JPS63174158U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63174158U JPS63174158U JP1518287U JP1518287U JPS63174158U JP S63174158 U JPS63174158 U JP S63174158U JP 1518287 U JP1518287 U JP 1518287U JP 1518287 U JP1518287 U JP 1518287U JP S63174158 U JPS63174158 U JP S63174158U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- faraday cup
- rotary table
- code plate
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案に係る電子ビーム描画装置の構
成例を示す断面図、第２図と第３図は本考案の動
作を説明するための図、第４図は電子ビーム描画
装置でパターンを描画しているところを示す図、
第５図と第６図は従来例を示す図、第７図はフア
ラデーカツプの構成例を示す図である。 １…ロータリステツパ、２…回転テーブル、３
…コード板、４…上下アクチユエータ、５…ガイ
ド、２０…フアラデーカツプ、２１…アーム。
成例を示す断面図、第２図と第３図は本考案の動
作を説明するための図、第４図は電子ビーム描画
装置でパターンを描画しているところを示す図、
第５図と第６図は従来例を示す図、第７図はフア
ラデーカツプの構成例を示す図である。 １…ロータリステツパ、２…回転テーブル、３
…コード板、４…上下アクチユエータ、５…ガイ
ド、２０…フアラデーカツプ、２１…アーム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 露光対象のコード板を乗せる回転テーブルと、
この回転テーブルを回転させるロータリステツパ
と、コード板へ電子ビームを照射する手段と、こ
の電子ビームを検出するフアラデーカツプと、こ
のフアラデーカツプからの信号により電子ビーム
の強さとビーム焦点位置を制御する手段を備えた
電子ビーム描画装置において、 ロータリステツパを上下に移動させる駆動機構
４，５と、 回転軸を中心としてフアラデーカツプを回転さ
せることができ、フアラデーカツプの穴を電子ビ
ームの照射軸と一致させることができ、かつこの
際フアラデーカツプの表面位置が、回転テーブル
上に配置されたコード板の表面位置と同じ高さと
なるようにすることができるアームと、 を備えたことを特徴とする電子ビーム描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1518287U JPH0548355Y2 (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1518287U JPH0548355Y2 (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174158U true JPS63174158U (ja) | 1988-11-11 |
| JPH0548355Y2 JPH0548355Y2 (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=30805876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1518287U Expired - Lifetime JPH0548355Y2 (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548355Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP1518287U patent/JPH0548355Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0548355Y2 (ja) | 1993-12-24 |