JPH03116029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03116029U JPH03116029U JP2605290U JP2605290U JPH03116029U JP H03116029 U JPH03116029 U JP H03116029U JP 2605290 U JP2605290 U JP 2605290U JP 2605290 U JP2605290 U JP 2605290U JP H03116029 U JPH03116029 U JP H03116029U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- crystals
- vapor phase
- crystal growth
- growth apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例による気相結晶成
長装置の反応管を示す断面図、第２図は従来の気
相結晶成長装置の反応管を示す断面図である。 図において、１……原料ガス入口、２……反応
管、３……サセプタ、４……基板、５……ＲＦコ
イル、６……排気ガス出口、７……残留ガス排気
口、８……排気バルブを示す。なお、図中、同一
符号は同一、又は相当部分を示す。
長装置の反応管を示す断面図、第２図は従来の気
相結晶成長装置の反応管を示す断面図である。 図において、１……原料ガス入口、２……反応
管、３……サセプタ、４……基板、５……ＲＦコ
イル、６……排気ガス出口、７……残留ガス排気
口、８……排気バルブを示す。なお、図中、同一
符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 複数種類の気体を反応さ、結晶として折出させ
るための反応管において、原料ガス入口と、結晶
を折出させるべき基板との間に、反応管内のガス
を除去するための排気口を設けたことを特徴とす
る気相結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2605290U JPH03116029U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2605290U JPH03116029U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116029U true JPH03116029U (ja) | 1991-12-02 |
Family
ID=31528963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2605290U Pending JPH03116029U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03116029U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007312742A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Masahiko Sato | 鳥類、小動物等の止り防止具 |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2605290U patent/JPH03116029U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007312742A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Masahiko Sato | 鳥類、小動物等の止り防止具 |