JPS63174864A - 磁気デイスクのバ−ニツシユ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発司は、磁気ディスクを回転さじながら該磁気ディス
クの表面を研磨テープで研磨する磁気ディスクのバーニ
ッシュ装置に関するものである。

（従来の技術） 磁気ディスクの記録媒体としての機能を十分に発揮させ
るためには、磁気ディスクの表面粗さを所定値以下にす
る必要がある。このため、磁気ディスクの製造工程にお
いては、バーニッシュ装置を用い、磁気ディスクを回転
させながら該磁気ディスクの表面を研磨テープで研磨す
る作業が行われる。上記バーニッシュ装置としては、研
磨テープをパツキングローうにより磁気ディスクに圧接
するようにしたものが知られており、また上記バッキン
グローラは、一般に、磁気ディスクの回転面と略平行な
、該磁気ディスクの半径方向に延びる軸を中心に回転す
るようになっている。

ところが、このようなバーニッシュ装置にあっては、ｒ
ＩＩ′ｌ磨の際に研磨テープおよび磁気ディスクから削
られた研磨粉、あるいは空気中の塵埃、さらには研磨テ
ープ製造中に研磨テープに何首した異物等が、研磨テー
プと磁気ディスクの間あるいは研磨テープとバッキング
ローラの間に挾みこまれるため、研磨中に磁気ディスク
表面に円周方向に延びるすし状の傷を生起させ、記録媒
体としての機能に支障を来たす原因となっている。

このため、従来、例えば特開昭５９−１１７７３５ｊ３
に開示されているように、研磨の際、超音波振動子等を
用いてバッキングローラを半径方向にオシレートさせ、
これにより磁気ディスク表面に発生した傷を磨耗、消失
せしめる工夫がなされている。

しかしながら、このようにバッキングローラをオシレー
トさせる機構は、複雑かつ高価であり、しかも研磨テー
プが蛇行し、研磨テープと磁気ディスクの接触圧力を一
定に保つことができず、研磨した磁気ディスクの表面の
面状が不安定なものとなる。さらに、上記バーニッシュ
装置にあっては、バッキングローラをオシレートさせて
も傷の生起原因たる異物等はこれに伴ってオシレートす
るのみであって、積極的に異物等が除去される構成には
なっていないため、磁気ディスク表面に一旦発生した傷
を磨耗、消失せしめる効果はあっても傷の発生自体を防
止するのには十分でなり、シたがって、傷の発生後でか
つこれが磨耗、消失する前に研磨作業が終了すると磁気
ディスク表面には傷が残ってしまうこととなる。

本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、
ω１磨の際に磁気ディスク表面に発生した傷を磨耗、消
失せしめることができるのみならず傷の発生自体を最小
限に押えることができ、しがもこれを簡単かつ安価な構
造で実現することのできる磁気ディスクのバーニッシュ
装置を提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明による磁気ディスクのバーニッシュ装置は、バッ
キングローラの外周面にスパイラル状の押圧部を形成し
てこのバッキングローラを回転させることにより、バッ
キングローラをオシレートさせたのと同等の作用を持た
せ、かつスパイラル状の押圧部に沿って磁気ディスクの
半径方向に異物等を除去する作用をも持たせるようにし
たものである。すなわち、磁気ディスクを回転させなが
ら該磁気ディスクの表面を研磨テープで研磨するバーニ
ッシュ装置であって、前記磁気ディスクの回転面と略平
行な該磁気ディスクの半径方向に延びる軸を中心に回転
する、外周面にスパイラル状の押圧部が設けられたバッ
キングローラを備え、このバッキングローラの前記押圧
部により前記研磨テープを前記磁気ディスクの表面に圧
接するようにしてなることを特徴とするものである。

上記「スパイラル状」とは、バッキングローラの外周面
において該バッキングローラの回転方向に対して傾斜し
ている状態貴意味するものであって、その傾斜の度合は
特に限定されるものではな（、また、その傾斜の度合は
バッキングローラの外周面全体にわたって一定であって
もよいし変化するものであってもよい。

上記［押圧部Ｊは、例えばバッキングローラの外周面に
スパイラル状の凸部を一体または別体で形成することに
よってこれを構成してもよいし、あるいはバッキングロ
ーラの外周面にエア噴出口をスパイラル状に配し、この
エア噴出口からエアを噴出させることによってこれを構
成してもよく、要するに研磨テープを磁気ディスクの表
面に圧接することが可能なものであれば、特定の構成に
限定されるものではない。また「押圧部」はスパイラル
状に形成されるものであるが、このスパイラルは１条で
あってもよいし、あるいは多条であってもよい。

（作　　用） 上記構成により、バッキングローラを回転させ、このバ
ッキングローラの押圧部で研磨テープを回転中に磁気デ
ィスクの表面に圧接すると、研磨テープによる磁気ディ
スク表面の研磨がなされる。

バッキングローラは抑圧部がスパイラル状に形成されか
つこれが回転しているので、研磨テープとバッキングロ
ーラの接触部位はバッキングローラの回転と共に磁気デ
ィスクの半径方向に移動し、これに伴いｒＪＩｓテープ
が磁気ディスク表面に圧接される位置も磁気ディスクの
半径方向に移動する。

したがって、研磨の際に研磨テープと磁気ディスクの間
に挾み込まれた異物等は、上記圧接部位の移動により磁
気ディスクの半径方向に移動せしめられ、ｒｉｏｔ　ｓ
テープと磁気ディスクの間から除去されることとなる。

このように、異物等が容易に除去されるため、磁気ディ
スクの表面に傷が発生する可能性は非常に小さいが、万
−傷が発生した場合であっても、上記圧接部位が常時磁
気ディスクの半径方向に移動するため、バッキングロー
ラを半径方向にオシレートさせたのと同等の効果で傷が
磨耗、消失することとなる。また、研磨テープとバッキ
ングローラの間に挾み込まれた異物等についても、研磨
テープとバッキングローラとの接触部位が磁気ディスク
の半径方向に移動するのに伴って半径方向に移動せしめ
られ、研磨テープとバッキングローラとの間から除去さ
れる。異物等が微小なものであれば、あるいはバッキン
グローラの外周面上の隣り合う押圧部の間に入り込んだ
ままとなることも考えられるが、この場合にも異物等に
よって研磨テープが磁気ディスク側に突出して傷を生起
させるような事態は回避されることとなる。

（発明の効果） したがって、本発明によれば、研磨時における傷の発生
を最小限に押えることができ、万一発生した傷に対して
もバッキングローラをオシレートしたのと同等の効果で
これを磨耗、消失せしめることができる。また、研磨の
際、研磨テープの磁気ディスク半径方向の位置は一定で
あるため研磨テープが蛇行することがなく、研磨テープ
と磁気ディスクの接触圧力を一定に保持することができ
、したがって研磨された磁気ディスクの表面の面状品質
も高いものが得られる。しかも、上記効果をバッキング
ローラの外周面にスパイラル状の抑圧部を設けただけの
簡単かつ安価な構造で達成することができる。

（実　施　例） 以下添付図面を参照しながら本発明の実施例について詳
述する。

第１および２図は、本発明による磁気ディスクのバーニ
ッシュ装置の一実施例を示す正面図および斜視図である
。

磁気ディスク１（フレキシブルディスク）は、記録再生
に使用される表面すなわち研磨を必要とする磁性面１ａ
より内方の最内周部１ｂが回転軸２の先端のバキューム
チャック２ａによって保持され、図示しない駆動機構で
回転軸２が図示矢印方向に回転駆動されるのに伴い例え
ば１０００〜３０００ｒｐｍで高速回転する。

上記回転軸２の側方には鉛直基板３が配設され、この鉛
直基板３には、回転中の磁気ディスク１の上方に位置し
てエアノズル４が固定され、下方に位置して円柱状のバ
ッキングローラ５およびガイドローラ６．７がそれぞれ
回転可能に支持されている。

バッキングローラ５は、磁気ディスク１の回転面と平行
な、該磁気ディスク１の半径方向に延びる軸を中心に、
図示しないエアスピンドルにて図示矢印方向に例えば７
００００〜２０００００ｒｐｍで高速回転するようにな
っている。そして、このバッキングローラ５の外周面の
上端部には、研磨テープ８が磁気ディスク１の表面１ａ
に圧接される砥粒面８ａを上にして供給されるようにな
っている。研磨テープ８は、図示しない送り機構によっ
て図示矢印方向に例えば１０〜２０Ｍ１／ｓで間歇送り
されるとともにガイドローラ６．７により所定の張力を
持ってパツキングロー５５に巻き掛けられるようになっ
ている。

一方、エアノズル４は、第３図に側断面図で示すように
、バッキングローラ５の軸と同一鉛直面内に延びる（す
なわち磁気ディスク１の半径方向に延びる）吹出口９を
備えていて、この吹出口９から下方にエアを吹き出すこ
とにより、磁気ディスク１の研磨を必要とする表面１ａ
を、パツキングロー５５によりバックアップされた研磨
テープ８の砥粒面８ａに圧接するようになっている。

上記パツキングロー５５の外周面には、スパイラル状の
押圧部たるローレット目１０が多条で形成されている。

ローレット目１０のピッチは特に限定されるものではな
いが、例えば０．５〜１．５ＩＭＲで形成される。なお
、Ｏ−レット目１０は、バッキングローラ５に一体的に
形成するものに限定されず、例えば、バッキングローラ
５に硬線を巻き付けて形成してもよく、この場合φ０．
０５〜０．３ＩＩＩＩＩ程度の硬線を巻き付けるように
すればさらに細かいピッチとすることが可能である。

第４図は、第１図における研磨テープ８と磁気ディスク
１との接触部分の詳細断面図である。

研磨テープ８は、所定の張力を持ってバッキングローラ
５に巻き掛けられているので、バッキングローラ５の外
周面に形成されたローレット目１０の形状に沿って波状
に配されることとなる。そしてこの研磨テープ８は、エ
アノズル４の吹出口９から吹き出されたエアの風圧によ
り下方に付勢された磁気ディスク１の表面１ａに、該磁
気ディスク１の半径方向の複数箇所においてローレフト
目１０の半径方向のピッチ間隔ごとに点接触する。こう
して研磨テープ８と半径方向に複数点で接触した磁気デ
ィスク１が回転すると、磁気ディスク１は同心円状の研
磨軌跡を描くように研磨されることとなるが、このとき
パツキングロー５５も回転しているため磁気ディスク１
と研磨テープ８との接触点は半径方向外方にも移動し、
したがって、磁気ディスク１はうず巻状の研磨軌跡を描
いて研磨されることとなる。

第５図は、第１図を下方から見た図であって、研磨テー
プ８により研磨された磁気ディスク１の表面１ａの研磨
軌跡を示す図である。

研磨軌跡は、複数本のうず巻曲線１１となって現れるが
、各うず巻曲線１１の磁気ディスク１の半径方向に対す
る傾斜角は、磁気ディスク１の表面１ａの周速度および
バッキングローラ５のローレット目１０の磁気ディスク
１の半径方向の移動速度によって定まるものである。し
たがって、各うず巻曲線１１の形状は磁気ディスク１の
回転速度およびパツキングロー５５の回転速度によって
変化し、磁気ディスク１の回転速度が減少するほど、あ
るいはバッキングローラ５の回転速度が増大するほど各
うず巻曲線１１は放射状に近くなり、逆の場合には同心
円状に近くなる。

ところで、磁気ディスク１の研磨作業は例えばＱ、５秒
ｆｉ！度の短時間で行われるが、この時間内に磁気ディ
スク１の表面１ａを全周にわたり内径から外径まで研磨
を要する部分すべてを研磨するためには、磁気ディスク
１およびバッキングローラ５の回転速度をそれぞれ下式
のように所定以上の値に設定する必要がある。すなわち
、磁気ディスク１の最低回転速度ｎ　Ｏａｋｉｎは ｎ　ＤＷｉｎ≧□ に設定する必要があり、またバッキングローラ５の最低
回転速度ｎ　Ｒａｋｉｎは ｏ　−Ｄｘ ｎ　Ｒ１ｎ≧　−一一一一一一一一一一２πｄｔｔａｎ
θ に設定する必要がある。ここに、 ｔ；研磨時間 ｄ　：パッキングローラ５の外径 θ：パッキングローラ５のローレット目１０の、磁気デ
ィスク１の回転方向に対する傾斜角 ＤＯ＝磁気ディスク１の表面１ａの外径ＤＸ：磁気ディ
スク１の表面１ａの内径である。−例として ｔ　−０，５秒 ｄ−３０履 θ−４５゜ ［）Ｏ＝８５．８ｓ＋ Ｄｔ　−４１，０゜ である場合には、 ｎ　Ｏｍｉｎ≧１２０ｒｌ）Ｉｌｌ ｎ　Ｒ１ｔｎ≧２８．５２ｒｐｍ に設定する必要がある。

磁気ディスク１およびバッキングローラ５の回転速疾を
上記最低回転速度より増大させるほど研磨軌跡であろう
ず巻曲線１１の本数が増えるので、研磨された磁気ディ
スク１の表面１ａの面状品質を向上させることができる
が、これに加えてバッキングローラ５のローレット目１
０のピッチを小さくするようにすれば、うず巻曲１ｊｌ
１１の本数をさらに増やすことができ、これにより面状
品質の一府の向上を図ることができる。

上記のようにして磁気ディスク１の表面１ａの研磨がな
されるわけであるが、研磨中に、例えば第４図に示すよ
うに、研磨テープ８と磁気ディスク１の間に異物１２が
、研磨テープ８とバッキングローラ５の間に異物１３が
挾み込まれることがある。

しかしながら、バッキングローラ５の外周面上端部にお
けるローレット目１０の研磨テープ８を磁気ディスク１
に圧接する圧接部位が、磁気ディスク１の半径方向外方
に移動するため、異物１３は隣り合うローレフト１１０
間の凹部に、異物１２はバッキングローラ５にバックア
ップされて磁気ディスク１に圧接された研磨テープ８の
隣り合う圧接部位間の凹部にそれぞれ挾まれたまま、圧
接部位が磁気ディスク１の半径方向に移動するのに伴っ
て半径方向外方に移動し、研磨テープ８とバッキングロ
ーラ５の間、および研磨テープ８と磁気ディスク１の間
からはじぎ出されることとなる。

異物１２が挾み込まれてからはじき出されるまでの時間
は最も長くてもローレツ］・目１０が磁気ディスク１の
内径から外径まで移動するのに要する時間であるから、
バッキングローラ５が高速回転していることに鑑みれば
、極く短時間であり、異物１２の除去は瞬間的になされ
ることとなる。したがって、異物１２により磁気ディス
ク１の表面１ａに（口が発生することはほとんど考えら
れず、仮に発生したとしても補優かなものであり、この
ような傷は、すでに述べた複数のうず巻曲線１１により
形成される研磨軌跡により容易に磨耗、消失することと
なる。異物１３についても同様であるが、異物１３が研
磨テープ８とバッキングローラ５の隙間の大きさより小
さい場合等には瞬時に除去されないこともあるが、異物
１３は直接磁気ディスク１に接触するものではなく、ま
たこれが所定以下の大きさである場合には、図からも明
らかなように、研磨テープ８を突出させて磁気ディスク
１の表面１ａに傷をつ（〕るおそれはない。

以上詳述したように、本実施例によれば研磨時における
磁気ディスク１の表面１ａの傷の発生を最小限に押える
ことができ、万一発生した傷に対しても容易にこれを磨
耗、消失させることが可能となる。

なお、本実施例においては、第５図に示すような向きの
うず巻曲線１１の研磨軌跡を形成させ、かつ第４図に示
すように異物１２．１３を磁気ディスク１の半径方向外
方にはじき出す場合を想定して、磁気ディスク１および
研磨テープ８の回転方向を第５図に示す向きとしたが、
それぞれ図示と逆向きの回転としても同等の作用、効果
を１りることができるものである。

また、本実施例においては、バッキングローラ５を１本
使用した場合について述べたが、バッキングローラ５を
複数本紀して１枚の磁気ディスク１を複数箇所でｒＩＩ
ｌ磨するようにすれば、面状品質を一層向上させること
ができる。この場合、追加配置するバッキングローラ５
の回転方向またはそのローレット目の方向を最初のバッ
キングローラ５と逆にすれば、磁気ディスク１の表面１
ａに形成されるうず巻曲線１１による研磨軌跡を逆向き
のパターンとすることができ、これにより面状品質をよ
り一層向上させることができる。

本実施例に示したバッキングローラ５に代えて第６図に
示すようなバッキングローラ５′を採用づるようにして
もよい。このバッキングローラ５′は、外周面にスパイ
ラル状のスリット１４が複数形成されていて、これらス
リット１４からエアが噴出されるようになっている。し
たがって、バッキングローラ５′に研磨テープ８が巻き
掛けられた部分においては、スリット１４からの噴出エ
アにより研磨テープ８がバッキングローラ５′の半径方
向外方に押圧されて浮上することとなり、バッキングロ
ーラ５′の外周面の上端部においては、スリット１４か
らの噴出エアにより研磨テープ８が磁気ディスク１の表
面１ａに圧接されることとなる。

すなわら、エアを噴出するスリット１４がバッキングロ
ーラ５′の抑圧部を構成することとなる。このようなバ
ッキングローラ５′を採用することにより、上記実施例
と同等の効果が得られる上、バッキングローラ５′の研
磨テープ８に対する押圧作用がエアによるものゆえ緩や
かになされ、このため研磨された磁気ディスク１の表面
１ａの面状品質をさらに向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気ディスクのバーニッシュ装置
の一例を示す正面図、 第２図は該装置の斜視図、 第３図は第１図の■−■線所部所面 図４図は第１図の要部詳細断面図、 第５図は第１図のＶ方向矢視図、 第６図はＲＨＭｌのバッキングローラの他の例を示す第
３図と同様の図である。 １・・・磁気ディスク ５．５′・・・バッキ、ングローラ ８・・・研磨テープ　　　　１０・・・ローレット目１
４・・・スリット 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 磁気ディスクを回転させながら該磁気ディスクの表面を
   研磨テープで研磨するバーニッシュ装置であって、 前記磁気ディスクの回転面と略平行な該磁気ディスクの
   半径方向に延びる軸を中心に回転する、外周面にスパイ
   ラル状の押圧部が設けられたバッキングローラを備え、
   このバッキングローラの前記押圧部により前記研磨テー
   プを前記磁気ディスクの表面に圧接するようにしてなる
   ことを特徴とする磁気ディスクのバーニッシュ装置。