JPS63144171A - β−SiCウイスカ/β−Si↓3N↓4複合体の製造方法 - Google Patents
β−SiCウイスカ/β−Si↓3N↓4複合体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63144171A JPS63144171A JP61289054A JP28905486A JPS63144171A JP S63144171 A JPS63144171 A JP S63144171A JP 61289054 A JP61289054 A JP 61289054A JP 28905486 A JP28905486 A JP 28905486A JP S63144171 A JPS63144171 A JP S63144171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sic
- powder
- beta
- composite
- whisker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明はセラミック粉末として窒化けい素(Si:+
Na)粉末、焼結助剤としてYzO*および強化繊維と
して炭化けい素ウィスカを用いたβ−SiCウイスカ/
β−Si3N、複合体の製造方法に関するものである。
Na)粉末、焼結助剤としてYzO*および強化繊維と
して炭化けい素ウィスカを用いたβ−SiCウイスカ/
β−Si3N、複合体の製造方法に関するものである。
(従来の技術)
炭化けい素(SiC)ウィスカで強化された窒化けい素
(SiJ4)焼結体は高強度、優れた耐熱衝撃抵抗、耐
磨耗性を有するため高温構造材料として応用が検討され
ている。このような複合体の製造方法としては、例えば
(イ”) 1986年2月発行の「アメリカセラミック
ス協会誌」第65巻第2号(Am。
(SiJ4)焼結体は高強度、優れた耐熱衝撃抵抗、耐
磨耗性を有するため高温構造材料として応用が検討され
ている。このような複合体の製造方法としては、例えば
(イ”) 1986年2月発行の「アメリカセラミック
ス協会誌」第65巻第2号(Am。
Ceram、Sor、65 (2) )の第351〜3
58頁に、95重量%のα−SiJ*と5重量%のMg
Oを混合した後、10〜40容量%のSiCウィスカを
混合し、次いで1750℃と1850℃でホントブレス
してなるSiCライスカ/Si3N<複合体の製造方法
が開示されている。また近い技術として(ロ)「窯業協
会誌」第91巻第11号第491頁(1983年)には
、SiJaにY2O3とLazO+を各々7.5モル%
か、MgOを5モル%を水中で混合し、濾過して薄層を
つくり、これを乾燥し、積層した後、1800℃、20
MPaで60〜90分ホ・ノドプレスして上記複合体を
製造する方法が開示されている。
58頁に、95重量%のα−SiJ*と5重量%のMg
Oを混合した後、10〜40容量%のSiCウィスカを
混合し、次いで1750℃と1850℃でホントブレス
してなるSiCライスカ/Si3N<複合体の製造方法
が開示されている。また近い技術として(ロ)「窯業協
会誌」第91巻第11号第491頁(1983年)には
、SiJaにY2O3とLazO+を各々7.5モル%
か、MgOを5モル%を水中で混合し、濾過して薄層を
つくり、これを乾燥し、積層した後、1800℃、20
MPaで60〜90分ホ・ノドプレスして上記複合体を
製造する方法が開示されている。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、このような従来のStCウィスカ/ S
i、N、複合体の製法にあっては、前記(イ)の方法
では、MgOを添加し1850℃でホットプレスする為
硬い粒界が得られるもののα−Si3N<がβ−Si、
N。
i、N、複合体の製法にあっては、前記(イ)の方法
では、MgOを添加し1850℃でホットプレスする為
硬い粒界が得られるもののα−Si3N<がβ−Si、
N。
に転移はするがβ−Si:+Naの針状粒の成長が不十
分であり、高い機械的強度が得られていない(例えば破
壊強度σt−600〜500MPa)。
分であり、高い機械的強度が得られていない(例えば破
壊強度σt−600〜500MPa)。
また、(ロ)の方法では、焼結助剤にY2O,とLa。
0、を用いてα−SiJaからβ−SiJ、への転移と
粒成長を促進するものの濾過方向が上下一方向であるこ
とによりβ−3t、N、の配向が一軸方向であり、機械
的強度が向上しないという問題点があった。
粒成長を促進するものの濾過方向が上下一方向であるこ
とによりβ−3t、N、の配向が一軸方向であり、機械
的強度が向上しないという問題点があった。
(問題点を解決するための手段)
発明者は機械的強度が十分満足されるSiCウィスカ/
Si3N4複合体の製造方法につき鋭意研究を行った結
果、出発原料として主としてα−Si3N、粉末とY2
O,とβ−SiCウイスカから成る特定比率の混合物を
型内に入れ、昇温し、1000℃以上の温度で型内ニN
Zガスを充填し、1800〜1850°Cの温度、2
0MPa以上の圧力下で加圧する方法により、前記問題
点を解決し得ることを確かめこの発明を達成するに至っ
た。
Si3N4複合体の製造方法につき鋭意研究を行った結
果、出発原料として主としてα−Si3N、粉末とY2
O,とβ−SiCウイスカから成る特定比率の混合物を
型内に入れ、昇温し、1000℃以上の温度で型内ニN
Zガスを充填し、1800〜1850°Cの温度、2
0MPa以上の圧力下で加圧する方法により、前記問題
点を解決し得ることを確かめこの発明を達成するに至っ
た。
従ってこの発明のβ−SiCウイスカ/β−Si、N、
複合体の製造方法はα−SisN<粉末とY2O3粉末
とβ−SiCウィスカおよび不可避的不純物からなる混
合粉末であって、α−SiJオとY2O,の重量比がα
−3i3N。
複合体の製造方法はα−SisN<粉末とY2O3粉末
とβ−SiCウィスカおよび不可避的不純物からなる混
合粉末であって、α−SiJオとY2O,の重量比がα
−3i3N。
: yzos=95:5〜87:13.α−Si3N4
粉末とY2O,粉末の体積とβ−SiCウイスカの体積
の比がα−SiJ4+y、o、 :β−SiCウイスカ
=84:16〜65:35である混合粉末を型内で昇温
し、1000℃以上の温度で型内に窒素ガスを充填し、
1800〜1850℃の範囲の温度および20MPa以
上の圧力でα−SiJ、の95%以上がβ−Si3N、
に転移するまで加圧保持することを特徴とする。
粉末とY2O,粉末の体積とβ−SiCウイスカの体積
の比がα−SiJ4+y、o、 :β−SiCウイスカ
=84:16〜65:35である混合粉末を型内で昇温
し、1000℃以上の温度で型内に窒素ガスを充填し、
1800〜1850℃の範囲の温度および20MPa以
上の圧力でα−SiJ、の95%以上がβ−Si3N、
に転移するまで加圧保持することを特徴とする。
(作 用)
この発明においては、焼結時Y2O3と、SiJ4もし
くはSiC周囲のSin、とが1500℃付近でガラス
相を形成する。このガラス相はα−Si3N4+ β
−SiC粒界に存在し、α−SiJ4とβ−SiCを結
合させる。
くはSiC周囲のSin、とが1500℃付近でガラス
相を形成する。このガラス相はα−Si3N4+ β
−SiC粒界に存在し、α−SiJ4とβ−SiCを結
合させる。
この温度ではα−SiJ4マトリクス中にβ−SiCが
ホントプレス軸に直角に配向した組織である。次いで1
800〜1850℃で20MPaの圧力下においてα−
Si3Naの95%以上がβ−SiJiに転移するまで
、例えば60分間加熱加圧することにより、粒状のα−
Si3N、が針状のβ−SiJnに成長し3次元的に配
向する。向上記保持時間は目的とする複合体の形状、大
きさ等により、異なるが、それぞれにつき予め実験によ
り設定される。このようにして得られた上記複合体にお
いては、β−3iCは主にβ−Si3N4針状粒の間に
橋をかけるような形でホン、ドブレス軸に直角にランダ
ム配向した形となる。その為、この組織をもつβ−Si
C/β−Si3N4複合体は強度および靭性が著しく向
上する。
ホントプレス軸に直角に配向した組織である。次いで1
800〜1850℃で20MPaの圧力下においてα−
Si3Naの95%以上がβ−SiJiに転移するまで
、例えば60分間加熱加圧することにより、粒状のα−
Si3N、が針状のβ−SiJnに成長し3次元的に配
向する。向上記保持時間は目的とする複合体の形状、大
きさ等により、異なるが、それぞれにつき予め実験によ
り設定される。このようにして得られた上記複合体にお
いては、β−3iCは主にβ−Si3N4針状粒の間に
橋をかけるような形でホン、ドブレス軸に直角にランダ
ム配向した形となる。その為、この組織をもつβ−Si
C/β−Si3N4複合体は強度および靭性が著しく向
上する。
(実施例)
以下この発明を図面に基づいて実施例により説明する。
犬上玉
先ず平均粒径1.0μmのα−Si3N4粉末(シュタ
ルク社製、Hl:商品名)に10重量%となるようにに
平均粒径3.0μ頂のYz(h粉末を混合し、ボールミ
ルに入れ、アルコール中で94時間粉砕した後、乾燥し
た。この混合粉末に20容量%となるように秤量した平
均直径0.45μm、平均長さ15μmのβ−SiCウ
イスカ(タテホ化学工業(株)製、1−3:商品名)を
加え、ボールミルにて24時間(C,lI。
ルク社製、Hl:商品名)に10重量%となるようにに
平均粒径3.0μ頂のYz(h粉末を混合し、ボールミ
ルに入れ、アルコール中で94時間粉砕した後、乾燥し
た。この混合粉末に20容量%となるように秤量した平
均直径0.45μm、平均長さ15μmのβ−SiCウ
イスカ(タテホ化学工業(株)製、1−3:商品名)を
加え、ボールミルにて24時間(C,lI。
OH中)混合した。スラリーをロータリーエバポレータ
ーにて乾燥した後、210μmのふるいを通過するまで
ほぐしホットプレス用の黒鉛型に充填した。加熱開始後
1000°CでN2ガスを型内に充填開始し、型内でN
2ガスが100 NMHgとなった時N2ガス供給を終
了した。その後、最大24MPaの圧力を加えた。型内
の温度が1850°Cに到達した後、この温度に60分
間保持し、その後冷却し、表1に示す隘5のβ−SiC
ウイスカ/β−SiJa複合体を得た。
ーにて乾燥した後、210μmのふるいを通過するまで
ほぐしホットプレス用の黒鉛型に充填した。加熱開始後
1000°CでN2ガスを型内に充填開始し、型内でN
2ガスが100 NMHgとなった時N2ガス供給を終
了した。その後、最大24MPaの圧力を加えた。型内
の温度が1850°Cに到達した後、この温度に60分
間保持し、その後冷却し、表1に示す隘5のβ−SiC
ウイスカ/β−SiJa複合体を得た。
上記加熱開始から複合体生成後冷却するまでの経過(ホ
ットプレススケジュール)を第1図に示す。次に焼成温
度を表1に示すように変えた以外は同様にして隘1〜4
及び阻6の複合体を得、焼粘体の結晶相と、次に示す測
定方法で評価した特性を隘5の複合体の測定結果ととも
に表1に併記する。
ットプレススケジュール)を第1図に示す。次に焼成温
度を表1に示すように変えた以外は同様にして隘1〜4
及び阻6の複合体を得、焼粘体の結晶相と、次に示す測
定方法で評価した特性を隘5の複合体の測定結果ととも
に表1に併記する。
揮1贋汰
(イ)曲げ強度
第2図に示すようにh=3**、b=4mm。
L+=35mmの試料1をJ+=30mmとして支え、
3点曲げ試験に準じて、荷重速度を0.5關/l1in
として荷重を加え、次式により破壊強度を求めた。
3点曲げ試験に準じて、荷重速度を0.5關/l1in
として荷重を加え、次式により破壊強度を求めた。
(ロ)破壊靭性(K+c)
第3図は(a)に示すW w 4 mm、B=3m、L
x”35mの試料1にシェブロンノツチ2を設け、第3
図(b)に示すように1xdOmm、13”20n+と
して支え、荷重速度を0.05m/sinとして荷重を
加え、シェブロンノツチ4点曲げ試験を行い破壊強度の
最大値(P、、X)を求め、次式に従ってKIC値を算
出した。
x”35mの試料1にシェブロンノツチ2を設け、第3
図(b)に示すように1xdOmm、13”20n+と
して支え、荷重速度を0.05m/sinとして荷重を
加え、シェブロンノツチ4点曲げ試験を行い破壊強度の
最大値(P、、X)を求め、次式に従ってKIC値を算
出した。
但しYai、1は形状から決まる定数26であり、FE
M (有限要素法)で計算する。
M (有限要素法)で計算する。
(ハ)電気伝導度
室温にて直流二端子法で測定する。即ち第4図(a)に
示すように13 X 8X 2mmの試料1の側面に銀
ペーストN3を設け、第4図(b)に示すようにセント
して測定する。
示すように13 X 8X 2mmの試料1の側面に銀
ペーストN3を設け、第4図(b)に示すようにセント
して測定する。
次にY2O,の配合量を表2に示すように変えた以外は
、患5の複合体と同様にしてN[L7〜11の複合体を
作製し、結晶性と特性の測定結果を表2に併記する。
、患5の複合体と同様にしてN[L7〜11の複合体を
作製し、結晶性と特性の測定結果を表2に併記する。
更にβ−SiCウイスカの配合量、焼成温度および加圧
力を表3に示すように変えた以外は隘5複合体と同様に
して患12〜18の複合体を作製し、結晶相と特性の測
定結果を表3に併記する。但し、表2の阻9および表3
の患15の複合体は階5のものと同じもので比較のため
に示す。
力を表3に示すように変えた以外は隘5複合体と同様に
して患12〜18の複合体を作製し、結晶相と特性の測
定結果を表3に併記する。但し、表2の阻9および表3
の患15の複合体は階5のものと同じもので比較のため
に示す。
上表中α−SiJ4とβ−Si+Naは次式で示すX線
強度比により定量化できる。本発明の実施例である隘4
,5,8.10,14.16.17はほぼ100χα−
SiJ4がβ−Si3Nmに転移していることが確認さ
れた。また隘1.2.3はβ−St、N、 L転移した
α−5tlN4が95%未満であった。
強度比により定量化できる。本発明の実施例である隘4
,5,8.10,14.16.17はほぼ100χα−
SiJ4がβ−Si3Nmに転移していることが確認さ
れた。また隘1.2.3はβ−St、N、 L転移した
α−5tlN4が95%未満であった。
表1の結果からβ−SiCウイスカ/β−Si3Nn複
合体は1800〜1850℃の間で焼成されることが条
件になることがわかる。1800℃未満ではα−3i3
N4が残り過ぎ、1850℃を超えるとSiJ4が分解
し、強度の低下を招く。
合体は1800〜1850℃の間で焼成されることが条
件になることがわかる。1800℃未満ではα−3i3
N4が残り過ぎ、1850℃を超えるとSiJ4が分解
し、強度の低下を招く。
表2の結果から、Y2O,がα−SiJnとY2O,の
合計の5重量%より少ないとα−3i3N4が残り、1
3重世%より多くなるとガラス層が厚くなり、強度が低
下する。
合計の5重量%より少ないとα−3i3N4が残り、1
3重世%より多くなるとガラス層が厚くなり、強度が低
下する。
表3の結果からβ−SiCウィスカの体積がα−Sii
N4とY2O,粉末とβ−SiCの合計の16重量%よ
り少ないと複合効果が表われず、16重世%以上でウィ
スカのネットワークが構成され、電気伝導性が生じ、抵
抗値がlXl0−”0口以下となり、放電加工が可能と
なる。しかし35容量%をこえると加圧力を高めないと
緻密な結晶体が得られず、またβ−SiCの損傷も起こ
り好ましくない。
N4とY2O,粉末とβ−SiCの合計の16重量%よ
り少ないと複合効果が表われず、16重世%以上でウィ
スカのネットワークが構成され、電気伝導性が生じ、抵
抗値がlXl0−”0口以下となり、放電加工が可能と
なる。しかし35容量%をこえると加圧力を高めないと
緻密な結晶体が得られず、またβ−SiCの損傷も起こ
り好ましくない。
(発明の効果)
以上説明してきたように、この発明によって得られるβ
−SiCウイスカ/β−SizN、複合体は、β−Si
aNa針状粒が3次元に配向し、β−SiCウイスカが
2次元に配向しているので、極めて高強度、高靭性を有
しているという効果が得られる。
−SiCウイスカ/β−SizN、複合体は、β−Si
aNa針状粒が3次元に配向し、β−SiCウイスカが
2次元に配向しているので、極めて高強度、高靭性を有
しているという効果が得られる。
第1図は実施例におけるホットプレススケジュールを示
す線図、 第2図は実施例で得た複合体の破壊強度測定の説明図、 第3図(a)は実施例で得た複合体の破壊強度を測定す
るためのシェブロンノツチをを設けた試料の斜視図、 第3図(b)は第3図(a)に示す試料の破壊強度測定
の説明図、 第4図(a)は実施例で得た複合体の電気伝導度を測定
するため、側面に銀ペーストを塗布し、銀ワイヤを取付
けた試料の斜視図、 第4図(b)は第4図(a)の試料を電気伝導度測定装
置にセントした場合の回路図である。 1・・・試料 2・・・シェブロンノツチ3
・・・銀ペースト 4・・・銀ワイヤ特許出願人
日産自動車株式会社 第2図 第3図 (a) 第4図 (a) (bン
す線図、 第2図は実施例で得た複合体の破壊強度測定の説明図、 第3図(a)は実施例で得た複合体の破壊強度を測定す
るためのシェブロンノツチをを設けた試料の斜視図、 第3図(b)は第3図(a)に示す試料の破壊強度測定
の説明図、 第4図(a)は実施例で得た複合体の電気伝導度を測定
するため、側面に銀ペーストを塗布し、銀ワイヤを取付
けた試料の斜視図、 第4図(b)は第4図(a)の試料を電気伝導度測定装
置にセントした場合の回路図である。 1・・・試料 2・・・シェブロンノツチ3
・・・銀ペースト 4・・・銀ワイヤ特許出願人
日産自動車株式会社 第2図 第3図 (a) 第4図 (a) (bン
Claims (1)
- 1、α−Si_3N_4粉末とY_2O_3粉末とβ−
SiCウィスカおよび不可避的不純物からなる混合粉末
であって、α−Si_3N_4とY_2O_3の重量比
がα−Si_3N_4:Y_2O_3=95:5〜87
:13、α−Si_3N_4粉末とY_2O_3粉末の
体積とβ−SiCウィスカの体積の比がα−Si_3N
_4+Y_2O_3:β−SiCウィスカ=84:16
〜65:35である混合粉末を型内で昇温し、1000
℃以上の温度で型内に窒素ガスを充填し、1800〜1
850℃の範囲の温度および20MPa以上の圧力でα
−Si_3N_4の95%以上がβ−Si_3N_4に
転移するまで加圧保持することを特徴とするβ−SiC
ウィスカ/β−Si_3N_4複合体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61289054A JPH0672055B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | β−SiCウイスカ/β−Si▲下3▼N▲下4▼複合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61289054A JPH0672055B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | β−SiCウイスカ/β−Si▲下3▼N▲下4▼複合体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144171A true JPS63144171A (ja) | 1988-06-16 |
| JPH0672055B2 JPH0672055B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=17738227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61289054A Expired - Lifetime JPH0672055B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | β−SiCウイスカ/β−Si▲下3▼N▲下4▼複合体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0672055B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03223169A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-02 | Nissan Motor Co Ltd | 炭化珪素・窒化珪素質複合焼結体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5954680A (ja) * | 1982-09-24 | 1984-03-29 | 工業技術院長 | 繊維強化型窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP61289054A patent/JPH0672055B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5954680A (ja) * | 1982-09-24 | 1984-03-29 | 工業技術院長 | 繊維強化型窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03223169A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-02 | Nissan Motor Co Ltd | 炭化珪素・窒化珪素質複合焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0672055B2 (ja) | 1994-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0930866A (ja) | 高熱伝導率窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法ならびに窒化ケイ素質焼結体製絶縁基板 | |
| JP2001080964A (ja) | 多結晶SiC成形体、その製法及びそれからなる応用品 | |
| JP2524201B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP2882575B2 (ja) | 高熱伝導窒化ケイ素セラミックスならびにその製造方法 | |
| JPS638071B2 (ja) | ||
| JP2730245B2 (ja) | 炭化珪素・窒化珪素質複合焼結体の製造方法 | |
| Tiegs et al. | Cost‐effective sintered reaction‐bonded silicon nitride for structural ceramics | |
| JP3810183B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| EP0250593B1 (en) | High-strength ceramics containing alpha-sialon | |
| JPH02296770A (ja) | 高温耐酸化性セラミックス複合材料 | |
| JPH09110533A (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3034100B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2581128B2 (ja) | アルミナ−サイアロン複合焼結体 | |
| JP2566580B2 (ja) | 炭化珪素・窒化珪素質複合焼結体 | |
| JPH07165462A (ja) | アルミナ−βサイアロン−YAG複合材 | |
| JPS60255672A (ja) | 炭化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH0672055B2 (ja) | β−SiCウイスカ/β−Si▲下3▼N▲下4▼複合体の製造方法 | |
| JP2539961B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体及びその製造法 | |
| JP4385122B2 (ja) | α−サイアロン焼結体の製造方法およびα−サイアロン焼結体 | |
| JPH09165264A (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JPH03109269A (ja) | 炭素繊維強化サイアロン基セラミックス複合材料 | |
| JP3126059B2 (ja) | アルミナ基複合焼結体 | |
| JP3216973B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0832590B2 (ja) | 炭化ケイ素焼結体およびその製法 | |
| JPH07115927B2 (ja) | SiC基セラミツクスとその製造方法 |