JPS63183636A - 薄膜光導波路型光ヘツド - Google Patents
薄膜光導波路型光ヘツドInfo
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- JPS63183636A JPS63183636A JP62223947A JP22394787A JPS63183636A JP S63183636 A JPS63183636 A JP S63183636A JP 62223947 A JP62223947 A JP 62223947A JP 22394787 A JP22394787 A JP 22394787A JP S63183636 A JPS63183636 A JP S63183636A
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- optical
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
- G11B7/08547—Arrangements for positioning the light beam only without moving the head, e.g. using static electro-optical elements
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光デイスクメモリシステムに用いられる記録
、再生、消去用光学ヘッドに係り、特に薄膜光導波路を
用いた光学ヘッドに関する。
、再生、消去用光学ヘッドに係り、特に薄膜光導波路を
用いた光学ヘッドに関する。
情報化社会が進むにつれて、社会で取扱われる情報量は
確実に増加しつつある。このため、これらの情報を記憶
する情報記録装置の記憶容量の増大化の要求も強まって
いる。各種の情報を記録または再生するシステムとして
、磁気的な方法や光学的な方法を利用したものが実用化
されているが、この中でメモリ媒体として光ディスクを
用いた光デイスクシステムは、従来の磁気媒体を用した
システムに比べ１００倍以上の高密度記録が可能であり
、また非接触で高品位の再生信号が得られるという優れ
た特徴を持っている。このような光記録媒体を利用した
メモリシステムとして、ビデオディスク、ディジタルオ
ーディオディスクなどがある。
確実に増加しつつある。このため、これらの情報を記憶
する情報記録装置の記憶容量の増大化の要求も強まって
いる。各種の情報を記録または再生するシステムとして
、磁気的な方法や光学的な方法を利用したものが実用化
されているが、この中でメモリ媒体として光ディスクを
用いた光デイスクシステムは、従来の磁気媒体を用した
システムに比べ１００倍以上の高密度記録が可能であり
、また非接触で高品位の再生信号が得られるという優れ
た特徴を持っている。このような光記録媒体を利用した
メモリシステムとして、ビデオディスク、ディジタルオ
ーディオディスクなどがある。
これらのシステムに用いられる光学ヘッドの基本的な構
成を第１３図に示す。図において、半導体レーザ１より
発射されたレーザ光は、コリメートレンズ２によって平
行光線になり、ビームスプリッタ３を直進し、さらに１
／４波長板４．対物レンズ５を通って光デイスク６上に
合焦して光スポット７を形成する。この光スポット７は
、光ディスク６から反射して再び対物レンズ５．１／４
波長板４を通ってハーフミラ−であるビームスプリッタ
３で直角方向に反射された後、シリンドリカルレンズ８
，９を通り、光センサ１０上に結像する。この先センサ
１０は、対物レンズ５のフォーカス及びトラッキング情
報、ディスク上の記録信号の有無を検出する。
成を第１３図に示す。図において、半導体レーザ１より
発射されたレーザ光は、コリメートレンズ２によって平
行光線になり、ビームスプリッタ３を直進し、さらに１
／４波長板４．対物レンズ５を通って光デイスク６上に
合焦して光スポット７を形成する。この光スポット７は
、光ディスク６から反射して再び対物レンズ５．１／４
波長板４を通ってハーフミラ−であるビームスプリッタ
３で直角方向に反射された後、シリンドリカルレンズ８
，９を通り、光センサ１０上に結像する。この先センサ
１０は、対物レンズ５のフォーカス及びトラッキング情
報、ディスク上の記録信号の有無を検出する。
このような光学系では、それぞれの光学部品の位置をス
ポット光が光ディスク６及び光センサ１０上に合焦する
ように調整する必要があるため、調整に多大な時間がか
かるという問題があった。
ポット光が光ディスク６及び光センサ１０上に合焦する
ように調整する必要があるため、調整に多大な時間がか
かるという問題があった。
また、この光学ヘッドでは、全体の小型化に限界がある
という問題もあった。
という問題もあった。
光学ヘッドの小型化は、光ディスクシステ１１全体の小
型化、高信頼化に大きく寄与するため、現在その研究開
発が広く進められている。光学ヘッドの小型軽量化の提
案の一つとして、特開昭６０−２０２５５３号公報によ
って開示されたものが公知である。この提案は、第１４
図に示すように、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｓ）で
形成された基板１」上に数ミクロンの厚さでチタンを拡
散して導波路１２を形成し、この導波路１２の一方の側
の端面より半導体レーザ１３の光を入射し、屈折率分布
型レンズ３５．３６を用いて、他方の側の導波路１２の
端面に光スポット１６を合焦して形成したものである。
型化、高信頼化に大きく寄与するため、現在その研究開
発が広く進められている。光学ヘッドの小型軽量化の提
案の一つとして、特開昭６０−２０２５５３号公報によ
って開示されたものが公知である。この提案は、第１４
図に示すように、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｓ）で
形成された基板１」上に数ミクロンの厚さでチタンを拡
散して導波路１２を形成し、この導波路１２の一方の側
の端面より半導体レーザ１３の光を入射し、屈折率分布
型レンズ３５．３６を用いて、他方の側の導波路１２の
端面に光スポット１６を合焦して形成したものである。
この種技術が次の文献にまとめられている。チー・スハ
ラ他、″インチグレイテッド オプチクス コンポーネ
ンツ アンド デバイシズ ユージング ピーリオデイ
ツク ストラクチャーズ″アイイーイーイー ジエイ
オブ クヮンタムエレクトロニクス、第８４５−８６７
頁、 １９８６年（’Ｉ’ 、 Ｓ Ｕ ｌ！ Ａ Ｒ
＾ ｅｔａＲ，σＩｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃ
ｓＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ
Ｕｓｉｎｇ ＰｅｒｉｏｄｉｃＳｔｒｕｃｔｕｒ
ｅｓ” ＩＥＥＥ Ｊ、 ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｎ＋ Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ。
ラ他、″インチグレイテッド オプチクス コンポーネ
ンツ アンド デバイシズ ユージング ピーリオデイ
ツク ストラクチャーズ″アイイーイーイー ジエイ
オブ クヮンタムエレクトロニクス、第８４５−８６７
頁、 １９８６年（’Ｉ’ 、 Ｓ Ｕ ｌ！ Ａ Ｒ
＾ ｅｔａＲ，σＩｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃ
ｓＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ
Ｕｓｉｎｇ ＰｅｒｉｏｄｉｃＳｔｒｕｃｔｕｒ
ｅｓ” ＩＥＥＥ Ｊ、 ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｎ＋ Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ。
ｐｐ８４５ ８６７．１９８６）−
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術は、光スポットのアクチュエート技術、す
なわちオートフォーカス及びオートトラッキングについ
て配慮されておらず、これらの機能を実現するために、
光学ヘッド全体をコイルアクチュエータなどに載置し、
前後左右に動かす方式を用いざるを得なかった。このた
め、構造が複雑となり、しかもオートフォーカス及びオ
ートトラッキングに対する信頼性が低いという問題があ
った。
なわちオートフォーカス及びオートトラッキングについ
て配慮されておらず、これらの機能を実現するために、
光学ヘッド全体をコイルアクチュエータなどに載置し、
前後左右に動かす方式を用いざるを得なかった。このた
め、構造が複雑となり、しかもオートフォーカス及びオ
ートトラッキングに対する信頼性が低いという問題があ
った。
本発明は、上記事情に着目してなされたものであり、小
型軽量で確実に光スポットのオー１−フォーカス及びオ
ートトラッキングができる薄膜光導波路を用いた光学ヘ
ッドを提供することを目的とする。
型軽量で確実に光スポットのオー１−フォーカス及びオ
ートトラッキングができる薄膜光導波路を用いた光学ヘ
ッドを提供することを目的とする。
本発明は、上記の目的を達成するために、平面状の光導
波路上に形成されたコリメートレンズ。
波路上に形成されたコリメートレンズ。
ビームスプリッタ及び対物レンズからなる光学系と、こ
の光学系にレーザ光を入射するレーザ光源とからなり、
光記録媒体上に前記光学系を介して前記レーザ光を照射
集束させて、情報の記録、再診 生及び消去を行なう薄膜光導波あ型の光学ヘッドにおい
て、前記対物レンズの近傍に外部からの信号により焦点
距離を可変とするレンズを搭載したものである。
の光学系にレーザ光を入射するレーザ光源とからなり、
光記録媒体上に前記光学系を介して前記レーザ光を照射
集束させて、情報の記録、再診 生及び消去を行なう薄膜光導波あ型の光学ヘッドにおい
て、前記対物レンズの近傍に外部からの信号により焦点
距離を可変とするレンズを搭載したものである。
上記の構成によると、対物レンズの近傍に搭載されたレ
ンズが、外部からの信号によりその屈折率が変化し、光
導波路中の屈折率の大きさを変えることによって光学系
の焦点位置を変え、また屈折率分布を変えることができ
るので、機械的動作を含まずに光ビー１１のフォーカス
及び１−ラッキングを行なうことができる。
ンズが、外部からの信号によりその屈折率が変化し、光
導波路中の屈折率の大きさを変えることによって光学系
の焦点位置を変え、また屈折率分布を変えることができ
るので、機械的動作を含まずに光ビー１１のフォーカス
及び１−ラッキングを行なうことができる。
以下、本発明に係る光学ヘッドの実施例を図面を参照し
て説明する。但し、本発明はこれらの実施例に限られる
ものではない。
て説明する。但し、本発明はこれらの実施例に限られる
ものではない。
第１図に本発明の一実施例を示す。これらの図において
第１３図及び第１４図に示す従来例と同一または同等部
分には、同一符号を付して示す。
第１３図及び第１４図に示す従来例と同一または同等部
分には、同一符号を付して示す。
第１図において、光導波路１２は、ニオブ酸リチウムな
どからなる基板１１上に、チタンを数ミクロン厚さに拡
散することにより形成されている。
どからなる基板１１上に、チタンを数ミクロン厚さに拡
散することにより形成されている。
なお光導波路は、この外にも種々のものがあり、それに
用いられる材料は、大きく分けて、無機系と有機系に分
けられる。無機系の代表例がニオブ酸リチウム（ＬｉＮ
ｂＯａ）、ガラス等である。
用いられる材料は、大きく分けて、無機系と有機系に分
けられる。無機系の代表例がニオブ酸リチウム（ＬｉＮ
ｂＯａ）、ガラス等である。
導波路はこれら材料の上にイオンをドーピングし作成す
る（表１）。
る（表１）。
有機系は各種あるが、それぞれガラス、５ｉＯｚ等の上
にスピンコード、スパッタなどにより作成される（表２
）。
にスピンコード、スパッタなどにより作成される（表２
）。
一方、コリメートレンズ１４．対物レンズ１５及び対光
センサレンズ１７は、それぞれ光導波路１２上に円形に
形成された四部に設けられたジオデシックレンズ、イオ
ンビーム打ちこみにより屈折率の分布を持たせた屈折率
分布型レンズなどで代表されるモードインデックス型レ
ンズ、回折現象を利用したフレネルレンズ、グレーティ
ングレンズなどが利用できる。この実施例においては。
センサレンズ１７は、それぞれ光導波路１２上に円形に
形成された四部に設けられたジオデシックレンズ、イオ
ンビーム打ちこみにより屈折率の分布を持たせた屈折率
分布型レンズなどで代表されるモードインデックス型レ
ンズ、回折現象を利用したフレネルレンズ、グレーティ
ングレンズなどが利用できる。この実施例においては。
直径７．６ｍｍ、深さ約０．２−のくぼみにより、焦点
距離６６５圃のジオデシックレンズが形成されている。
距離６６５圃のジオデシックレンズが形成されている。
ジオデシックレンズについては、例えば以下を参照。ニ
ス、ソテイニ他、″ジーオデシク オプチクス二二二一
コンポーネンツ” （Ｓ、５ｏｔｔｉｎｉａし ａ
Ｑ 、 ”Ｇｅｏｄｅｓｉｃ ｏｐｔｉｃｓ：
ｎｅｗ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ、”）Ｊ、 Ｏｐｔ、
Ｓｏｃ、Ａｍ、第１２３０−１２’３４頁、 ｌ！１８
０年。
ス、ソテイニ他、″ジーオデシク オプチクス二二二一
コンポーネンツ” （Ｓ、５ｏｔｔｉｎｉａし ａ
Ｑ 、 ”Ｇｅｏｄｅｓｉｃ ｏｐｔｉｃｓ：
ｎｅｗ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ、”）Ｊ、 Ｏｐｔ、
Ｓｏｃ、Ａｍ、第１２３０−１２’３４頁、 ｌ！１８
０年。
次にビームスプリッタ３は、導波路表面に浅い）ＩＩ￥
（リッジ）を設けることにより構成され、導波路の光は
一部反射、一部透過となる。リッジの高さにより、その
比を変えることができる。
（リッジ）を設けることにより構成され、導波路の光は
一部反射、一部透過となる。リッジの高さにより、その
比を変えることができる。
ビームスプリッタ３については、例えば以下を参照。″
スイン フィルム ビーム スプリッター アンド リ
フレクタ−フォア オプチカルガイデッド ウエーブス
′″アプライド フイジツクスレターズ（Ｔｈｉｎ−ｆ
ｉｌｍ ｂｅａｍ ５ｐｌｉｔｔｅｒ ａｎｄｒｅｆｌ
ｅｃｔｏｒ ｆｏｒ ｏｐｔｉｃａｌ ｇｕｉｄｅｄ
ｗａｖｅｓ、” ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ Ｌｅ
ｔｔｅｒｓ、）第５８８−５９０頁、 １９７５年。
スイン フィルム ビーム スプリッター アンド リ
フレクタ−フォア オプチカルガイデッド ウエーブス
′″アプライド フイジツクスレターズ（Ｔｈｉｎ−ｆ
ｉｌｍ ｂｅａｍ ５ｐｌｉｔｔｅｒ ａｎｄｒｅｆｌ
ｅｃｔｏｒ ｆｏｒ ｏｐｔｉｃａｌ ｇｕｉｄｅｄ
ｗａｖｅｓ、” ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ Ｌｅ
ｔｔｅｒｓ、）第５８８−５９０頁、 １９７５年。
Ｖ、Ｔ、Ｔｓａｎｇ、ｅｔ ａ Ｑ 。
一方、半導体レーザ（ＧａＡｓ）１３及び光センサ（半
導体センサ）１０は、光導波路１２の直交する二つの端
面に設けられている。また、光導波路１２の対物レンズ
１５が設けられた側の端面は、表面に対して約４５度の
角度をなす斜面となっており、対物レンズ１５からのビ
ーム光は、ここで完全反射されて（プリズムと同じ原理
）第１図に示すように光ディスク６の方に向う。
導体センサ）１０は、光導波路１２の直交する二つの端
面に設けられている。また、光導波路１２の対物レンズ
１５が設けられた側の端面は、表面に対して約４５度の
角度をなす斜面となっており、対物レンズ１５からのビ
ーム光は、ここで完全反射されて（プリズムと同じ原理
）第１図に示すように光ディスク６の方に向う。
光導波路１２上のビームスプリッタ３と対物レンズ１５
との間には、本実施例の特徴である表面弾性波デバイス
１８が形成されており、一方の端面に電気音響トランス
デユーサ（＜シ形電極）１８ａが、他端には超音波反射
体或は反射電極１８ｂが埋込ガ接着されている。
との間には、本実施例の特徴である表面弾性波デバイス
１８が形成されており、一方の端面に電気音響トランス
デユーサ（＜シ形電極）１８ａが、他端には超音波反射
体或は反射電極１８ｂが埋込ガ接着されている。
この実施例では、光導波路１２が、それ白身で圧電効果
を持つニオブ酸リチウム（Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３）で構
成されているから、電気音響トランスデユーサ１８ａは
くし形電極のみで良い。しかし、光導波路１２がそれ自
身で圧電効果をもたない、例えばガラス、Ａｓ２５ａ等
で構成されている場合には、電気音！！！ｌＩ＋−ラン
スデューサ１８ａは、くし形電極とそれ自身で圧電効果
を持つ例えばＺｎＯ薄膜等とを組合せたものが用いられ
る。
を持つニオブ酸リチウム（Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３）で構
成されているから、電気音響トランスデユーサ１８ａは
くし形電極のみで良い。しかし、光導波路１２がそれ自
身で圧電効果をもたない、例えばガラス、Ａｓ２５ａ等
で構成されている場合には、電気音！！！ｌＩ＋−ラン
スデューサ１８ａは、くし形電極とそれ自身で圧電効果
を持つ例えばＺｎＯ薄膜等とを組合せたものが用いられ
る。
また、この実施例では、超音波反射体１８ｂとしては１
通常の反射体が用いられているが、電気音響トランスデ
ユーサ１８ａと同様のものを用いることができる。ただ
し、その場合には、両トランスデユーサに印加される電
圧の位相を適当に調整する必要がある。
通常の反射体が用いられているが、電気音響トランスデ
ユーサ１８ａと同様のものを用いることができる。ただ
し、その場合には、両トランスデユーサに印加される電
圧の位相を適当に調整する必要がある。
次に、本実施例の作用及び効果を説明する。半導体レー
ザ１３から出た光はコリメートレンズ１４によって平行
光となり、ビームスプリッタ３を通り表面弾性波デバイ
ス１８と対物レンズ１５とにより焦点位置及びビーム位
置が制御され、光導波路１２の傾斜した端面で反射され
て、光デイスク６上の光スポット１６となる。さらに、
光ディスク６から反射された光は、再び対物レンズ１５
、表面弾性波デバイス１８を通り、ビームスプリッタ３
でほぼ直角方向に反射され、レンズ１７を通って光セン
サ１０上に結像する。この光センサ１０は、光スポット
６のフォーカス状態とトラッキング状態及び情報の有無
を検出する。
ザ１３から出た光はコリメートレンズ１４によって平行
光となり、ビームスプリッタ３を通り表面弾性波デバイ
ス１８と対物レンズ１５とにより焦点位置及びビーム位
置が制御され、光導波路１２の傾斜した端面で反射され
て、光デイスク６上の光スポット１６となる。さらに、
光ディスク６から反射された光は、再び対物レンズ１５
、表面弾性波デバイス１８を通り、ビームスプリッタ３
でほぼ直角方向に反射され、レンズ１７を通って光セン
サ１０上に結像する。この光センサ１０は、光スポット
６のフォーカス状態とトラッキング状態及び情報の有無
を検出する。
次に第２〜５図に基づいて１表面弾性波デバイス１８に
より、光スポット６の位置調整のできること、つまりト
ラッキングと焦点距離ＦＡ整のできることを説明する。
より、光スポット６の位置調整のできること、つまりト
ラッキングと焦点距離ＦＡ整のできることを説明する。
まず、第２図により、トラッキング調整のできる点につ
いて説明する。両端に電気′ｆＩ響トランスデユーサの
超音波振動子１８ｃと超音波反射体１８ｄの設けられた
表面弾性波デバイス１８に、信号源たとえば超音波電圧
源１９−１より信号（周波数Ｆｌ）を印加すると、表面
弾性波デバイス１８内に超音波の定在波が発生する。こ
のとき、結晶中の屈折率分布は、第２図の■−■線断面
として見ると、第３図に示すようになりこの一連の屈折
率分布が回折格子と同様の作用をする。この結晶にレー
ザ光２０を入射すると、このレーザ光２０は、直進する
回折０次光２１と屈折する回折１次光２２とに分離され
る。このとき、結晶に印加する信号の周波数を変えるこ
とにより、１次光２２の屈折角を変えることができるの
で、この１次光２２を用いれば、光スポット１６のトラ
ッキング調整が可能となる。
いて説明する。両端に電気′ｆＩ響トランスデユーサの
超音波振動子１８ｃと超音波反射体１８ｄの設けられた
表面弾性波デバイス１８に、信号源たとえば超音波電圧
源１９−１より信号（周波数Ｆｌ）を印加すると、表面
弾性波デバイス１８内に超音波の定在波が発生する。こ
のとき、結晶中の屈折率分布は、第２図の■−■線断面
として見ると、第３図に示すようになりこの一連の屈折
率分布が回折格子と同様の作用をする。この結晶にレー
ザ光２０を入射すると、このレーザ光２０は、直進する
回折０次光２１と屈折する回折１次光２２とに分離され
る。このとき、結晶に印加する信号の周波数を変えるこ
とにより、１次光２２の屈折角を変えることができるの
で、この１次光２２を用いれば、光スポット１６のトラ
ッキング調整が可能となる。
なお、実際に用いられる屈折角は敷底以下である。
また１表面弾性波の振幅により１次光２２の強度を変更
することができる。これらの操作には機械的動作がない
ため、信頼性が高く応答が速い。
することができる。これらの操作には機械的動作がない
ため、信頼性が高く応答が速い。
次に第４，５図により、焦点距離調整のできる点につい
て説明する。この場合には１表面弾性波デバイス１８に
は、その半周期が１丁度２表面弾性波デバイス１８の全
長と同じになるような周波数Ｆ２の超音波を印加する。
て説明する。この場合には１表面弾性波デバイス１８に
は、その半周期が１丁度２表面弾性波デバイス１８の全
長と同じになるような周波数Ｆ２の超音波を印加する。
すると、表面弾性波デバイス１８には、第４，５図のよ
うなサインカーブの半周期に相当する波形の定在波が生
じ、よってその屈折率分布も、この定在波の波形に対応
したものとなる。したがって、このような屈折率分布を
有する表面弾性波デバイスは、そこを通る光ビームに対
して凸レンズと同様の作用をし、印加電圧の振幅が第４
図のように小さいと、焦点距離の長いレンズとして、第
５図のように大きいと、焦点距離の短いレンズとして作
用する。このように、以上説明した装置を用いれば、印
加される超音波電圧の振幅を変えることにより、機械的
操作は全くなしで、焦点距離を調整することができる。
うなサインカーブの半周期に相当する波形の定在波が生
じ、よってその屈折率分布も、この定在波の波形に対応
したものとなる。したがって、このような屈折率分布を
有する表面弾性波デバイスは、そこを通る光ビームに対
して凸レンズと同様の作用をし、印加電圧の振幅が第４
図のように小さいと、焦点距離の長いレンズとして、第
５図のように大きいと、焦点距離の短いレンズとして作
用する。このように、以上説明した装置を用いれば、印
加される超音波電圧の振幅を変えることにより、機械的
操作は全くなしで、焦点距離を調整することができる。
そこで、第６図に示すように、周波数Ｆ１によって、そ
こを通る光ビームの屈折角の変えられる表面弾性波デバ
イス１８−１ （第２，３図参照）と、周波数Ｆｚの電
圧によってそこを通る光ビームの焦点距離の変えられる
表面弾性波デバイス１８−２ （第４，５図参照）を設
ければ、機械的動作を全く必要としないで、光スポット
のトラッキングと焦点調整を行なうことができる。なお
。
こを通る光ビームの屈折角の変えられる表面弾性波デバ
イス１８−１ （第２，３図参照）と、周波数Ｆｚの電
圧によってそこを通る光ビームの焦点距離の変えられる
表面弾性波デバイス１８−２ （第４，５図参照）を設
ければ、機械的動作を全く必要としないで、光スポット
のトラッキングと焦点調整を行なうことができる。なお
。
トラッキング調整用には回折１次光が用いられるので１
表面弾性波デバイスに対する光ビームの入射角と出射角
は、実際には若干具なる。
表面弾性波デバイスに対する光ビームの入射角と出射角
は、実際には若干具なる。
なお、ニオブ酸リチウムＬ ｉ Ｎ ｂ ０３中の音速
は６．５７ ｘ ｌ Ｏ”Ｍ／Ｓ１？あルカラ、Ｆｌと
しては数１００ Ｍ Ｈｚ程度の超音波が、またＦ２と
しては表面弾性波デバイス１８の全長がｌｏｍｍＲ度で
あることを考慮するとき、３００〜４００Ｈ７程度の超
音波が用いられる。
は６．５７ ｘ ｌ Ｏ”Ｍ／Ｓ１？あルカラ、Ｆｌと
しては数１００ Ｍ Ｈｚ程度の超音波が、またＦ２と
しては表面弾性波デバイス１８の全長がｌｏｍｍＲ度で
あることを考慮するとき、３００〜４００Ｈ７程度の超
音波が用いられる。
次に第７図に、第６図の実施例の動作が示されている。
まず、表面波弾性波デバイス１８−１の超音波振動子１
８ｃと超音波反射体１８ｄの間に信号源１９−１よりの
信号（周波数Ｆｓ）を印加して表面波弾性波デバイス１
８−１中に、図示のような、格子状の定在波、したがっ
て格子状の屈折率分布を生ゼしめる。これで周波数Ｆ１
を変えることにより、光ビーム２０の回折１次光の屈折
角を変えることができ、光スポット１６のトラッキング
調整Ｒ整が行なえる。
８ｃと超音波反射体１８ｄの間に信号源１９−１よりの
信号（周波数Ｆｓ）を印加して表面波弾性波デバイス１
８−１中に、図示のような、格子状の定在波、したがっ
て格子状の屈折率分布を生ゼしめる。これで周波数Ｆ１
を変えることにより、光ビーム２０の回折１次光の屈折
角を変えることができ、光スポット１６のトラッキング
調整Ｒ整が行なえる。
一方、もう１つの表面弾性波デバイス１８−２には、超
音波振動子１８ｅと超音波反射体１８ｆとの間に、超音
波＠１９−２よりの信号（周波数Ｆｚ）を印加して、表
面弾性波デバイス１８−２内に、図示するような、丁度
周波数Ｆ２の半周期の波の定在波を生ぜしぬ、もって右
の定在波と同じ波形の屈折率の分布を生ぜしぬる。これ
で超音波ｇ１９−２よりの超音波の振幅を変えることに
より、光ビーム２０に対するレンズの屈折率を変えるこ
とができ、光スポット１６の焦点調整を行なうことがで
きる。
音波振動子１８ｅと超音波反射体１８ｆとの間に、超音
波＠１９−２よりの信号（周波数Ｆｚ）を印加して、表
面弾性波デバイス１８−２内に、図示するような、丁度
周波数Ｆ２の半周期の波の定在波を生ぜしぬ、もって右
の定在波と同じ波形の屈折率の分布を生ぜしぬる。これ
で超音波ｇ１９−２よりの超音波の振幅を変えることに
より、光ビーム２０に対するレンズの屈折率を変えるこ
とができ、光スポット１６の焦点調整を行なうことがで
きる。
なお、表面弾性波デバイス１８−１に発生させる格子状
の屈折率分布は、定在波による外、同じ超音波の進行波
でも良い。この場合には、超音波反射体１８ｂは超音波
吸収体となる。
の屈折率分布は、定在波による外、同じ超音波の進行波
でも良い。この場合には、超音波反射体１８ｂは超音波
吸収体となる。
トラッキングを行なう表面弾性波デバイスとフォーカス
の調整を行なう表面弾性波デバイスは。
の調整を行なう表面弾性波デバイスは。
必ずしも第６図、第７図に示すように別々に設ける必要
はなく、第８図に示すように１つで兼用することもでき
る。これの全体図が、前に第１図に実施例として示した
ものである。この場合、表面弾性波デバイス１８内に生
ずる定在波の波形は、第８図に示すように１周波数Ｆ２
の半周期の波の上に周波数Ｆ２の格子状の波の重畳され
たものとなる。
はなく、第８図に示すように１つで兼用することもでき
る。これの全体図が、前に第１図に実施例として示した
ものである。この場合、表面弾性波デバイス１８内に生
ずる定在波の波形は、第８図に示すように１周波数Ｆ２
の半周期の波の上に周波数Ｆ２の格子状の波の重畳され
たものとなる。
なお、定在波は時々刻々変っているので、焦点調整用超
音波Ｆ２については、第９図（ａ）、第９図（ｂ）に示
すように、所定のフォーカス状態を現出する期間のみを
利用するようにすれば、更に効果的な利用ができる。つ
まり、同期回路により、第９図（ｂ）に示すようにｔｌ
、Ｌ２・・・の期間のみ半導体レーザを駆動するように
する。また、フォーカス調整用信号としては、第９図（
ｃ）に示すように矩形波又は台形波を用い、波形の平担
な部分で半導体レーザを駆動するようにしても良い。
音波Ｆ２については、第９図（ａ）、第９図（ｂ）に示
すように、所定のフォーカス状態を現出する期間のみを
利用するようにすれば、更に効果的な利用ができる。つ
まり、同期回路により、第９図（ｂ）に示すようにｔｌ
、Ｌ２・・・の期間のみ半導体レーザを駆動するように
する。また、フォーカス調整用信号としては、第９図（
ｃ）に示すように矩形波又は台形波を用い、波形の平担
な部分で半導体レーザを駆動するようにしても良い。
第１０図は、光センサ１ｏによるフォーカス検出の光学
系を示したものである。光導波路１２を利用した場合、
３次元的な光学系の配置が困難であり、光デイスクシス
テムでよく用いられている非点収差方式のフォーカス検
出方式が構成できない。この検出方式を平面的な配置で
行なったものが第１０図に示す光学系である。平行レー
ザ光２０は、対物レンズ１５を通って光デイスク６上に
光スポット１６を結像する。さらに、光ディスク６から
の反射光は、再び対物レンズ１５を通り、ビームスプリ
ッタ３ａで直角方向に反射し、ビームスプリッタ３ｂで
半分に分割され、一方は直進し、他方は直角方向に反射
される。分割された光は、それぞれ同じ焦点距離のレン
ズ１７ａ、１７ｂを通って光センサ１０ａ、１０ｂ上へ
結像する。
系を示したものである。光導波路１２を利用した場合、
３次元的な光学系の配置が困難であり、光デイスクシス
テムでよく用いられている非点収差方式のフォーカス検
出方式が構成できない。この検出方式を平面的な配置で
行なったものが第１０図に示す光学系である。平行レー
ザ光２０は、対物レンズ１５を通って光デイスク６上に
光スポット１６を結像する。さらに、光ディスク６から
の反射光は、再び対物レンズ１５を通り、ビームスプリ
ッタ３ａで直角方向に反射し、ビームスプリッタ３ｂで
半分に分割され、一方は直進し、他方は直角方向に反射
される。分割された光は、それぞれ同じ焦点距離のレン
ズ１７ａ、１７ｂを通って光センサ１０ａ、１０ｂ上へ
結像する。
このとき、それぞれの光センサ１０ａ、１０ｂを、レン
ズ１７ａ、１７ｂのそれぞれの焦点位置２６ａ。
ズ１７ａ、１７ｂのそれぞれの焦点位置２６ａ。
２６ｂから、一方は手前ｄ１の位置、他方は後方ｄｓの
位置に配置したとすると、各光センサＩＯａ。
位置に配置したとすると、各光センサＩＯａ。
Ｊｏｂに加わる光量変化からフォーカス位置を検出する
ことができる。
ことができる。
第１１図は、光センサ１０ａ、１０ｂがらの信号処理回
路を示す。光センサ１０ａ、１０ｂからの４８号は、そ
れぞれアンプ２７ａ、２７ｂによって増幅された後、演
算アンプ２８で引き算され、差動信号ｆ＋−ｆ−を得る
。第１２図は、前記各信号の電圧と前記光センサ１０ａ
、１０．ｂの位置との関係を示すグラフであり、この図
がら判るように、前記差動信号ｆ＋−ｆ−を０ボルトと
することにより１合焦点位置を見出すことができる。
路を示す。光センサ１０ａ、１０ｂからの４８号は、そ
れぞれアンプ２７ａ、２７ｂによって増幅された後、演
算アンプ２８で引き算され、差動信号ｆ＋−ｆ−を得る
。第１２図は、前記各信号の電圧と前記光センサ１０ａ
、１０．ｂの位置との関係を示すグラフであり、この図
がら判るように、前記差動信号ｆ＋−ｆ−を０ボルトと
することにより１合焦点位置を見出すことができる。
上述したように本発明によれば、薄膜光導波路を用いた
光学ヘッドに、外部からの信号により焦点距離を可変と
するレンズを搭載したので、機械的動作を含むことなく
レーザ光のフォーカス及びトラッキングアクチュエータ
を構成することができ、光学ヘッドを小型軽量で信頼性
のあるものとすることができる。
光学ヘッドに、外部からの信号により焦点距離を可変と
するレンズを搭載したので、機械的動作を含むことなく
レーザ光のフォーカス及びトラッキングアクチュエータ
を構成することができ、光学ヘッドを小型軽量で信頼性
のあるものとすることができる。
第１図は本発明に係る光学ヘッドの一実施例を示す斜視
図、第２図は第１図の表面弾性波デバイスを示す平面図
、第３図は第２図のｎｌ −ＩＩＩ破断面図、第４図及
び第５図は本実施例の作用を示す平面図、第６図は本発
明の他の実施例を示す概略平面図、第７図は第６図の作
用を示す説明図、第８図は第１図の作用を示す説明図、
第９図（、）は本発明の他の実施例を示す斜視図であり
、第９図（ｂ）及び第９図（Ｑ）は第９図（ａ）の作用
を示す説明図、第１０図はフォーカスエラー検出手段を
示す光学系図、第１１図はフォーカスエラー検出手段を
示す回路図、第１２図は同じく信号電圧の変化を示すグ
ラフ、第１３図は従来の光学ヘッドを示す構成図、第１
４図は従来の導波路型光学ヘッドを示す斜視図である。 ３・・・ビームスプリッタ、６・・・光ディスク、１０
・・・光センサ、１２・・・光導波路、１３・・・半導
体レーザ、１４・・・コリメートレンズ、１５・・・対
物レンズ、１８・・・表面弾性波デバイス、１８ａ・・
・超音波トランスデユーサ、２０・・・レーザ光。 ギ１ 図 第２０ ｆ８ｄ−−一處にを三皮ボ専μも ＋４−１−・−イ吉号Ｍ− ｚｔ −、−ｒｉＥＪＭσに尤 ＃３回Ｚ２−’ｌＥ７秤１・〃 第４図 第５図１８ｅ−、ニー７゜ ＃乙 ｍ ＋５−ｚ−＊ｒｕ傅性殖ｆ”ｉ＜４ス 第７ｒｉＪ 茶５ｇ７３ 第９ ｌ （レノ
（Ｃ２）察ｔｏ 回 ｚｍ、ｍ−ｓ、Ａ、ａ：１ ζＮ勺費噴りさ！ミ 句）
図、第２図は第１図の表面弾性波デバイスを示す平面図
、第３図は第２図のｎｌ −ＩＩＩ破断面図、第４図及
び第５図は本実施例の作用を示す平面図、第６図は本発
明の他の実施例を示す概略平面図、第７図は第６図の作
用を示す説明図、第８図は第１図の作用を示す説明図、
第９図（、）は本発明の他の実施例を示す斜視図であり
、第９図（ｂ）及び第９図（Ｑ）は第９図（ａ）の作用
を示す説明図、第１０図はフォーカスエラー検出手段を
示す光学系図、第１１図はフォーカスエラー検出手段を
示す回路図、第１２図は同じく信号電圧の変化を示すグ
ラフ、第１３図は従来の光学ヘッドを示す構成図、第１
４図は従来の導波路型光学ヘッドを示す斜視図である。 ３・・・ビームスプリッタ、６・・・光ディスク、１０
・・・光センサ、１２・・・光導波路、１３・・・半導
体レーザ、１４・・・コリメートレンズ、１５・・・対
物レンズ、１８・・・表面弾性波デバイス、１８ａ・・
・超音波トランスデユーサ、２０・・・レーザ光。 ギ１ 図 第２０ ｆ８ｄ−−一處にを三皮ボ専μも ＋４−１−・−イ吉号Ｍ− ｚｔ −、−ｒｉＥＪＭσに尤 ＃３回Ｚ２−’ｌＥ７秤１・〃 第４図 第５図１８ｅ−、ニー７゜ ＃乙 ｍ ＋５−ｚ−＊ｒｕ傅性殖ｆ”ｉ＜４ス 第７ｒｉＪ 茶５ｇ７３ 第９ ｌ （レノ
（Ｃ２）察ｔｏ 回 ｚｍ、ｍ−ｓ、Ａ、ａ：１ ζＮ勺費噴りさ！ミ 句）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光を光記録媒体上に照射集束させて情報の記
録、再生、消去を行う光学ヘッドにおいて、表面弾性波
によつて屈折率の疎密を生ずる材料よりなる平面状の光
導波路より構成され、該導波路上にコリメートレンズ、
ビームスプリッタ、表面弾性波により導波路上の屈折率
分布を発生させる電気音響トランスデューサ、対物レン
ズよりなる光学系と、上記光記録媒体より反射された光
を導くビームスプリッタ、センサレンズ、光センサより
なる光学系を有していることを特徴とする薄膜光導波路
型光ヘッド。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記レーザ光源と
して、半導体レーザを用い、前記導波路の一端面に接合
、あるいは埋めこんだことを特徴とする薄膜光導波路型
光ヘッド。３、特許請求の範囲第１項において、前記光
センサの出力により、前記電気音響トランスデユーサが
駆動することを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ４、特許請求の範囲第１項において、屈折率の分布を生
じる前記光導波路が圧電効果を持つた材料で構成され、
前記電気音響トランスデューサが、くし型電極であるこ
とを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ５、特許請求の範囲第１項において、前記電気音響トラ
ンスデューサが、それ自身で振動する材料で構成される
ことを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ６、特許請求の範囲第１項において、電気音響トランス
デューサの表面弾性波とレーザ光源の発する光との間に
同期をとる回路を設け、この回路は、上記導波路の屈折
率の疎密が所定の場合のみレーザ光源が光を発するよう
に機能することを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ７、レーザ光を光記録媒体上に照射集束させて情報の記
録、再生、消去を行う光学ヘッドにおいて、表面弾性波
によつて屈折率の疎密を生ずる材料よりなる平面状の光
導波路より構成され、該導波路上にコリメートレンズ、
表面弾性波により導波路上の屈折率分布を発生させる電
気音響トランスデューサ、対物レンズよりなる光学系を
有し、上記電気音響トランスデューサが、外部からの信
号により、上記導波路を通過する光ビームを横切つて半
周期の表面弾性波を生ぜしめ、その結果生じる導波路上
の屈折率の疎密がそこを通過する光ビームにレンズ作用
を与え、上記表面弾性波の振幅を変えることにより、上
記レンズ作用によつてもたらされる焦点位置が可変であ
ることを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ８、特許請求の範囲第７項において、前記電気音響トラ
ンスデューサの表面弾性波と、レーザ光源の発する光と
の間に同期をとる回路を設け、該回路は上記導波路の屈
折率の疎密が所定の場合のみレーザ光が発するように機
能することを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ９、特許請求の範囲第７項において、屈折率の分布を生
じる前記光導波路が圧電効果を持つた材料で構成され、
電気音響トランスデューサが、くし型電極であることを
特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １０、特許請求の範囲第７項において、前記電気音響ト
ランスデューサが、それ自身で振動する材料で構成され
ることを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １１、レーザ光を光記録媒体上に照射集束させて情報の
記録、再生、消去を行う光学ヘッドにおいて、表面弾性
波によつて屈折率の疎密を生ずる材料よりなる平面状の
光導波路より構成され、該導波路上にコリメートレンズ
、表面弾性波により導波路上の屈折率分布を発生させる
２つの電気音響トランスデューサ、対物レンズよりなる
光学系を有し、上記電気音響トランスデューサの１つが
、外部からの信号により、上記導波路を通過する光ビー
ムを横切つて半周期の表面弾性波を生ぜしめ、その結果
生じる導波路上の屈折率の疎密がそこを通過する光ビー
ムにレンズ作用を与え、上記表面弾性波の振幅を変える
ことにより、上記レンズ作用によつてもたらされる焦点
位置が可変であり、前記電気音響トランスデューサの他
の１つの駆動により、光ビームを横切つて表面弾性波を
生ぜしめ、その結果生じる、上記導波路の屈折率の周期
的な疎密が、そこを通過する光ビームに回折作用を与え
、上記他の１つの電気音響トランスデューサに基づく表
面弾性波の周波数を変えることにより、光ビームの進行
方向を可変とすることを特徴とする薄膜光導波路型光ヘ
ッド。 １２、特許請求の範囲第１１項において、前記屈折率の
格子状の疎密が、表面弾性波の定在波によつて生ずるこ
とを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １３、特許請求の範囲第１１項において、前記屈折率の
格子状の疎密が、表面弾性波の進行波によつて生ずるこ
とを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １４、特許請求の範囲第１１項において、前記電気音響
トランスデューサの超音波弾性波による駆動と、レーザ
光源の発する光との間に同期をとる回路を設け、該回路
は上記導波路の屈折率の疎密が所定の場合のみレーザ光
が発するように機能することを特徴とする薄膜光導波路
型光ヘッド。 １５、特許請求の範囲第１１項において、屈折率の分布
を生じる前記光導波路が圧電効果を持つた材料で構成さ
れ、電気音響トランスデューサが、くし型電極であるこ
とを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １６、特許請求の範囲第１１項において、前記電気音響
トランスデューサが、それ自身で振動する材料で構成さ
れることを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １７、レーザ光を光記録媒体上に照射集束させて情報の
記録、再生、消去を行う光学ヘッドにおいて、表面弾性
波によつて屈折率の疎密を生ずる材料よりなる平面状の
光導波路より構成され、該導波路上にコリメートレンズ
、表面弾性波により導波路上の屈折率分布を発生させる
電気音響トランスデューサ、対物レンズよりなる光学系
を有し、上記電気音響トランスデューサが、外部からの
信号により、上記導波路を通過する光ビームを横切つて
第１の半周期の表面弾性波を生ぜしめ、その結果生じる
導波路上の屈折率の疎密がそこを通過する光ビームにレ
ンズ作用を与え、上記表面弾性波の振幅を変えることに
より、上記レンズ作用によつてもたらされる焦点位置が
可変であり、更に、上記電気音響トランスデューサによ
り、光ビームを横切つて第２の表面弾性波を生ぜしめ、
その結果生じる、上記導波路の屈折率の周期的な疎密が
、そこを通過する光ビームに回折作用を与え、上記第２
の表面弾性波の周波数を変えることにより、光ビームの
進行方向を可変とすることを特徴とする薄膜光導波路型
光ヘッド。 １８、特許請求の範囲第１７項において、屈折率の分布
を生じる前記光導波路が圧電効果を持つた材料で構成さ
れ、電気音響トランスデューサが、くし型電極であるこ
とを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 １９、特許請求の範囲第１７項において、前記電気音響
トランスデューサが、それ自身で振動する材料で構成さ
れることを特徴とする薄膜光導波路型光ヘッド。 ２０、特許請求の範囲第１７項において、前記電気音響
トランスデューサの表面弾性波とレーザ光源の発する光
との間に同期をとる回路を設け、この回路は、上記導波
路の屈折率の疎密が所定の場合のみレーザ光源が光を発
するように機能することを特徴とする薄膜光導波路型光
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62223947A JP2594970B2 (ja) | 1986-09-09 | 1987-09-09 | 薄膜光導波路型光ヘツド |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-212312 | 1986-09-09 | ||
| JP21231286 | 1986-09-09 | ||
| JP62223947A JP2594970B2 (ja) | 1986-09-09 | 1987-09-09 | 薄膜光導波路型光ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183636A true JPS63183636A (ja) | 1988-07-29 |
| JP2594970B2 JP2594970B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=26519145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62223947A Expired - Lifetime JP2594970B2 (ja) | 1986-09-09 | 1987-09-09 | 薄膜光導波路型光ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594970B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02183429A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-18 | Hitachi Ltd | 情報記録再生用光ピックアップ |
| JPH04281232A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッドおよび光学的情報記録／再生装置 |
| US6776176B1 (en) * | 2000-05-26 | 2004-08-17 | Terastor Corporation | Applications of acoustic waves in data storage devices |
| JP2009104734A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Konica Minolta Opto Inc | 微小スポット生成構造及び光ヘッド |
| CN112605542A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-06 | 珠海市镭通激光科技有限公司 | 一种激光系统及其加工柔性线路板的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979441A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Omron Tateisi Electronics Co | 光学的読取装置 |
| JPS60129938A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Hitachi Ltd | 光ヘツド |
| JPS6192439A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式情報記録再生装置 |
-
1987
- 1987-09-09 JP JP62223947A patent/JP2594970B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPH02183429A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-18 | Hitachi Ltd | 情報記録再生用光ピックアップ |
| JPH04281232A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッドおよび光学的情報記録／再生装置 |
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| CN112605542A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-06 | 珠海市镭通激光科技有限公司 | 一种激光系统及其加工柔性线路板的方法 |
| CN112605542B (zh) * | 2020-12-21 | 2025-09-26 | 珠海市镭通激光科技有限公司 | 一种激光系统及其加工柔性线路板的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2594970B2 (ja) | 1997-03-26 |
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