JPS6150760U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6150760U JPS6150760U JP13414784U JP13414784U JPS6150760U JP S6150760 U JPS6150760 U JP S6150760U JP 13414784 U JP13414784 U JP 13414784U JP 13414784 U JP13414784 U JP 13414784U JP S6150760 U JPS6150760 U JP S6150760U
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- JP
- Japan
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- vapor phase
- phase growth
- support
- exhaust section
- buffer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である気相成長装置
を示す概略的構成図、第２図は本考案の第１の他
の実施例を示す概略的構成図、第３図は同じく第
２の他の実施例を示す概略的構成図、第４図は従
来例を示す概略的構成図である。 Ａ……反応室、１７……サセプタ（支持体）、
１６……ウエハ（被処理体）、１３……排気管（
排気部）、１８……バツフアー。
を示す概略的構成図、第２図は本考案の第１の他
の実施例を示す概略的構成図、第３図は同じく第
２の他の実施例を示す概略的構成図、第４図は従
来例を示す概略的構成図である。 Ａ……反応室、１７……サセプタ（支持体）、
１６……ウエハ（被処理体）、１３……排気管（
排気部）、１８……バツフアー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応室内に支持体によつて支持される被処
理体を設け、前記反応室内に反応ガスを供給して
前記被処理体に気相成長させたのち、反応ガスを
排気部から排出させるものにおいて、前記支持体
の排気部側に、前記支持体の表面上を通過して前
記排気部に向かう反応ガスの流れを整流するバツ
フアーを設けたことを特徴とする気相成長装置。 (2) バツフアーは石英、窒化硅素、炭化硅素あ
るいはシリコンにより構成されたことを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の気相成長
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13414784U JPS6150760U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13414784U JPS6150760U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150760U true JPS6150760U (ja) | 1986-04-05 |
Family
ID=30692667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13414784U Pending JPS6150760U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150760U (ja) |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP13414784U patent/JPS6150760U/ja active Pending
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