JPS6316221A - 変位変換器 - Google Patents
変位変換器Info
- Publication number
- JPS6316221A JPS6316221A JP61160496A JP16049686A JPS6316221A JP S6316221 A JPS6316221 A JP S6316221A JP 61160496 A JP61160496 A JP 61160496A JP 16049686 A JP16049686 A JP 16049686A JP S6316221 A JPS6316221 A JP S6316221A
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- JP
- Japan
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- light
- pitch
- slits
- elements
- duty ratio
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、光を利用して機械的な変位を検出する変位変
換器に関するものである。史に詳しくtよ、コード板に
形成されていて所定ビッヂで配列された複数個の透光ス
リットに光を投射し、この透光スリットを通過した光を
受光素子で検出し、この検出光をもとにしてコード板の
変位を求める変位変換器に関するものである。
換器に関するものである。史に詳しくtよ、コード板に
形成されていて所定ビッヂで配列された複数個の透光ス
リットに光を投射し、この透光スリットを通過した光を
受光素子で検出し、この検出光をもとにしてコード板の
変位を求める変位変換器に関するものである。
[従来の技術]
このような変位変換器の一種として、本出願人による特
願昭58−13951号の変位変換器があった。この変
位変換器は、透光スリットの1ピッチ内に複数個の受光
素子を配列するとともに、透光スリットの1ピッチを電
気的に内沖しく例えば100〜1ooolE1度の内捜
)、高い分解能で変位を検出できるようにしたものであ
る。
願昭58−13951号の変位変換器があった。この変
位変換器は、透光スリットの1ピッチ内に複数個の受光
素子を配列するとともに、透光スリットの1ピッチを電
気的に内沖しく例えば100〜1ooolE1度の内捜
)、高い分解能で変位を検出できるようにしたものであ
る。
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、このような変位変換器では、第7図のよ−うに
透光スリットSの通過光が、透光スリットの1ビッヂP
@基本波とした高調波成分を含み、その高:A波成分の
影響により第8図に承りような検出誤差が生じる。以下
、この検出誤差を非直線汽差とする。
透光スリットSの通過光が、透光スリットの1ビッヂP
@基本波とした高調波成分を含み、その高:A波成分の
影響により第8図に承りような検出誤差が生じる。以下
、この検出誤差を非直線汽差とする。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたもの
であり、透光スリットの1ピッチ内に設けられた受光素
子の個数と、この1ピッチ内で透光スリットが占める比
率(以下、デユーティ比とする)を最適関係に設定する
ことによって非直線誤差を低減することを目的とする。
であり、透光スリットの1ピッチ内に設けられた受光素
子の個数と、この1ピッチ内で透光スリットが占める比
率(以下、デユーティ比とする)を最適関係に設定する
ことによって非直線誤差を低減することを目的とする。
L問題点を解決プるための手段]
本発明は、
コード板に形成されていて所定ピッチで配列された?!
2aiの透光スリットに光を投射し、この透光スリット
を通過した光を複数個の受光素子で検出し、この検出光
をもとにして前記コード板の変位を求める変位変換器に
おいて、 前記透光スリットの配列の1ピッチ内にある受光素子が
奇数個の場合は、1ピッチ内で透光スリットが占める比
率を50%に設定し、偶数個の場合は、前記比率を素子
数が多くなるに従って50%に近付けるように設定した
ことを特徴とする変位変換器である。
2aiの透光スリットに光を投射し、この透光スリット
を通過した光を複数個の受光素子で検出し、この検出光
をもとにして前記コード板の変位を求める変位変換器に
おいて、 前記透光スリットの配列の1ピッチ内にある受光素子が
奇数個の場合は、1ピッチ内で透光スリットが占める比
率を50%に設定し、偶数個の場合は、前記比率を素子
数が多くなるに従って50%に近付けるように設定した
ことを特徴とする変位変換器である。
[実施例]
以下、図面を用いて本発明を説明する。
第1図は本発明にかかる変位変換装置の一実施例の構成
図である。
図である。
図で、1はコード板、11はこのコード板に所定のピッ
チで円周方向に複数個配列された透光スリットである。
チで円周方向に複数個配列された透光スリットである。
2は光源、21は光源2からの光ビームを平行ビームに
するためのレンズである。
するためのレンズである。
3は透光スリット11を通った光源2からの光(スリッ
ト像)を受光するイメージセンサで、ここでは例えば8
個のフォトダイオード31〜3日がアレイ状に配列され
たフォトダイオードアレイである。
ト像)を受光するイメージセンサで、ここでは例えば8
個のフォトダイオード31〜3日がアレイ状に配列され
たフォトダイオードアレイである。
SW1〜SW8はフォトダイオード3.〜38からの信
号を一定のタイミングで順次取り出していくスイッチで
ある。
号を一定のタイミングで順次取り出していくスイッチで
ある。
4はOPアンプであり、各スイッチSW1〜SW8を介
して印加される信号を増幅する。
して印加される信号を増幅する。
5はバンドパスフィルタであり、OPアンプ4の出力信
号の基本波成分を抽出する。
号の基本波成分を抽出する。
このような変位変換器で、フォトダイオードの個数を一
定にしたままで、デユーティ比を変えると、1ピッチを
内挿したことにより生じる非直線誤差は、第2図に示す
ように変化する。
定にしたままで、デユーティ比を変えると、1ピッチを
内挿したことにより生じる非直線誤差は、第2図に示す
ように変化する。
図に示すように、非直線誤差はデユーティ比が40%の
とぎに最小になる。また、50%を対称軸とすると、4
0%の位置と対称な位置すなわち60%の位置でも非直
線誤差は最小になる。このときの透光スリット11とフ
ォトダイオード3の配列関係を第3図に示す。この図に
示すように、透光スリット11の1ピッチP内に8個の
フォトダイオード31〜3eが設けられていて、1ピッ
チPの中で透光スリットが占める比率は40%である。
とぎに最小になる。また、50%を対称軸とすると、4
0%の位置と対称な位置すなわち60%の位置でも非直
線誤差は最小になる。このときの透光スリット11とフ
ォトダイオード3の配列関係を第3図に示す。この図に
示すように、透光スリット11の1ピッチP内に8個の
フォトダイオード31〜3eが設けられていて、1ピッ
チPの中で透光スリットが占める比率は40%である。
フォトダイオード3が9個設けられている場合は、デユ
ーティ比と非直線誤差の関係は第4図に示すようになる
。このとぎは、デユーティ比が50%のときに非直線性
誤差が最小になる。
ーティ比と非直線誤差の関係は第4図に示すようになる
。このとぎは、デユーティ比が50%のときに非直線性
誤差が最小になる。
フォトダイオードの個数Nと、非直線誤差が最小になる
デユーティ比りの関係は第5図のようになる。デユーテ
ィ比50〜100%における非直線誤差の変化を表わし
たグラフは、デユーティ比が50%の縦軸について0〜
50%のグラフと対称なグラフである。このため、第5
図の0内に示すデユーティ比でも非直線誤差は最小値を
とる。
デユーティ比りの関係は第5図のようになる。デユーテ
ィ比50〜100%における非直線誤差の変化を表わし
たグラフは、デユーティ比が50%の縦軸について0〜
50%のグラフと対称なグラフである。このため、第5
図の0内に示すデユーティ比でも非直線誤差は最小値を
とる。
このような結果は、次のようにして求める。
前述した第7図で、透光スリットのデユーティ比りはW
/P (Wは透光スリットの幅)で与えられる。
/P (Wは透光スリットの幅)で与えられる。
透光スリットに投射される光の光強度関数を7一リエ級
数で表わすと、光強度関数は次式で与えられる。
数で表わすと、光強度関数は次式で与えられる。
′11動LtL
?
このような光強度関数をグラフで表わすと、第6図のよ
うになる。第6図では、縦1袖に光強度関数、横軸に空
間周波数をとっている。また、図は、受光素子が8個の
場合(N=8の場合)を示していて、実線が信号成分で
、破線は折返しノイズ成分である。図に示すように、信
号波形が縦軸に当たって折返した成分がノイズ波形にな
っている。
うになる。第6図では、縦1袖に光強度関数、横軸に空
間周波数をとっている。また、図は、受光素子が8個の
場合(N=8の場合)を示していて、実線が信号成分で
、破線は折返しノイズ成分である。図に示すように、信
号波形が縦軸に当たって折返した成分がノイズ波形にな
っている。
このため、1次の信号成分(基本波成分ンa+には7次
のノイズ成分a7′と9次のノイズ成分a9′が重畳し
ている。
のノイズ成分a7′と9次のノイズ成分a9′が重畳し
ている。
基本波を抽出して光検出信号とするため、基本波の信号
成分が7次及び9次のノイズ成分に比して大きい程S/
N比が良好になって、非直線誤差が小さくなる。
成分が7次及び9次のノイズ成分に比して大きい程S/
N比が良好になって、非直線誤差が小さくなる。
ここで、受光素子の数Nとフーリエ級数の係数のI!1
係について説明する。
係について説明する。
符号板のデユーティ比をDとすると、光強度関数を表わ
したフーリエ級数の係数a、は次式のようになる。
したフーリエ級数の係数a、は次式のようになる。
代(24−綾い5) ■ξバー
(えズo、1.λ−−−−−−)
ここで、素子数Nが奇数の場合は、基本波の信号成分に
はくN±1〉次すなわち偶数次の高調波ノイズ成分が重
畳する。
はくN±1〉次すなわち偶数次の高調波ノイズ成分が重
畳する。
偶数次のノイズ成分の係数は、■式で、次数1が偶数で
あるため、D=0.5であれば1πD−えπ(えは整数
)になり、偶数次のへイズ成分の係数はOになる。この
ため、素子数Nが奇数の場合には最適デユーティ比を5
0%にする。
あるため、D=0.5であれば1πD−えπ(えは整数
)になり、偶数次のへイズ成分の係数はOになる。この
ため、素子数Nが奇数の場合には最適デユーティ比を5
0%にする。
素子数Nが偶数の場合は、奇数の場合と異なり簡単に最
適デユーティ比は求まらない。そこで、シュミレーショ
ンによって最適デユーティ比を求める。
適デユーティ比は求まらない。そこで、シュミレーショ
ンによって最適デユーティ比を求める。
このようにして求めた最適デユーティ比の一例が第5図
に示すものである。第5図で(ユ、素子数Nが奇数の場
合は最適デユーティ比りが50%である。また、素子数
Nが偶数の場合(よ、素子数が多くなるに従ってデユー
ティ比りが50%に近(=1いていく傾向にある。
に示すものである。第5図で(ユ、素子数Nが奇数の場
合は最適デユーティ比りが50%である。また、素子数
Nが偶数の場合(よ、素子数が多くなるに従ってデユー
ティ比りが50%に近(=1いていく傾向にある。
また、第2図と第4図に示すように、第2図の40%、
第4図の50%以外にも誤差を小さくするデユーティ比
がある。例えば、第2図では26%と13%がそれであ
る。しかしながら、デユーティ比が50%から離れるに
つれて、デユーティ比の誤差によって大きな誤差が出s
’+ tい。例えば、第2図の13%では、このデユー
ティ比に1%の誤差が生じた場合の非直線、誤差は、デ
ユーティ比40%における1%の誤差に比べてはるかに
大きい。従って、実用的には50%に近いデユーティ比
をとるのが最適である。
第4図の50%以外にも誤差を小さくするデユーティ比
がある。例えば、第2図では26%と13%がそれであ
る。しかしながら、デユーティ比が50%から離れるに
つれて、デユーティ比の誤差によって大きな誤差が出s
’+ tい。例えば、第2図の13%では、このデユー
ティ比に1%の誤差が生じた場合の非直線、誤差は、デ
ユーティ比40%における1%の誤差に比べてはるかに
大きい。従って、実用的には50%に近いデユーティ比
をとるのが最適である。
なお、実施例では変位変換器がロータリーエンコーダで
ある場合について説明したが、これに限らず変位変換器
は直線変位形のものであってもよい。
ある場合について説明したが、これに限らず変位変換器
は直線変位形のものであってもよい。
また、受光素子としてはフォトダイオード以外のものを
用いてもよい。
用いてもよい。
[効果〕
本発明によれば、透光スリットは、受光素子の個数に対
して非直線性誤差が最小になるようなデユーティ比に設
定されているため、変位変換器の検出精度を向上できる
。
して非直線性誤差が最小になるようなデユーティ比に設
定されているため、変位変換器の検出精度を向上できる
。
第1図は本発明にかかる変位変換器の一実施例の構成図
、第2図及び第4図はデユーティ比と非直線誤差の関係
の一例を示した図、第3図は透光スリットとフォトダイ
オードの配列関係の一例を示した図、第5図はフォトダ
イオードの個数と最適デユーティ比の関係を示した図、
第6図は透光スリットに投t)1′、:5れる光の光強
度関数を示した因、第7図はフォトダイオードが受ける
光の強度とコード板の位置の関係を示した図、第8図は
従来の変位変換器に生じる非直線誤差の分布を示した図
である。 1・・・コード板、11・・・透光スリット、2・・−
光源、3・・・受光素子、4・・・増幅器、5・・・バ
ンドパスフィルタ、SW+〜S W e・・・スイッチ
。 )・− 人 代理人 弁理士 小沢信助 : \、1 ) 噴
、N
く榊圃濠蕩刈9 525図 第7図 し 4置 第6図 虐
、第2図及び第4図はデユーティ比と非直線誤差の関係
の一例を示した図、第3図は透光スリットとフォトダイ
オードの配列関係の一例を示した図、第5図はフォトダ
イオードの個数と最適デユーティ比の関係を示した図、
第6図は透光スリットに投t)1′、:5れる光の光強
度関数を示した因、第7図はフォトダイオードが受ける
光の強度とコード板の位置の関係を示した図、第8図は
従来の変位変換器に生じる非直線誤差の分布を示した図
である。 1・・・コード板、11・・・透光スリット、2・・−
光源、3・・・受光素子、4・・・増幅器、5・・・バ
ンドパスフィルタ、SW+〜S W e・・・スイッチ
。 )・− 人 代理人 弁理士 小沢信助 : \、1 ) 噴
、N
く榊圃濠蕩刈9 525図 第7図 し 4置 第6図 虐
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 コード板に形成されていて所定ピッチで配列された複数
個の透光スリットに光を投射し、この透光スリットを通
過した光を複数個の受光素子で検出し、この検出光をも
とにして前記コード板の変位を求める変位変換器におい
て、 前記透光スリットの配列の1ピッチ内にある受光素子が
奇数個の場合は、1ピッチ内で透光スリットが占める比
率を50%に設定し、偶数個の場合は、前記比率を素子
数が多くなるに従って50%に近付けるように設定した
ことを特徴とする変位変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160496A JPS6316221A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 変位変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160496A JPS6316221A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 変位変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316221A true JPS6316221A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15716192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61160496A Pending JPS6316221A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 変位変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316221A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0445387U (ja) * | 1990-08-06 | 1992-04-17 | ||
| JP2006071624A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学位置測定装置 |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP61160496A patent/JPS6316221A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0445387U (ja) * | 1990-08-06 | 1992-04-17 | ||
| JP2006071624A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学位置測定装置 |
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