JPS63140618U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63140618U JPS63140618U JP3252287U JP3252287U JPS63140618U JP S63140618 U JPS63140618 U JP S63140618U JP 3252287 U JP3252287 U JP 3252287U JP 3252287 U JP3252287 U JP 3252287U JP S63140618 U JPS63140618 U JP S63140618U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- gas
- vapor phase
- epitaxial growth
- phase epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 2
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- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案による気相エピタキシヤル成長
装置の構成概要図、第２図は従来の気相エピタキ
シヤル成長装置の構成概要図である。 １……ボンベ、２……Ｈ２精製装置、３……ガ
ス供給パネル、４……ボンベ、５Ａ，５Ｂ，５Ｃ
……マス・フロー・コントローラー（ＭＦＣ）、
６……バブラー、７……成長室、８……反応管、
９……サセプタ、１０……基板、１１……排気部
、１２……廃ガス処理装置、１３Ａ，１３Ｂ……
フアン、１４……フイルター、１５……ブリード
ライン、１６……ボンベ、１７……配管、１８Ａ
，１８Ｂ……バルブ、１９……シヤフト、２０…
…逆止弁。
装置の構成概要図、第２図は従来の気相エピタキ
シヤル成長装置の構成概要図である。 １……ボンベ、２……Ｈ２精製装置、３……ガ
ス供給パネル、４……ボンベ、５Ａ，５Ｂ，５Ｃ
……マス・フロー・コントローラー（ＭＦＣ）、
６……バブラー、７……成長室、８……反応管、
９……サセプタ、１０……基板、１１……排気部
、１２……廃ガス処理装置、１３Ａ，１３Ｂ……
フアン、１４……フイルター、１５……ブリード
ライン、１６……ボンベ、１７……配管、１８Ａ
，１８Ｂ……バルブ、１９……シヤフト、２０…
…逆止弁。
Claims (1)
- 族原料に有機金属ガス、Ｖ族原料にＶ族の水
素化物を用いて、半導体基板上に、―Ｖ族化合
物半導体結晶を気相エピタキシヤル成長させる装
置において、キヤリアガスとして用いるＨ２ガス
を、前記結晶成長を行なつた後乾式廃ガス処理装
置を通過させ、更にＨ２精製装置に送つて再使用
することを特徴とする気相エピタキシヤル成長装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3252287U JPS63140618U (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3252287U JPS63140618U (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140618U true JPS63140618U (ja) | 1988-09-16 |
Family
ID=30839275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3252287U Pending JPS63140618U (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63140618U (ja) |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP3252287U patent/JPS63140618U/ja active Pending
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