断法を利用して線条体の形状を捉え、その形状変
化を良品の場合と比較して検査しているため、従
来の方法では検出困難であつたゆるやかな凹凸、
表面に印刷マークがある場合などの形状欠陥や高
速で移動する線条体の検査に極めて有効である。
又、検査すべき線条体の位置変動を検出して、マ
スク位置を自動追従させることにより、誤検出の
防止と、検出精度の向上を実現することができ、
高速、高精度を要求される生産工程に適した検査
装置を得ることができる。
断法を利用して線条体の形状を捉え、その形状変
化を良品の場合と比較して検査しているため、従
来の方法では検出困難であつたゆるやかな凹凸、
表面に印刷マークがある場合などの形状欠陥や高
速で移動する線条体の検査に極めて有効である。
又、検査すべき線条体の位置変動を検出して、マ
スク位置を自動追従させることにより、誤検出の
防止と、検出精度の向上を実現することができ、
高速、高精度を要求される生産工程に適した検査
装置を得ることができる。
更に本発明は、形状の良否判定の基準となるマ
スクがフイルムネガあるいは乾板等により容易に
作成、着脱できるので、各種の形状検査に適用可
能であり、極めて応用範囲が広く経済的な装置を
得ることができる。
スクがフイルムネガあるいは乾板等により容易に
作成、着脱できるので、各種の形状検査に適用可
能であり、極めて応用範囲が広く経済的な装置を
得ることができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す線条体形状
及び欠陥検査装置の正面図、第２図は、その側面
図、第３図は、全体構成図、第４図は、光切断検
出器における比較判定の原理を示した図であり、
第５図は、その場合の誤検出を示した図、第６図
は、マスク位置の制御回路を示したブロツク図、
第７図は、処理回路図、第８図は、光切断検出器
の詳細図、第９図は、本発明をゴムホース検査に
適用した他の実施例説明図、第１０図は、その処
理回路を示すブロツク図、第１１図は、マスク制
御の詳細説明図、第１２図は、制御回路のブロツ
ク図を示すものである。 １：線条体、２，２′，２″、：スリツト投光器、
３，３′，３″：光切断検出器、４，４′：変位検
出器。
及び欠陥検査装置の正面図、第２図は、その側面
図、第３図は、全体構成図、第４図は、光切断検
出器における比較判定の原理を示した図であり、
第５図は、その場合の誤検出を示した図、第６図
は、マスク位置の制御回路を示したブロツク図、
第７図は、処理回路図、第８図は、光切断検出器
の詳細図、第９図は、本発明をゴムホース検査に
適用した他の実施例説明図、第１０図は、その処
理回路を示すブロツク図、第１１図は、マスク制
御の詳細説明図、第１２図は、制御回路のブロツ
ク図を示すものである。 １：線条体、２，２′，２″、：スリツト投光器、
３，３′，３″：光切断検出器、４，４′：変位検
出器。
Claims (1)
- １ スリツト光投光器と、該スリツト光投光器か
ら被検査物体である線条体に投光されたスリツト
光の像を検出すると共に検出されたスリツト光の
像（光切断像）を光電変換して電気信号を得る光
電変換器を有してなる光切断検出器と、前記電気
信号に基いて線条体の断面形状の変化及び欠陥を
検出する判定回路とからなる線条体の形状及び欠
陥検査装置であつて、前記光切断検出器は、線条
体の光切断像面上に配置されて線条体の正常部に
対応する光切断像を遮光しかつその前記正常部か
ら外れた部に対応する光切断像を透過する光学マ
スクと、線条体の移動方向と垂直な平面内におけ
る線条体の位置ずれを上記スリツト光の投光位置
の直前において検出する変位検出器と、該変位検
出器の出力を前記光学マスクの位置移動機構にフ
イードバツクすることにより前記光切断像面上に
配置された光学マスクを前記線条体の位置ずれに
追従して移動できるようにする制御回路とを有
し、更に、前記光切断検出器は、線条体の正常部
の光切断像を焼込んだネガフイルム又は写真乾板
又はこれらにより作成された光学マスクを着脱可
能に固定する位置決め機構と、上記スリツト光の
光路上に配置された（スリツト光に対する）シヤ
ツタ機構とを有してなることを特徴とする線条体
の形状及び欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10945480A JPS5734403A (en) | 1980-08-09 | 1980-08-09 | Inspecting device for shape and defect of linear object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10945480A JPS5734403A (en) | 1980-08-09 | 1980-08-09 | Inspecting device for shape and defect of linear object |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5734403A JPS5734403A (en) | 1982-02-24 |
| JPS6312241B2 true JPS6312241B2 (ja) | 1988-03-18 |
Family
ID=14510639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10945480A Granted JPS5734403A (en) | 1980-08-09 | 1980-08-09 | Inspecting device for shape and defect of linear object |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5734403A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010169404A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 突起付長尺体測定方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518416Y2 (ja) * | 1984-12-26 | 1993-05-17 | ||
| JPS62249005A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Bridgestone Corp | 物体の形状異常検査装置 |
| EP0304477A1 (en) * | 1987-03-09 | 1989-03-01 | Battelle Memorial Institute | Optical inspection system for cylindrical objects |
| CN105445285A (zh) * | 2014-09-26 | 2016-03-30 | 宝山钢铁股份有限公司 | 用于无张力约束下线材视觉检测装置及方法 |
| CN104297439B (zh) * | 2014-10-21 | 2019-09-13 | 南京农业大学 | 一种基于计算机视觉的双黄鸭蛋自动识别检测方法 |
-
1980
- 1980-08-09 JP JP10945480A patent/JPS5734403A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010169404A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 突起付長尺体測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5734403A (en) | 1982-02-24 |
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