JPS63131124U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63131124U JPS63131124U JP2254287U JP2254287U JPS63131124U JP S63131124 U JPS63131124 U JP S63131124U JP 2254287 U JP2254287 U JP 2254287U JP 2254287 U JP2254287 U JP 2254287U JP S63131124 U JPS63131124 U JP S63131124U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction gas
- combustion
- gas conduit
- vertical semiconductor
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- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案に係る燃焼ノズル機構の組
込まれた井戸型の内部燃焼式縦型半導体酸化拡散
装置の概略縦断面図、第２図および第３図は、イ
ンジエクタリングの平面図、正面図、第４図は、
公知の燃焼ノズル機構の組込まれた井戸型の内部
燃焼式縦型半導体酸化拡散装置の概略縦断面図で
ある。 １０：内部燃焼式縦型半導体酸化拡散装置、１
２：炉体カバー、１４：反応管、１８：反応ガス
導入部、１９：燃焼ノズル機構、２０，２１：反
応ガス用導管、２２，２３：インジエクタリング
、２６，２７：燃焼ノズル、２８：火炎、３０：
バツフアー、３２：ウエーハボート、３３：ウエ
ーハ（半導体基板）。
込まれた井戸型の内部燃焼式縦型半導体酸化拡散
装置の概略縦断面図、第２図および第３図は、イ
ンジエクタリングの平面図、正面図、第４図は、
公知の燃焼ノズル機構の組込まれた井戸型の内部
燃焼式縦型半導体酸化拡散装置の概略縦断面図で
ある。 １０：内部燃焼式縦型半導体酸化拡散装置、１
２：炉体カバー、１４：反応管、１８：反応ガス
導入部、１９：燃焼ノズル機構、２０，２１：反
応ガス用導管、２２，２３：インジエクタリング
、２６，２７：燃焼ノズル、２８：火炎、３０：
バツフアー、３２：ウエーハボート、３３：ウエ
ーハ（半導体基板）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応管の一端部に設けられた反応ガス導入
部から、反応ガスの流れる導管を反応管の他端部
方向にのばし、火炎を水平方向に噴射するように
配設された燃焼ノズルを反応ガス用導管の端部に
具備する内部燃焼式縦型半導体酸化拡散装置の燃
焼ノズル構造。 (2) インジエクタリングが反応ガス用導管の端
部に連結され、複数の燃焼ノズルがインジエクタ
リングに設けられている実用新案登録請求の範囲
第１項記載の内部燃焼式縦型半導体酸化拡散装置
の燃焼ノズル機構。 (3) インジエクタリングは、反応ガス用導管と
別体に形成され、反応ガス用導管に着脱可能に連
結されている実用新案登録請求の範囲第２項記載
の内部燃焼式縦型半導体酸化拡散装置の燃焼ノズ
ル機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254287U JPS63131124U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254287U JPS63131124U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131124U true JPS63131124U (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30820026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2254287U Pending JPS63131124U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131124U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252809A (ja) * | 1987-09-01 | 1989-10-09 | Tel Sagami Ltd | 縦型酸化装置 |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP2254287U patent/JPS63131124U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252809A (ja) * | 1987-09-01 | 1989-10-09 | Tel Sagami Ltd | 縦型酸化装置 |
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