JPS6314328A - 垂直磁気記録媒体等の連続製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、スパッタリング、蒸着、ノオンプレーティン
グ等を利用する金属薄膜型垂直磁気記録媒体等の薄膜の
連続製造装置に関するものであり、より詳しくは長尺の
可撓性基板を連続的に移動させ、その表面に垂直磁気記
録媒体等の薄膜を連続的に形成させる装置に関するもの
である。

（従来技術とその問題点） 従来の針状酸化鉄粉末をバインダー樹脂中に分散させた
磁気記録層を有する、いわゆる長手記録方式の磁気記録
媒体に代り、高密度の磁気記録を目ざす垂直磁気記録方
式が注目され、同媒体の大量生産用の製造装置が各種提
案されている。これら装置の中で特に注目されるのは、
真空室中に於て、長尺の基板をキャンの上を移動させな
がら、その表面上にスパッタリング、蒸着、イオンブレ
ーティングなどの方法を用いて垂直・磁性薄膜を形成さ
せる装置である。第２図に典型的なこの種の装置の主要
部を示す。長尺フィルム基板１は２個のガイドロール５
，５に導かれてキャン２上を移動し、蒸発源３からの蒸
発物質は防着板４の中央開口部４０を通って該フィルム
基板１上に磁性薄膜を形成するようになっている。しか
しながら、中に真空容器内壁１０から離脱するゴミ８や
拡散で廻り込む蒸発原子９等が直接キャン２に付着して
その表面に凹凸を作り、この凹凸がその上を走るフィル
ム基板１の表面に凹凸を生ずる原因となり、この基板表
面の凹凸が、磁性薄膜媒体に信号を記録、再生するとき
、ヘットとの接融不良の原因となって、再生出力にドロ
ップアウトを生じたり、ヘッド走行中にキズを作って媒
体の寿命を短かくしたりするなどの問題を生じていた。

（発明の目的） 本発明は、垂直磁気記録媒体等の薄膜を連続製造する装
置において、上述の欠点を除去し、表面に凹凸などの突
出のない平滑な薄膜を連続して製造することのできる装
置を提供することを目的とする。

（発明の構成） 本発明は、補助フィルムをキャンの周囲表面に、その表
面の大部分を覆うようにして移動させるとともに、フィ
ルム基板を前記補助フィルム上に重ねて移動させながら
、このフィルム基板上に薄膜を堆積させる構成の装［α
によって、前記目的を達成したもので／）乙。

（実施例） 以下、図に基いて、本発明の詳細な説明する。

本発明の実施例の連続蒸着装置の概略図を第１図に示す
。第２図と同機能の部材には同符号を用いて示している
。この装置では、補助フィルム１１が新設され、新設の
補助フィルムガイドロール５’　、５’等を用いて、キ
ャン２上を移動させるように導かれている。フィルム基
板１は、基板用ガイトロール５，５により前記したキャ
ン２上の補助フィルム１１の上に導かれ、これら両フィ
ルムはキャン２の表面と同じ速度で移動している。

補助フィルム１１をキャン２上に導く２個の補助フィル
ム用ガイトロール５’、５’　は第１図に図示のように
互いに近接配置して、補助フィルム１１がキャン２の表
面のなるべく大部分を覆うようにし、ゴミや拡散で廻り
込んだ蒸発原子等がキャンの表面上に入り込むことがな
いように配慮することが望ましい。また、補助フィルム
１１としてはポリエステル、ポリイミド等の材料が用い
られ、その表面荒さとしては、一般に、フィルム基板に
対する側で平均荒さ３００Å以下、キャンに対する側で
はすべり性を与えるため平均荒さ５００〜１０００人程
度のものを用いることを理想とする。補助フィルム１１
の厚さはキャン表面の平滑度により適宜選定し、平滑度
が良くないときは厚いものを選ぶ。　補助フィルム１１
の機械的特性や熱特性は、フィルム基板１のそれらに近
接するものを用いるのが理想的であるが、厳密を要する
ものではなく、大差がなければ支障を生することはない
。なおフィルム基板１のガイドロール５゜５の一部又は
全部を補助フィルム基板１１のガイドロール５１．５７
等で兼用させても不都合はなく、却って装置を簡略化で
きて好都合の場合がある。

補助フィルム１１を上記のようにフィルム基板１の下に
てキャン２に巻き付けて使用するときは、真空容器内壁
から落下したゴミや、拡散で廻り込んだ蒸発原子等がキ
ャンに付着するのが防止され。

媒体表面に凹凸が発生するのを防ぐことができ記録媒体
の品質向」二等の効果が得られる。更に、キャン表面の
メンテナンス作業の軽減による稼動率増大の効果も見逃
せない。補助フィルム１１は戒程度の長さのものをエン
ドレスで用い１時々交換するという用法も可能である。

本装置を用いてスパッタ法で両面垂直磁気記録媒体を連
続生産したところ長時間の膜作成でも、キャンに汚れや
ゴミの付着が見られず、凹凸のない　表面の平面性の良
い記録媒体が得られた。

なお本実施例の方式が垂直磁気記録媒体の量産において
だけでなく、例えば通常の面内磁気記録媒体や一般のフ
ィルム表面への量産的成膜において、また、蒸着法のみ
でなくスパッタリング、イオンプレーテインク法等によ
る薄膜形成にもそのま＼利用できることは明らかである
。

（発明の効果） 本発明の装置は、垂直磁気記録媒体等の連続的製造にお
いて、表面に凹凸のない、表面の平面性・平滑性のよい
薄膜を得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例の垂直磁性膜連続製造装置の
真空室内部の概略図。 第２図は従来の装置の同様の図である。 １・・・・フィルム基板、２・・・・キャン、３・・・
・蒸発源、４・・・・防若板、５，５′・・・・ガイド
ロール、７・・・・キャンに付着したゴミ、８・・・・
真空室内壁からのゴミ、９・・・・拡散で廻り込む蒸発
原子等、１１・・・・補助フィルム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空容器内で、長尺のフィルム基板をガイドロールでキ
   ャンの表面に導き、該キャン表面を移動させながら、該
   フィルム基板上に連続的に垂直磁性薄膜等の薄膜を堆積
   形成させる垂直磁気記録媒体等の連続製造装置に於て、
   補助フィルムを該キャンの周囲表面に、その表面の大部
   分を覆うようにして移動させるとともに、該フィルム基
   板はこれを該補助フィルム上に重ねて移動させながら該
   薄膜を堆積させたことを特徴とする垂直磁気記録媒体等
   の連続製造装置。