JPS63142823U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63142823U JPS63142823U JP1987035785U JP3578587U JPS63142823U JP S63142823 U JPS63142823 U JP S63142823U JP 1987035785 U JP1987035785 U JP 1987035785U JP 3578587 U JP3578587 U JP 3578587U JP S63142823 U JPS63142823 U JP S63142823U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- view port
- heating means
- rotation means
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図１，２は実施例の機構を説明する断面図
と側断面図、第２図は従来のビユーポートを説明
するＭＢＥ装置の概略を示す断面図である。 図において、１は成長室、２，３はシユラウド
、４は排気口に設けられたゲートバルブ、５は基
板ホルダ、６は被成長基板、７，８は分子線源、
９，１０は分子線源用シヤツタ、１１はビユーポ
ート、１２はビユーポート用シヤツタ、１３，１
４は遮蔽板、１５は支持板、１６はマニピユレー
タ、１７は加熱ヒータである。
と側断面図、第２図は従来のビユーポートを説明
するＭＢＥ装置の概略を示す断面図である。 図において、１は成長室、２，３はシユラウド
、４は排気口に設けられたゲートバルブ、５は基
板ホルダ、６は被成長基板、７，８は分子線源、
９，１０は分子線源用シヤツタ、１１はビユーポ
ート、１２はビユーポート用シヤツタ、１３，１
４は遮蔽板、１５は支持板、１６はマニピユレー
タ、１７は加熱ヒータである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 遮蔽板と、該遮蔽板を支持して、かつ該遮蔽板
に垂直な軸の回りに回転する回転手段と、該遮蔽
板を加熱する加熱手段とを有し、 該回転手段により、該遮蔽板がビユーポートを
覆う位置と、該加熱手段により加熱ができる位置
に来るようになつていることを特徴とするビユー
ポートのくもり防止機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035785U JPS63142823U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035785U JPS63142823U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142823U true JPS63142823U (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=30845590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987035785U Pending JPS63142823U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63142823U (ja) |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP1987035785U patent/JPS63142823U/ja active Pending
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