JPS63128683A - 電歪効果素子の製造方法 - Google Patents
電歪効果素子の製造方法Info
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- JPS63128683A JPS63128683A JP61275905A JP27590586A JPS63128683A JP S63128683 A JPS63128683 A JP S63128683A JP 61275905 A JP61275905 A JP 61275905A JP 27590586 A JP27590586 A JP 27590586A JP S63128683 A JPS63128683 A JP S63128683A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、最上層と最下層が電歪材で形成され、最上層
と最下層の間に電歪材と導電材が交互に６１層された積
層体を含み、該積層体の対向する一方の両側面からは全
ての導電材の端面が露出し、他方の両側面からは一層お
きに導電材の端面が露出し、露出していない端面には絶
縁体が被着形成されている電歪効果素子の製造方法に関
する。
と最下層の間に電歪材と導電材が交互に６１層された積
層体を含み、該積層体の対向する一方の両側面からは全
ての導電材の端面が露出し、他方の両側面からは一層お
きに導電材の端面が露出し、露出していない端面には絶
縁体が被着形成されている電歪効果素子の製造方法に関
する。
従来、この種の電工効果素子は、表面に全ての導電材の
端部が露出している一方の側面の導電材の端面に一層お
きに電気泳動法によりガラス粉末を被着焼成し、次に、
前記ガラス粉末を被着形成した側面と対向する側面に露
出している導電材の端面のうち前記ガラス粉末が被着形
成されていない導電材の端面に電気泳動法によりガラス
粉末を被着焼成して製造されていた。
端部が露出している一方の側面の導電材の端面に一層お
きに電気泳動法によりガラス粉末を被着焼成し、次に、
前記ガラス粉末を被着形成した側面と対向する側面に露
出している導電材の端面のうち前記ガラス粉末が被着形
成されていない導電材の端面に電気泳動法によりガラス
粉末を被着焼成して製造されていた。
（発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の電歪効果素子の製造方法は、ガラス粉末
を付けたくない導電材の層にガラス粉末を電着させたい
導電材の層と反対の電圧を印加するので、隣接する導電
材の層間に強い電界が加わり、ガラス粉末が不均一に電
着するという欠点があり、また、この反対の電圧を印加
しない場合には、ガラス粉末を付けたくない隣接する導
電材の層にまで、ガラス粉末が電着するという欠点があ
り、さらに、ガラス粉末の焼成工程で溶融を進めた場合
、ガラス中に気泡が発生しやすい状態となり、このため
、焼成の熱履歴を２回受ける最初に被着焼成する側面の
ガラス中には気泡の発生割合が高くなり、′１北気的特
性および強度が劣化するという欠点がある。
を付けたくない導電材の層にガラス粉末を電着させたい
導電材の層と反対の電圧を印加するので、隣接する導電
材の層間に強い電界が加わり、ガラス粉末が不均一に電
着するという欠点があり、また、この反対の電圧を印加
しない場合には、ガラス粉末を付けたくない隣接する導
電材の層にまで、ガラス粉末が電着するという欠点があ
り、さらに、ガラス粉末の焼成工程で溶融を進めた場合
、ガラス中に気泡が発生しやすい状態となり、このため
、焼成の熱履歴を２回受ける最初に被着焼成する側面の
ガラス中には気泡の発生割合が高くなり、′１北気的特
性および強度が劣化するという欠点がある。
本発明の電歪効果″に７−の製造方法は、全ての導電材
の端部が露出している１前記積層体の一方の側面の導電
材の端部に一層おきにマスキングを施す工程と、 ０「記マスキングが施された側面と対向する他方の側面
に露出している導電材のうちマスキングが施されていな
い導電材の端面にマスキングを施す工程と、 前記両マスキングが施された積層体の両側面内のマスキ
ングが施されていない導電材の端部に絶縁体を両面に同
時に被着し、焼成する工程と、前記マスキングを全て除
去する工程を含む。
の端部が露出している１前記積層体の一方の側面の導電
材の端部に一層おきにマスキングを施す工程と、 ０「記マスキングが施された側面と対向する他方の側面
に露出している導電材のうちマスキングが施されていな
い導電材の端面にマスキングを施す工程と、 前記両マスキングが施された積層体の両側面内のマスキ
ングが施されていない導電材の端部に絶縁体を両面に同
時に被着し、焼成する工程と、前記マスキングを全て除
去する工程を含む。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図から第１θ図は本発明の電歪効果素ｆの製造方法
の一実施例の工程図で、第１図は４１層体の構成を示す
分解斜視図、第２図は第１図の積層体を熱圧着し、焼成
した焼結体＋１０の斜視図、第３図は外部取出し用電極
２が形成された焼結体１１ＯＡの斜視図、第４図は絶縁
性樹脂３が形成された焼結体１１０への斜視図、第５図
は両側面に絶縁性樹脂３が形成された焼結体１１０Ｂの
斜視図、第６図は焼結体１１０８の側面図、第７図はガ
ラス層４が形成された焼結体１１０Ｂの斜視図、第８図
は第７図の焼結体１１０８の側面図、第９図は外部電極
５が形成された焼結体＋２０の斜視図、第１０図は電歪
効果素子１３０の斜視図である。
の一実施例の工程図で、第１図は４１層体の構成を示す
分解斜視図、第２図は第１図の積層体を熱圧着し、焼成
した焼結体＋１０の斜視図、第３図は外部取出し用電極
２が形成された焼結体１１ＯＡの斜視図、第４図は絶縁
性樹脂３が形成された焼結体１１０への斜視図、第５図
は両側面に絶縁性樹脂３が形成された焼結体１１０Ｂの
斜視図、第６図は焼結体１１０８の側面図、第７図はガ
ラス層４が形成された焼結体１１０Ｂの斜視図、第８図
は第７図の焼結体１１０８の側面図、第９図は外部電極
５が形成された焼結体＋２０の斜視図、第１０図は電歪
効果素子１３０の斜視図である。
まず、方形状に切断された圧電体シートＩＯＱの一方の
表面に、一方の端部を帯状に残して導電性ペーストを印
刷しこれを内部電極１とした圧電シート１００＾を形成
する（第１図）。次に、内部型ＶｉＡ１が形成されてい
ない圧電シート＋００の下に内部電極＋００八を前記帯
状部分が交互に左右に位置するように積層して積層体を
形成し、この積層体を圧力Ｚ９Ｑｋｇ／ｃｒｎ’、温度
１１０℃、時間７０分の条件で熱圧着した後、最高保持
温度１１２０℃、保持時間２時間の条件で焼成して焼結
体＋１０をつくる（第２図）。次に、内部電極１の端面
が一層おきに露出している焼結体１１０の左右の側面に
外部取出し用電極２を印刷し、最高保持温度７００℃、
保持時間１５分の条件で焼成して焼結体１１〇八をつく
る（第３図）。次に、この焼結体１１０八を治具にセッ
トし、焼結体＋１０＾全体をスターラーなどの攪拌機で
攪拌状態を保持しているＥＤＲ−２（エポキシ系樹脂）
などの電着性がある絶縁性樹脂の水溶液中に浸清し、全
ての内部電極が露出している焼結体１１０＾の側面のう
ち絶縁性樹脂３を電着させたい側の側面に対応する外部
取出し用電極２を負として直流電圧１００Ｖを３分間印
加して内部電極１に一層おきに絶縁性樹脂３を電着する
（第４図）。この状態の焼結体＋１０＾を純水で洗浄し
、裏面に付着した樹脂を完全に拭取った後、温度１８０
℃、時間３０分の条件で、電着した絶縁性樹脂３を硬化
させる。次に、絶縁性樹脂３が形成された側面と対向す
る側面に露出している内部電極１のうち、絶縁性樹脂３
が電着されなかった内部′ｒｒｊ、７４ ｌの端面に前
述したのと同様にして絶縁性樹脂３を電着し、硬化させ
両側面マスキングを施した焼結体１１０Ｂをつくる（第
５図、第６図）。次に、この焼結体１１０Ｂを治具にセ
ットし、スターラー攪拌機などで攪拌状態を保持してい
るガラス粉末のエタノール溶液中に浸悄し、内外部取出
し用電極２に負側を接続し直流電圧１０Ｖ／ｃｉ、時間
１分の条件で電気泳動法によりマスキングが施されてい
ない内部電極１の端面にガラス粉末を電着した後、最高
保持温度６２０℃、保持時間１０分の条件でガラス粉末
を焼成してガラス層４を形成し、マスキング材である絶
縁性樹脂３を燃焼させて除去する（第７図、第８図）。
表面に、一方の端部を帯状に残して導電性ペーストを印
刷しこれを内部電極１とした圧電シート１００＾を形成
する（第１図）。次に、内部型ＶｉＡ１が形成されてい
ない圧電シート＋００の下に内部電極＋００八を前記帯
状部分が交互に左右に位置するように積層して積層体を
形成し、この積層体を圧力Ｚ９Ｑｋｇ／ｃｒｎ’、温度
１１０℃、時間７０分の条件で熱圧着した後、最高保持
温度１１２０℃、保持時間２時間の条件で焼成して焼結
体＋１０をつくる（第２図）。次に、内部電極１の端面
が一層おきに露出している焼結体１１０の左右の側面に
外部取出し用電極２を印刷し、最高保持温度７００℃、
保持時間１５分の条件で焼成して焼結体１１〇八をつく
る（第３図）。次に、この焼結体１１０八を治具にセッ
トし、焼結体＋１０＾全体をスターラーなどの攪拌機で
攪拌状態を保持しているＥＤＲ−２（エポキシ系樹脂）
などの電着性がある絶縁性樹脂の水溶液中に浸清し、全
ての内部電極が露出している焼結体１１０＾の側面のう
ち絶縁性樹脂３を電着させたい側の側面に対応する外部
取出し用電極２を負として直流電圧１００Ｖを３分間印
加して内部電極１に一層おきに絶縁性樹脂３を電着する
（第４図）。この状態の焼結体＋１０＾を純水で洗浄し
、裏面に付着した樹脂を完全に拭取った後、温度１８０
℃、時間３０分の条件で、電着した絶縁性樹脂３を硬化
させる。次に、絶縁性樹脂３が形成された側面と対向す
る側面に露出している内部電極１のうち、絶縁性樹脂３
が電着されなかった内部′ｒｒｊ、７４ ｌの端面に前
述したのと同様にして絶縁性樹脂３を電着し、硬化させ
両側面マスキングを施した焼結体１１０Ｂをつくる（第
５図、第６図）。次に、この焼結体１１０Ｂを治具にセ
ットし、スターラー攪拌機などで攪拌状態を保持してい
るガラス粉末のエタノール溶液中に浸悄し、内外部取出
し用電極２に負側を接続し直流電圧１０Ｖ／ｃｉ、時間
１分の条件で電気泳動法によりマスキングが施されてい
ない内部電極１の端面にガラス粉末を電着した後、最高
保持温度６２０℃、保持時間１０分の条件でガラス粉末
を焼成してガラス層４を形成し、マスキング材である絶
縁性樹脂３を燃焼させて除去する（第７図、第８図）。
次に、ガラス層４が被着形成された焼結体１１０Ｂの対
向する両側面に対称に、内部電Ｖｉｔと直交する外部電
極５のパターンを導電性ペーストで印刷し、最高保持温
度５９０℃、保持時間１０分の条件で焼成して焼結体１
２０をつくる（第９図）。この焼結体＋２０を矢印ａ方
向に、かつ外部電極５が側面中央に位置するように切断
分離して電歪効果素７−１３Ｏｒ、得る（第１Ｏ図）。
向する両側面に対称に、内部電Ｖｉｔと直交する外部電
極５のパターンを導電性ペーストで印刷し、最高保持温
度５９０℃、保持時間１０分の条件で焼成して焼結体１
２０をつくる（第９図）。この焼結体＋２０を矢印ａ方
向に、かつ外部電極５が側面中央に位置するように切断
分離して電歪効果素７−１３Ｏｒ、得る（第１Ｏ図）。
前述の実施例ではマスキングのために電着性のある絶縁
性樹脂を用いたが、感光性のある樹脂を用いてもよい。
性樹脂を用いたが、感光性のある樹脂を用いてもよい。
この場合のマスキング工程は、次のようになる。外部取
出し用電極２が形成された焼結体＋１ＯＡの全ての内部
電ＶｉＡ１の端面が露出している対向している両側面の
一方に対して全面にフォトニスなどの感光性のある絶縁
性樹脂を印刷した後、内部電極１の一層おきに絶縁性樹
脂３を形成するパターンで光を照射して露光し、現像し
た後、 １８０℃で３０分、および３００℃で３０分、
さらに４００℃で３０分熱処理して内部電極１の一層お
きに絶縁性樹脂３を形成する。次に、他方の側面に露出
した内部電Ｖｉ１のうち絶縁性樹脂３が形成されていな
い内部電極１の端面について同様にして絶縁性樹脂３を
形成する。以降の工程は前述の実施例と同様であり、第
１０図に示す電歪効果素子１３０が得られる。
出し用電極２が形成された焼結体＋１ＯＡの全ての内部
電ＶｉＡ１の端面が露出している対向している両側面の
一方に対して全面にフォトニスなどの感光性のある絶縁
性樹脂を印刷した後、内部電極１の一層おきに絶縁性樹
脂３を形成するパターンで光を照射して露光し、現像し
た後、 １８０℃で３０分、および３００℃で３０分、
さらに４００℃で３０分熱処理して内部電極１の一層お
きに絶縁性樹脂３を形成する。次に、他方の側面に露出
した内部電Ｖｉ１のうち絶縁性樹脂３が形成されていな
い内部電極１の端面について同様にして絶縁性樹脂３を
形成する。以降の工程は前述の実施例と同様であり、第
１０図に示す電歪効果素子１３０が得られる。
以ト説明したように本発明は、マスキング工程を加える
ことにより、すべての内部電極が表面に露出した面の内
部電極の一層おきに電気泳動法でガラス粉末を電着させ
る場合に隣接する電極にガラス粉末が付着することなく
均一にガラス粉末を電着させることができ、また、ガラ
ス粉末を付けたくない電極に反対電荷を印加する必要が
なく、ガラス粉末の電着・焼成も両面同時にできるので
、工程の簡略化が図られ、さらに、ガラス粉末の焼成が
１回だけなので、ガラス中の気泡の発生がなくなり、電
気絶縁性および強度が向上する効果がある。
ことにより、すべての内部電極が表面に露出した面の内
部電極の一層おきに電気泳動法でガラス粉末を電着させ
る場合に隣接する電極にガラス粉末が付着することなく
均一にガラス粉末を電着させることができ、また、ガラ
ス粉末を付けたくない電極に反対電荷を印加する必要が
なく、ガラス粉末の電着・焼成も両面同時にできるので
、工程の簡略化が図られ、さらに、ガラス粉末の焼成が
１回だけなので、ガラス中の気泡の発生がなくなり、電
気絶縁性および強度が向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の電歪効果素子の製造方法の一実施例の
積層体構成を示す分解斜視図、第２図は第１図の積層体
を熱加圧し焼成した焼結体＋１０の斜視図、第３図は外
部取出し用Ｍ、極２が形成された焼結体１１０＾の斜視
図、第４図は絶縁性樹脂３が形成された焼結体＋１０＾
の斜視図、第５図は両側面に絶縁性樹脂３が形成された
焼結体１１０Ｂの斜視図、第６図は焼結体Ｉ Ｉｏｎの
側面図、第７図はガラス絶縁層４が形成された状態の焼
結体１１０８の斜視図、第８図は第７図の焼結体１１０
Ｂの側面図、第９図は外部電極５が形成された焼結体＋
２０の斜視図、第１θ図は電歪効果素子１３０の斜視図
である。 １・・・内部電極、 ２・・・外部取出し用電極
、３・・・絶縁性樹脂、 ４・・・ガラス層、５・・
・外部電極、 １００−・・圧電シート、１００＾
・・・内部電極１を形成した圧電シート、１１０、１１
０＾、 １１０１１．１２０−・・焼結体、＋３０−・
・電歪効果素子。 １１０娩紹体 第８図 第１０図
積層体構成を示す分解斜視図、第２図は第１図の積層体
を熱加圧し焼成した焼結体＋１０の斜視図、第３図は外
部取出し用Ｍ、極２が形成された焼結体１１０＾の斜視
図、第４図は絶縁性樹脂３が形成された焼結体＋１０＾
の斜視図、第５図は両側面に絶縁性樹脂３が形成された
焼結体１１０Ｂの斜視図、第６図は焼結体Ｉ Ｉｏｎの
側面図、第７図はガラス絶縁層４が形成された状態の焼
結体１１０８の斜視図、第８図は第７図の焼結体１１０
Ｂの側面図、第９図は外部電極５が形成された焼結体＋
２０の斜視図、第１θ図は電歪効果素子１３０の斜視図
である。 １・・・内部電極、 ２・・・外部取出し用電極
、３・・・絶縁性樹脂、 ４・・・ガラス層、５・・
・外部電極、 １００−・・圧電シート、１００＾
・・・内部電極１を形成した圧電シート、１１０、１１
０＾、 １１０１１．１２０−・・焼結体、＋３０−・
・電歪効果素子。 １１０娩紹体 第８図 第１０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、最上層と最下層が電歪材で形成され、最上層と最下
層の間に電歪材と導電材が交互に積層された積層体を含
み、該積層体の対向する一方の両側面からは全ての導電
材の端面が露出し、他方の両側面からは一層おきに導電
材の端面が露出し、露出していない端面には絶縁体が被
着形成されている電歪効果素子の製造方法において、 全ての導電材の端面が露出している前記積層体の一方の
側面の導電材の端面に一層おきにマスキングを施す工程
と、 前記マスキングが施された側面と対向する他方の側面に
露出している導電材のうちマスキングが施されていない
導電材の端面にマスキングを施す工程と、 前記両マスキングが施された積層体の両側面内のマスキ
ングが施されていない導電材の端面に絶縁体を両面に同
時に被着し、焼成する工程と、 前記マスキングを全て除去する工程を含むことを特徴と
する電歪効果素子の製造方法。 ２、前記マスキングを電着性物質で施す特許請求範囲第
１項記載の電歪効果素子の製造方法。 ３、前記マスキングを感光性物質で施す特許請求範囲第
１項記載の電歪効果素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275905A JPS63128683A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275905A JPS63128683A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128683A true JPS63128683A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17562066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61275905A Pending JPS63128683A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128683A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8132304B2 (en) * | 2005-10-26 | 2012-03-13 | Continental Automotive Gmbh | Method of manufacturing a piezoelectric actuator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6178181A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-21 | Nec Corp | 電歪効果素子の製造方法 |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP61275905A patent/JPS63128683A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6178181A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-21 | Nec Corp | 電歪効果素子の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8132304B2 (en) * | 2005-10-26 | 2012-03-13 | Continental Automotive Gmbh | Method of manufacturing a piezoelectric actuator |
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