JPS63163802A - カラ−固体撮像装置 - Google Patents
カラ−固体撮像装置Info
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- JPS63163802A JPS63163802A JP61312301A JP31230186A JPS63163802A JP S63163802 A JPS63163802 A JP S63163802A JP 61312301 A JP61312301 A JP 61312301A JP 31230186 A JP31230186 A JP 31230186A JP S63163802 A JPS63163802 A JP S63163802A
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Links
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラー固体撮像装置に関するものである。
従来の技術
従来のカラー固体撮像装置について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は、従来のカラー固体撮像装置の断面を示すもの
である。
である。
Ｐ型シリコン基板１に公知の所定の方法により選択拡散
、エツチングなどを行なったＰＮ接合光電変換部２、素
子分離用シリコン酸化膜３、遮光用アルミ膜４、パッシ
ベーション膜としての堆積シリコン酸化膜６である。６
は、被染色膜として感光性をもたせたゼラチンを塗布し
、フォトリソ法により所定の光電変換部上に被染色膜を
残し、所定の染料たとえば赤色染料でもって染色させた
着色膜である。７は、着色膜間の防染用としてのアクリ
ル系透明樹脂からなる中間膜である。８′ｒ１、着色膜
６と同様の方法により形成した被染色膜で、染色として
たとえば緑色染料によって染色した着色膜である。９は
、中間膜７と同様の着色膜間の防染用としてのアクリル
系透明樹脂からなる中間膜である。１０は、着色膜６，
８と同様の方法によって形成した被染色膜で、染色とし
てたとえば青色染料で染色した着色膜である。１１は、
カラー固体撮像装置を保護するためのアクリル系透明樹
脂からなる保護膜である。
、エツチングなどを行なったＰＮ接合光電変換部２、素
子分離用シリコン酸化膜３、遮光用アルミ膜４、パッシ
ベーション膜としての堆積シリコン酸化膜６である。６
は、被染色膜として感光性をもたせたゼラチンを塗布し
、フォトリソ法により所定の光電変換部上に被染色膜を
残し、所定の染料たとえば赤色染料でもって染色させた
着色膜である。７は、着色膜間の防染用としてのアクリ
ル系透明樹脂からなる中間膜である。８′ｒ１、着色膜
６と同様の方法により形成した被染色膜で、染色として
たとえば緑色染料によって染色した着色膜である。９は
、中間膜７と同様の着色膜間の防染用としてのアクリル
系透明樹脂からなる中間膜である。１０は、着色膜６，
８と同様の方法によって形成した被染色膜で、染色とし
てたとえば青色染料で染色した着色膜である。１１は、
カラー固体撮像装置を保護するためのアクリル系透明樹
脂からなる保護膜である。
以上のような構成によりカラー固体撮像装置は、形成さ
れている。
れている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、被染色膜のパター
ンエッヂが常に光電変換部分間の素子分離シリコン酸化
膜３上になり、フォトリソ法によって被染色膜を形成す
る際、素子分離シリコン酸化膜３上の遮光用アルミ膜４
によって過剰露光となり被染色膜のパターンのスソが広
がり、隣の光電変換部に被染色膜がはいり込み、色分離
特性に極めて悪影響を与えていた。したがって、この被
染色膜のパターンエッヂ部の過剰露光を極力防ぐことが
重要課題となっていた。
ンエッヂが常に光電変換部分間の素子分離シリコン酸化
膜３上になり、フォトリソ法によって被染色膜を形成す
る際、素子分離シリコン酸化膜３上の遮光用アルミ膜４
によって過剰露光となり被染色膜のパターンのスソが広
がり、隣の光電変換部に被染色膜がはいり込み、色分離
特性に極めて悪影響を与えていた。したがって、この被
染色膜のパターンエッヂ部の過剰露光を極力防ぐことが
重要課題となっていた。
本発明は、この課題を解決するためになされたもので被
染色膜のパターンエッヂ部の過剰露光を減少させること
ができるカラー固体撮像装置を提供するものである。
染色膜のパターンエッヂ部の過剰露光を減少させること
ができるカラー固体撮像装置を提供するものである。
問題点を解決するための手段
本発明のカラー固体撮像装置は、パッンベーション膜上
に紫外光領域のみ吸収する膜を設け、その上にカラーモ
ザイクフィルタを設けることで構成されている。
に紫外光領域のみ吸収する膜を設け、その上にカラーモ
ザイクフィルタを設けることで構成されている。
作用
この構成によって、遮光用アルミ膜から反射される露光
が紫外光領域のみ吸収する膜によりさえぎられる。その
ため被染色膜のパターンエッヂが過剰露光とならず、パ
ターンエッヂの広がりが抑えられる。
が紫外光領域のみ吸収する膜によりさえぎられる。その
ため被染色膜のパターンエッヂが過剰露光とならず、パ
ターンエッヂの広がりが抑えられる。
実施例
以下に、本発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例のカラー固体撮像装置の断
面を示すものでちる。
面を示すものでちる。
Ｐ型シリコン基板１００に公知の所定の方法により選択
拡散、エツチングなどを行ったＰＭ接合光電変換部１０
１．素子分離用シリコン酸化膜１０２、遮光用アルミ膜
１０３．パフシベーション膜としての堆積シリコン酸化
膜１０４である。
拡散、エツチングなどを行ったＰＭ接合光電変換部１０
１．素子分離用シリコン酸化膜１０２、遮光用アルミ膜
１０３．パフシベーション膜としての堆積シリコン酸化
膜１０４である。
１０５は、アクリル系透明樹脂に紫外光吸収剤を添加し
て形成した紫外光吸収膜である。ｊ０６は、被染色膜と
して感光性をもたせたゼラチンを塗布し、フォトリン法
により所定の光電変換部上のみ被染色膜を残し、所定の
染料たとえば赤色染料でもって染色させた着色膜である
。１０７は、着色膜間の防染用としてのアクリル系透明
樹脂からなる中間膜である。１０８は、１０６着色膜と
同様の方法によって形成した被染色膜で、染色としてた
とえば緑色染料によって染色した着色膜である。
て形成した紫外光吸収膜である。ｊ０６は、被染色膜と
して感光性をもたせたゼラチンを塗布し、フォトリン法
により所定の光電変換部上のみ被染色膜を残し、所定の
染料たとえば赤色染料でもって染色させた着色膜である
。１０７は、着色膜間の防染用としてのアクリル系透明
樹脂からなる中間膜である。１０８は、１０６着色膜と
同様の方法によって形成した被染色膜で、染色としてた
とえば緑色染料によって染色した着色膜である。
１０９は、１０７中間膜と同様の着色膜間の防染用とし
てのアクリル系透明樹脂からなる中間膜である。１１０
は、着色膜１０６ 、１０８と同様の方法してよって形
成した被染色膜で、染色としてたとえば青色染料でもっ
て染色した着色膜である。
てのアクリル系透明樹脂からなる中間膜である。１１０
は、着色膜１０６ 、１０８と同様の方法してよって形
成した被染色膜で、染色としてたとえば青色染料でもっ
て染色した着色膜である。
１１１ば、カラー固体撮像装置を保護するためアクリル
系透明樹脂からなる保護膜である。
系透明樹脂からなる保護膜である。
以上のように構成されたカラー固体撮像装置では、着色
膜１０６，１０８，１１０の被染色膜をフォトリン法で
形成する際、遮光用アルミ膜１０３面上に入射する。ま
た、遮光用アルミ膜１０３面上から反射するパターン形
成での露光が紫外光吸収剤１０５によって吸収されるた
め、被染色膜のパターンエッヂ付近が過剰露光とならず
、パターンエッヂの拡がりを抑えることができる。
膜１０６，１０８，１１０の被染色膜をフォトリン法で
形成する際、遮光用アルミ膜１０３面上に入射する。ま
た、遮光用アルミ膜１０３面上から反射するパターン形
成での露光が紫外光吸収剤１０５によって吸収されるた
め、被染色膜のパターンエッヂ付近が過剰露光とならず
、パターンエッヂの拡がりを抑えることができる。
発明の効果
以上のように、本発明は、従来のカラー固体撮像装置の
問題点であった被染色膜のパターンエッヂの拡がりを抑
えることができ、本発明が、カラー固体撮像装置に与え
る効果は犬なるものがある。
問題点であった被染色膜のパターンエッヂの拡がりを抑
えることができ、本発明が、カラー固体撮像装置に与え
る効果は犬なるものがある。
第１図は、本発明のカラー固体撮像装置の断面図、第２
図は、従来のカラー固体撮像装置の断面図である。 １００・・・・・・Ｐ型ンリコン基板、１０１・・・・
・光電変換部、１０３・・パ遮光用アルミ膜、１０５°
°゛・紫外光吸収膜、１０６，１０８，１１０・“゛着
色膜、１０７，１０９・・・・・中間膜＝１１１−”°
保護膜。
図は、従来のカラー固体撮像装置の断面図である。 １００・・・・・・Ｐ型ンリコン基板、１０１・・・・
・光電変換部、１０３・・パ遮光用アルミ膜、１０５°
°゛・紫外光吸収膜、１０６，１０８，１１０・“゛着
色膜、１０７，１０９・・・・・中間膜＝１１１−”°
保護膜。
Claims (1)
- 半導体基板と、前記の基板表面に設けられた複数の光電
変換部と、前記光電変換部上にパッシベーション膜を介
して設けられた紫外光領域のみ吸収する膜と、その上部
に設けられた有機材料よりなるカラーモザイクフィルタ
とを備えていることを特徴とするカラー固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61312301A JPS63163802A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | カラ−固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61312301A JPS63163802A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | カラ−固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63163802A true JPS63163802A (ja) | 1988-07-07 |
Family
ID=18027602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61312301A Pending JPS63163802A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | カラ−固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63163802A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0284766A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-26 | Toppan Printing Co Ltd | カラー固体撮像装置 |
| JPH02156668A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-15 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置 |
| JPH04235504A (ja) * | 1991-01-10 | 1992-08-24 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| WO2010074716A1 (en) * | 2008-12-15 | 2010-07-01 | Eastman Kodak Company | Ultraviolet light filter layer in image sensors |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597318A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 色光分解フイルタおよびその製造法 |
| JPH02264005A (ja) * | 1989-06-16 | 1990-10-26 | Art Neichiyaa:Kk | 増毛用毛髪 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61312301A patent/JPS63163802A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597318A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 色光分解フイルタおよびその製造法 |
| JPH02264005A (ja) * | 1989-06-16 | 1990-10-26 | Art Neichiyaa:Kk | 増毛用毛髪 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0284766A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-26 | Toppan Printing Co Ltd | カラー固体撮像装置 |
| JPH02156668A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-15 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置 |
| JPH04235504A (ja) * | 1991-01-10 | 1992-08-24 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| WO2010074716A1 (en) * | 2008-12-15 | 2010-07-01 | Eastman Kodak Company | Ultraviolet light filter layer in image sensors |
| CN102246300A (zh) * | 2008-12-15 | 2011-11-16 | 美商豪威科技股份有限公司 | 图像传感器内的紫外光滤光层 |
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