JPS6316445U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6316445U JPS6316445U JP10987786U JP10987786U JPS6316445U JP S6316445 U JPS6316445 U JP S6316445U JP 10987786 U JP10987786 U JP 10987786U JP 10987786 U JP10987786 U JP 10987786U JP S6316445 U JPS6316445 U JP S6316445U
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- JP
- Japan
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- die
- measured
- testing device
- reflected light
- placing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のダイせん断試験装置に関する
一実施例を示すものであり、同図ａは上面図、同
図ｂは正面図である。第２図は本考案のダイせん
断試験装置に関する他の実施例を示すものであり
、同図ａは上面図、同図ｂは正面図、同図ｃ，ｄ
，ｅは側面の傾斜の異なるダイに関する正面図で
ある。 １……光学的ダイ側面垂直度検出部、２……光
源、３……反射光透過ミラー、４……スリツト、
５……照射光、６……被試験ダイ、７……測定側
面、８……被測定反射光、９……反射光量測定部
、１０……ステム、１１……回転ステージ、１２
……台座、１３……無効反射光、１４……光源、
１５……スリツト、１６……被測定ダイ、１７…
…受光部、１８……ステム、１９……回転ステー
ジ、２０……スライドステージ、２１……台座、
２２……ダイ、２３……ダイ、２４……ダイ。
一実施例を示すものであり、同図ａは上面図、同
図ｂは正面図である。第２図は本考案のダイせん
断試験装置に関する他の実施例を示すものであり
、同図ａは上面図、同図ｂは正面図、同図ｃ，ｄ
，ｅは側面の傾斜の異なるダイに関する正面図で
ある。 １……光学的ダイ側面垂直度検出部、２……光
源、３……反射光透過ミラー、４……スリツト、
５……照射光、６……被試験ダイ、７……測定側
面、８……被測定反射光、９……反射光量測定部
、１０……ステム、１１……回転ステージ、１２
……台座、１３……無効反射光、１４……光源、
１５……スリツト、１６……被測定ダイ、１７…
…受光部、１８……ステム、１９……回転ステー
ジ、２０……スライドステージ、２１……台座、
２２……ダイ、２３……ダイ、２４……ダイ。
Claims (1)
- ダイせん断試験装置に被測定素子を載置する回
転ステージと光学式ダイ側面垂直度検出機構とを
有することを特徴とする半導体装置試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10987786U JPS6316445U (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10987786U JPS6316445U (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316445U true JPS6316445U (ja) | 1988-02-03 |
Family
ID=30988385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10987786U Pending JPS6316445U (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316445U (ja) |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP10987786U patent/JPS6316445U/ja active Pending
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