JPS63144601A

JPS63144601A - 誘電体フイルタおよびその製造方法

Info

Publication number: JPS63144601A
Application number: JP29221686A
Authority: JP
Inventors: Yohei Ishikawa; 容平石川; Kikuo Tsunoda; 角田　紀久夫; Toshiro Hiratsuka; 敏朗平塚; Kazuyoshi Miyawaki; 宮脇　和良; Sadao Yamashita; 貞夫山下
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1986-12-08
Filing date: 1986-12-08
Publication date: 1988-06-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野） °　この発明は誘電体フィルタおよびその製造方法に関
し、特に、ストリップ導体を有する誘電体フィルタおよ
びその製造方法に関する。

（従来技術）この発明の背景となる従来の誘電体フィルタの一例が、
たとえば特開昭６１−１６１８０４号公報に開示されて
いる。このような誘電体フィルタでは、誘電体基板の溝
の内面にストリップ導体が形成される。この誘電体フィ
ルタでは、そのストリップ導体が、電極材料をたとえば
塗布することや印刷することなどにより形成される。あ
るいは、この誘電体フィルタでは、溝を有する誘電体基
板の全面に電極膜を形成し、誘電体基板の溝を有する主
面上の溝の内面以外の電極膜を削ることによりストリッ
プ導体が形成される。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、このような従来の誘電体フィルタでは、
溝の内面にストリップ導体が形成されるため、電極材料
の塗布や印刷などによって部分的にストリップ導体を形
成することが困難である。

また、溝を有する誘電体基板の全面に電極膜を形成し、
その不要部分を削ってストリップ導体を形成する場合に
は、不要な電極膜だけを除去することが難しい。つまり
、不要な電極膜を削るときに誘電体基板の一部を削って
しまう場合がある。そのような場合、ストリップ４体間
の誘電体の量が変化する。そのため、ストリップ導体間
の誘電率が大きく変動し、誘電体フィルタのフィルタ特
性にばらつきを生じる。

それゆえに、この発明の主たる目的は、その製造を容易
に行うことができ、かつそのフィルタ特性にばらつきを
生じない形状の誘電体フィルタを提供することである。

この発明の他の目的は、このような誘電体フィルタを効
率よく製造することができる誘電体フィルタの製造方法
を提供することである。

（問題点を解決するための手段）第１の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、この誘電体基板の一方主面上の一端から他端
に向かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方
主面上に形成されるストリップ導体とを含む、誘電体フ
ィルタである。

第２の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向
かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方主面
上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタの
製造方法であって、誘電体基板を準備する工程と、誘電
体基板の全面に電極膜を形成する工程と、電極膜の上面
に、ストリップ導体を含む形状にマスクを形成する工程
と、マスク形成面以外の電極膜をエツチングにより除去
することによってストリップ導体を形成する工程と、誘
電体基板の電極膜除去部分をエツチングにより除去する
ことによって溝を形成する工程とを含む、誘電体フィル
タの製造方法である。

第３の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向
かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方主面
上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタの
製造方法であって、一方主面上の一端から他端に向かっ
て溝が形成された誘電体基板を準備する工程と、誘電体
基板の全面に電極膜を形成する工程と、電極膜の上面の
溝を除く部分に、ストリップ導体を含む形状にマスクを
形成する工程と、マスク形成面以外の電極膜をエツチン
グにより除去することによってストリップ導体を形成す
る工程とを含む、誘電体フィルタの製造方法である。

（発明の作用・効果）この発明によれば、ストリップ導体が溝の内面に形成さ
れず、平面上に形成されるため、電極材料の塗布や、印
刷によるストリップ導体の形成が容易である。さらに、
ストリップ導体間は溝であるため、誘電体フィルタの製
造過程におけるストリ・７プ導体間の誘電率の変動を小
さくすることができる。したがって、誘電体フィルタの
フィルタ特性のばらつきを抑えることができる。

さらに、エツチングによって誘電体フィルタを製造する
場合、平面上に簡単にマスクを形成することができる。

したがって、複雑な形状の誘電体フィルタを効率よく製
造することができる。

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一
層明らかとなろう。

（実施例）第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。この
誘電体フィルタｌＯは誘電体基板１２を含む。誘電体基
板１２の一方主面には、複数の溝１４．１４．　　・・
・が相互に間隔を隔てて形成される。これらの溝１４．
１４．　　・・・は、誘電体基板１２の一方主面１２ａ
の一端から他端に向かって形成される。さらに、誘電体
基板１２の一方主面１２ａの上面にはストリップ導体１
６．１６、・・・が形成される。したがって、溝１４の
内面には導体が形成されていない。

誘電体基板１２の他方主面１２ｂには、その全面にアー
ス導体１８が形成される。さらに、誘電体基板１２の一
方側面１２ｃには、接続導体２０が形成される。この接
続導体２０によって、ストリップ導体１６の他端および
アース導体１８の他端が接続される。

これらのストリップ導体１６．アース導体１８および接
続導体２０は、銀ペーストなどの電極材料を塗布して形
成されてもよいし、印刷などによって形成されてもよい
。

第１図実施例の誘電体フィルタ１０では、溝１４の内面
にストリップ導体１６が形成されず、平面上に形成され
ている。そのため、ストリップ導体１６は、電極材料の
塗布や印刷によってもＰ１単に形成することができる。

さらに、第１図実施例の誘電体フィルタｌＯでは、スト
リップ導体１６．１６．・・・の間が溝１４．１４．　
　・・・であり、高誘電率を有する誘電体で満たされて
いない。

したがって、その製造過程において、誘電体の量の変化
によるストリップ導体１６．１６．　　・・・間の誘電
率の変動が小さい。そのため、誘電体フィルタ１０のフ
ィルタ特性のばらつきを抑えることができる。

次に、第１図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する方
法の一例について説明する。

まず、第２Ａ図に示されるように、誘電体基板１２が準
備される。そして、この誘電体基板１２の全面に電極膜
２２が形成される。

次に、第２Ｂ図に示されるように、電極膜２２の上面に
マスク２４が形成される。マスク２４は、たとえばエツ
チングレジスト材などで、ストリップ導体１６．アース
導体１８および接続導体２０の形状に形成される。− そして、マスク２４が形成された誘電体基板１２がエツ
チング液に浸される。こうすることにより、マスク２４
形成面以外の電極膜２２が除去される。さらに、エツチ
ングによって、溝１４部分の誘電体が除去される。スト
リップ導体１６．アース導体１８．接続導体２０および
溝１４を形成した後、エツチングレジスト材が洗い流さ
れる。

このようにして、第１図に示される誘電体フィルタ１０
が形成される。

この方法によれば、溝１４．ストリップ導体１６、アー
ス導体１８および接続導体２ｏを形成するときに機械的
な加工を必要とせず、複雑な形状の誘電体フィルタｌＯ
を簡単に製造することができる。

さらに、第１図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する
方法の他の例について説明する。

まず、第３Ａ図に示されるように、誘電体基板１２が準
備される。この誘電体基板１２の一方主面上には、その
一端から他端に向かって溝１４゜１４、・・・が形成さ
れている。そして、この誘電体基板１２の全面に電極膜
２２が形成される。

そして、第３Ｂ図に示されるように、電極膜２２の上面
にマスク２４が形成される。マスク２４は、たとえばエ
ツチングレジスト材などで、ストリップ導体１６．アー
ス導体１８および接続導体２０の形状に形成される。た
だし、溝１４，１４、・・・の内面には、マスク２４は
形成されない。

このマスク２４が形成された誘電体基板１２がエツチン
グ液に浸される。こうすることにより、マスク２４形成
面以外の電極膜２２が除去される。

このとき、溝１４，１４．　　・・・の内面の電極膜２
２も除去される。そして、不要な電極膜２２が除去され
た後、エツチングレジスト材が洗い流される。このよう
にして、第１図に示される誘電体フィルタ１０が形成さ
れる。

この方法によれば、機械的な加工では困難な溝１４．１
４．　　・・・の内面の電極膜を節単に除去することが
できる。

第４図はこの発明の他の実施例を示す斜視図である。こ
の誘電体フィルタ１０では、溝１４が誘電体基板１２の
一方主面１２ａの一端から他端にまで延びるように形成
されている。そして、誘電体基板１２の一方側面１２ｃ
には、接続導体２０が形成されている。しかしながら、
この接続導体２０は形成されなくてもよい。

第４図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する際にも、
上述の製造方法が適用可能である。つまり、１つの製造
方法は、エツチングによって平板状の誘電体基板１２に
溝１４およびストリップ導体１６を形成する方法である
。そして、もう１つの製造方法は、予め溝１４の形成さ
れた誘電体基板１２にエツチングによってストリップ導
体１６を形成する方法である。

なお、第１図実施例および第４図実施例では、誘電体基
板１２に複数の溝１４が形成されている。

しかし、溝１４は１つだけ形成されてもよい。その場合
、゛ストリップ導体１６は、溝１４の両側に形成される
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。第２Ａ図および第２Ｂ図は、第１の発明による誘電体フ
ィルタの製造過程の一例を示す斜視図である。第３Ａ図および第３Ｂ図は、第２の発明による誘電体フ
ィルタの製造過程の一例を示す斜視図である。第４図はこの発明の他の実施例を示す斜視図である。図において、１０は誘電体フィルタ、１２は誘電体基板
、１４は溝、１６はストリップ導体を示す。特許出願人　株式会社　村田製作所代理人　弁理士　岡　１）　全　啓（ほか１名）第２Ａ］１２”’

Claims

【特許請求の範囲】１　少なくとも一方主面に平面を備えた誘電体基板、前記誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向かって
形成される溝、および前記誘電体基板の前記溝を除く一方主面上に形成される
ストリップ導体を含む、誘電体フィルタ。２　少なくとも一方主面に平面を備えた誘電体基板と、
前記誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向かって
形成される溝と、前記誘電体基板の前記溝を除く一方主
面上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタ
の製造方法であって、板状の誘電体基板を準備する工程
、前記誘電体基板の全面に電極膜を形成する工程、前記電
極膜の上面に、前記ストリップ導体を含む形状にマスク
を形成する工程、前記マスク形成面以外の前記電極膜をエッチングにより
除去することによって前記ストリップ導体を形成する工
程、および前記誘電体基板の前記電極膜除去部分をエッチングによ
り除去することによって溝を形成する工程を含む、誘電
体フィルタの製造方法。３　少なくとも一方主面に平面を備えた誘電体基板と、
前記誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向かって
形成される溝と、前記誘電体基板の前記溝を除く一方主
面上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタ
の製造方法であって、一方主面上の一端から他端に向か
って溝が形成された誘電体基板を準備する工程、前記誘電体基板の全面に電極膜を形成する工程、前記電
極膜の上面の前記溝を除く部分に、前記ストリップ導体
を含む形状にマスクを形成する工程、および前記マスク形成面以外の前記電極膜をエッチングにより
除去することによって前記ストリップ導体を形成する工
程を含む、誘電体フィルタの製造方法。