JPS63148201A - 反射型カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
反射型カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPS63148201A JPS63148201A JP61296101A JP29610186A JPS63148201A JP S63148201 A JPS63148201 A JP S63148201A JP 61296101 A JP61296101 A JP 61296101A JP 29610186 A JP29610186 A JP 29610186A JP S63148201 A JPS63148201 A JP S63148201A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は、干渉効果を利用した反射型カラーフィルタを
、陽極酸化時の印加電圧により化成速度が異なることを
利用して、３原色の各色対応に電気的に分離して設けた
金属薄膜に、所望膜厚に対応する電圧を印加して同時に
陽極酸化を行い、一工程で膜厚の異なる透明薄膜と金属
反射膜とが積層された反射型カラーフィルタを作製する
。
、陽極酸化時の印加電圧により化成速度が異なることを
利用して、３原色の各色対応に電気的に分離して設けた
金属薄膜に、所望膜厚に対応する電圧を印加して同時に
陽極酸化を行い、一工程で膜厚の異なる透明薄膜と金属
反射膜とが積層された反射型カラーフィルタを作製する
。
本発明は、透明薄膜と金属反射膜とからなり、透明薄膜
における干渉効果を利゛用した反射型カラーフィルタの
製造方法に関する。
における干渉効果を利゛用した反射型カラーフィルタの
製造方法に関する。
反射型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、着
色剤として顔料や染料を用い、ガラ“大基板の画素対応
領域を着色して作製される。
色剤として顔料や染料を用い、ガラ“大基板の画素対応
領域を着色して作製される。
カラーフィルタの作製時には、上記着色工程中で、塵埃
等が付着し易く、この塵埃によって、反射型液晶表示装
置の電極やパスライン等にクラックを生じたり、或いは
セル厚のバラツキを生じたりする場合があり、表示欠陥
発生の一因となる。
等が付着し易く、この塵埃によって、反射型液晶表示装
置の電極やパスライン等にクラックを生じたり、或いは
セル厚のバラツキを生じたりする場合があり、表示欠陥
発生の一因となる。
またかかる構成のフィルタは長時間にわたる光照射によ
り、色あいの劣化を生じ、表示品質が低下するという欠
点がある。
り、色あいの劣化を生じ、表示品質が低下するという欠
点がある。
そこで本発明者らは、かかる欠点を解消した反射型カラ
ーフィルタを、特願昭６１〜２２２５６９号により提案
した。
ーフィルタを、特願昭６１〜２２２５６９号により提案
した。
その反射型カラーフィルタとその製造方法を第２図（ａ
）〜ｆｅｌにより説明する。
）〜ｆｅｌにより説明する。
同図（ａｌに示すように、まずガラス基板１上に共通電
極を兼ねる金属薄膜２を成膜する。
極を兼ねる金属薄膜２を成膜する。
次に同図（ｂｌに見られるように、金属薄膜２上の単位
画素領域を開口部とするレジスト膜５−１を形成し、こ
れをマスクとして上記金属薄膜２に陽極酸化法を施し、
金属薄膜２の一部を化成して透明薄膜３−１を形成する
。なお、カラー表示装置の１画素は、Ｒ，Ｇ、Ｂの３原
色のそれぞれに対し１ドツトずつから構成されるので、
上記陽極酸化工程において化成する面積は、３ドツト分
の面積とする。
画素領域を開口部とするレジスト膜５−１を形成し、こ
れをマスクとして上記金属薄膜２に陽極酸化法を施し、
金属薄膜２の一部を化成して透明薄膜３−１を形成する
。なお、カラー表示装置の１画素は、Ｒ，Ｇ、Ｂの３原
色のそれぞれに対し１ドツトずつから構成されるので、
上記陽極酸化工程において化成する面積は、３ドツト分
の面積とする。
次いで同図（Ｃ）に示すように、上記３ドツト分に相当
する透明薄膜３−１のうち、２ドツト分を開口部とする
レジスト膜５−２を形成し、これをマスクとして再び陽
極酸化法を施して、先に形成した透明薄膜３−１の表面
を露出している部分の膜厚を増大させ、図示の如く透明
薄膜３−２を形成する。
する透明薄膜３−１のうち、２ドツト分を開口部とする
レジスト膜５−２を形成し、これをマスクとして再び陽
極酸化法を施して、先に形成した透明薄膜３−１の表面
を露出している部分の膜厚を増大させ、図示の如く透明
薄膜３−２を形成する。
次いで同図（ｄ）に示すように、透明薄膜３−２のうち
１ドツト分を開口部とするレジスト膜５−３を形成し、
これをマスクとして再度陽極酸化法を施して、最も大な
る膜厚を有する透明薄膜３−３を形成する。
１ドツト分を開口部とするレジスト膜５−３を形成し、
これをマスクとして再度陽極酸化法を施して、最も大な
る膜厚を有する透明薄膜３−３を形成する。
上記金属薄膜２と透明薄膜３−１．３−２．３−３から
の反射光強度は、互いに干渉しである波長域で大きくな
る。従って透明薄膜３−１．３−２．３−３の膜厚を変
えることにより、光の反射波長域を変えることができ、
即ち反射型カラーフィルタとして用いることができる。
の反射光強度は、互いに干渉しである波長域で大きくな
る。従って透明薄膜３−１．３−２．３−３の膜厚を変
えることにより、光の反射波長域を変えることができ、
即ち反射型カラーフィルタとして用いることができる。
以上により同図（ｅｌに見られるように、３原色を構成
する各色対応に異なる膜厚を有するカラーフィルタが作
製される。
する各色対応に異なる膜厚を有するカラーフィルタが作
製される。
かかる構成の反射型カラーフィルタは、有機色素を用い
ていないので、褪色することなく長時間の使用が可能で
あり、またカラーフィルタ作製時にゴミの付着がなく、
従って、電極やパスラインにクラックを生じたり、セル
厚が変化したりすることがなく、従って表示欠陥が発生
する虞もない。
ていないので、褪色することなく長時間の使用が可能で
あり、またカラーフィルタ作製時にゴミの付着がなく、
従って、電極やパスラインにクラックを生じたり、セル
厚が変化したりすることがなく、従って表示欠陥が発生
する虞もない。
しかし、上記従来の反射型カラーフィルタは、３原色の
各色対応に陽極酸化を３回行い、各色ごとにフィルタの
膜厚を制御することが必要であるため、製造工程が煩雑
となる難点がある。
各色対応に陽極酸化を３回行い、各色ごとにフィルタの
膜厚を制御することが必要であるため、製造工程が煩雑
となる難点がある。
そこで本発明においては、上記反射型カラーフィルタを
容易に作製し得る、改良された製造方法を提供すること
を目的とする。
容易に作製し得る、改良された製造方法を提供すること
を目的とする。
上記目的は本発明において、ガラス基板上に３原色の各
色対応のドツト領域ごとに金属薄膜を電気的に分離して
形成し、この各ドツト領域にそれぞれ異なる電圧を印加
して同時に陽極酸化を行うことによって達成される。
色対応のドツト領域ごとに金属薄膜を電気的に分離して
形成し、この各ドツト領域にそれぞれ異なる電圧を印加
して同時に陽極酸化を行うことによって達成される。
金属薄膜に陽極酸化法を施した時の化成膜の成長速度は
、陽極酸化時に印加する電圧によって異なる。そこで３
原色の各色対応の金属薄膜に印加する電圧を、それぞれ
の干渉光が所望の波長となる膜厚に対応する電圧に選ん
で陽極酸化することにより、同一工程において、各色対
応の金属３膜表面層が化成されて得られる透明薄膜を、
それぞれ所望の厚さに形成できる。
、陽極酸化時に印加する電圧によって異なる。そこで３
原色の各色対応の金属薄膜に印加する電圧を、それぞれ
の干渉光が所望の波長となる膜厚に対応する電圧に選ん
で陽極酸化することにより、同一工程において、各色対
応の金属３膜表面層が化成されて得られる透明薄膜を、
それぞれ所望の厚さに形成できる。
以下本発明の一実施例を第１図（ａｌ〜（ｄｌにより説
明する。
明する。
先ず同図（ａｌ、 （ｂｌに示す如く、ガラス基板１上
に３原色の各色のドツト対応に金属薄膜２−Ｌ ２−２
゜２−３を分離して形成する。これは、ガラス基板１上
全而に、例えばチタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）のよ
うな金属を、スパッタリング法等により凡そ２０００人
の厚さに被着させた後、所要部分をレジスト膜でマスク
して、不要部を除去する等の方法で実施できる。
に３原色の各色のドツト対応に金属薄膜２−Ｌ ２−２
゜２−３を分離して形成する。これは、ガラス基板１上
全而に、例えばチタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）のよ
うな金属を、スパッタリング法等により凡そ２０００人
の厚さに被着させた後、所要部分をレジスト膜でマスク
して、不要部を除去する等の方法で実施できる。
次いで同図（Ｃ）に見られる如く、ガラス基板１を酒石
酸アンモニウム（（ＮｔＩ＃） ｚｃＪ４０ａ）のよう
な電解液６中にひたし、各金属薄膜２−１．２−２．２
−３に対してそれぞれ異なる電圧を印加して、陽極酸化
を行う。この時、各金属薄膜２−１．２−２．２−３を
赤色Ｒ９緑色Ｇ、青色Ｂに対するドツト領域とした場合
、各金属薄膜上の化成膜の厚さと印加する電圧ＶＲ、Ｖ
ｒ、、Ｖｍとの関係については後述する。
酸アンモニウム（（ＮｔＩ＃） ｚｃＪ４０ａ）のよう
な電解液６中にひたし、各金属薄膜２−１．２−２．２
−３に対してそれぞれ異なる電圧を印加して、陽極酸化
を行う。この時、各金属薄膜２−１．２−２．２−３を
赤色Ｒ９緑色Ｇ、青色Ｂに対するドツト領域とした場合
、各金属薄膜上の化成膜の厚さと印加する電圧ＶＲ、Ｖ
ｒ、、Ｖｍとの関係については後述する。
このように陽極酸化を行うと、同図（ｄ）に見られるよ
うに、金属薄膜２−１．２−２．２−３表面が化成され
て、透明薄膜３−１．３−２．３−３が形成される。各
透明薄膜３−１．３−２．３−３ （７）厚さは、印加
電圧Ｖ、ｌ。
うに、金属薄膜２−１．２−２．２−３表面が化成され
て、透明薄膜３−１．３−２．３−３が形成される。各
透明薄膜３−１．３−２．３−３ （７）厚さは、印加
電圧Ｖ、ｌ。
Ｖ、、Ｖ、に対応して制御される。
このように形成された透明薄膜３−１．３−２．３−３
の下地として残留する金属薄膜２−１．２−２．２−３
は、透明薄膜３−１．３−２．３−３を透過した光を反
射する金属反射膜として働く。ここで反射された光と、
透明薄膜３−１．３−２．３−３表面で反射された光と
の干渉により、透明薄膜３−１．３−２．３−３からの
反射光の波長は、その膜厚に依存する。
の下地として残留する金属薄膜２−１．２−２．２−３
は、透明薄膜３−１．３−２．３−３を透過した光を反
射する金属反射膜として働く。ここで反射された光と、
透明薄膜３−１．３−２．３−３表面で反射された光と
の干渉により、透明薄膜３−１．３−２．３−３からの
反射光の波長は、その膜厚に依存する。
即ち、透明薄膜の厚さ、屈折率をｄ、ｎとし、反射光の
波長をλとすると、 ｎ−ｄ＝λ／４ −〜−−−−−■の
関係が成立する。従って、金属薄膜２−１．２−２゜２
−３としてＴｉを用いると、透明薄膜３−１．３−２゜
３−３は酸化チタン（Ｔ ｉ Ｏ□）となる。これの屈
折率は可視領域でｎ＃２．３である。
波長をλとすると、 ｎ−ｄ＝λ／４ −〜−−−−−■の
関係が成立する。従って、金属薄膜２−１．２−２゜２
−３としてＴｉを用いると、透明薄膜３−１．３−２゜
３−３は酸化チタン（Ｔ ｉ Ｏ□）となる。これの屈
折率は可視領域でｎ＃２．３である。
また３原色Ｒ，Ｇ、Ｂの波長は、それぞれ凡そ７．８０
０人、 ５．２００人、 ３８００人であるので、各色
に対する透明薄膜３−１．３−２．３−３の膜厚ｄＲ，
ｄＧ、ｄ。
０人、 ５．２００人、 ３８００人であるので、各色
に対する透明薄膜３−１．３−２．３−３の膜厚ｄＲ，
ｄＧ、ｄ。
は、上記０式を変形して
ｄ＝λ／ ４ ｎ −・−−一−−
−−■となるので、 となる。
−−■となるので、 となる。
上述の陽極酸化工程における化成速度は、反応闇値電圧
を越えるとほぼ印加電圧に直線的に比例する。そこで、
各色対応の金属薄膜２−１．２−２．２−３表面がそれ
ぞれ上記厚さに化成されるように、印加電圧Ｖ、、Ｖ、
、Ｖ、を、例えば６０Ｖ、 ３０Ｖ。
を越えるとほぼ印加電圧に直線的に比例する。そこで、
各色対応の金属薄膜２−１．２−２．２−３表面がそれ
ぞれ上記厚さに化成されるように、印加電圧Ｖ、、Ｖ、
、Ｖ、を、例えば６０Ｖ、 ３０Ｖ。
２０Ｖに選び、凡そ１０分間の化成を行えばよい。
以上により本実施例では３原色各色対応のドツト領域に
、それぞれ所望の膜厚を有する透明薄膜３−１．３−２
．３−３を、一工程で同時に形成することができ、製造
工程が極めて簡単化される。
、それぞれ所望の膜厚を有する透明薄膜３−１．３−２
．３−３を、一工程で同時に形成することができ、製造
工程が極めて簡単化される。
本発明によれば、有機色素を用いないので色あいの劣化
がなく、またフィルタ作製時のゴミの付着もなく、従っ
て表示欠陥のない良好な表示品質を有する表示パネルが
簡単な製造工程で作製され、製造歩留が向上し、価格も
安価となる。
がなく、またフィルタ作製時のゴミの付着もなく、従っ
て表示欠陥のない良好な表示品質を有する表示パネルが
簡単な製造工程で作製され、製造歩留が向上し、価格も
安価となる。
第１図は本発明一実施例説明図、
第２図は従来の製造方法説明図である。
図において、１はガラス基板、２．２−１．２−２゜２
−３は金属薄膜、３ 、３−１．３−２．３−３は透明
薄膜を示す。 ２′−２ 不ネ明−ぢ０・Ｊ謹甥図 ’＋７７”ラズ基本（ 従禾丙髪涜方莞参Ｈ図
−３は金属薄膜、３ 、３−１．３−２．３−３は透明
薄膜を示す。 ２′−２ 不ネ明−ぢ０・Ｊ謹甥図 ’＋７７”ラズ基本（ 従禾丙髪涜方莞参Ｈ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガラス基板（１１）上に透明な化成膜を形成し得る金属
薄膜を形成した後、該金属薄膜を陽極酸化法により化成
して、３原色の各色対応に異なる膜厚を有する透明薄膜
を形成するに際し、 前記金属薄膜（２−１、２−２、２−３）を３原色の各
色に対応するドット領域ごとに分離して形成し、各金属
薄膜にそれぞれ異なる化成電圧を印加して同時に陽極酸
化を行い、各金属薄膜、表面に透明薄膜（３−１、３−
２、３−３）をそれぞれ所望の膜厚に形成することを特
徴とする反射型カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61296101A JPS63148201A (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 | 反射型カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61296101A JPS63148201A (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 | 反射型カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148201A true JPS63148201A (ja) | 1988-06-21 |
Family
ID=17829144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61296101A Pending JPS63148201A (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 | 反射型カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148201A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01271706A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光フィルタ及び該光フィルタを用いた光電センサー |
| EP0478621A4 (en) * | 1989-06-17 | 1993-02-03 | William F. Glick | Color display system using thin film color control |
| JP2001137001A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-22 | Rikio:Kk | 履物、その製造方法及びこれに用いる中底、中敷 |
-
1986
- 1986-12-11 JP JP61296101A patent/JPS63148201A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01271706A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光フィルタ及び該光フィルタを用いた光電センサー |
| EP0478621A4 (en) * | 1989-06-17 | 1993-02-03 | William F. Glick | Color display system using thin film color control |
| JP2001137001A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-22 | Rikio:Kk | 履物、その製造方法及びこれに用いる中底、中敷 |
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