JPS63186441A - 液晶表示体検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、プローブ測定方法に関する。

（従来の技術） 最近液晶テレビの普及が進んでおり、このテレビの量産
工程におけるテストの自動化の開発が要望されている０
本発明者はこの要望に対処するためのプローブ装置を開
発している、即ち、被測定体の例えばガラス基板に形成
された液晶パネルの電気的特性の測定方法は、測定ステ
ージにガラス基板を載置し、正確に位置決めした後に、
このガラス基板に形成されたパネルの電極にプローブカ
ードに取着した針を接触させ、この接触状態でプローブ
カードに接続しているテスターで電気的特性の測定をし
ている。このプローブカードは例えば実公昭５８−２６
５３０号公報などで周知である。

（発明が解決しようとする問題点） またＩＣの高集積化が技術革新に伴ない著しく発達して
おり、この技術により出来たＩＣを測定する技術も対応
要求される。このような高集積化ということは、ＩＣを
構成する端子数が増加することであり収容素子数の増加
は１チツプあたりの電極パラド数の増加となる。この電
極パッド数の増加はプローブ針数を増加させる必要があ
る。

しかしながらプローブ針を印刷回路基板に取着させるに
は、熟練者が一本一本長時間かけて作成している。この
作業はプローブ針数が増加するにしたがい難易度が高く
なる。これは針間隔が狭くなり絶縁状態を保持した状態
でプローブ装置を製造することは困難となる。ゆえにプ
ローブ針数の多い印刷回路基板はど高価なものとなる。

又このプローブ針は壊れ易く、一度壊れてしまうと他の
プローブ針が正常でも、この印刷回路基板は使用不可能
となり、修理にはかなりの時間と高度な熟練技術を必要
とし汎用性がなく、操作上極めて不便であり多大な損害
を被ることになる。

この発明は上記点を改善するためになされたもので、被
測定体の測定装置を安価で、なおかつ故障などにも即座
に対応可能なプローブ測定方法を提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題を解決するための手段） この発明は、テスターの触針列を支持する回路基板を少
なくとも２つの回路基板に分配させて設けた複数個のプ
ローブカードの触針を被測定体の多数の測定パット部に
接触させる手段と、この接触状態で上記テスターで上記
被測定体の電気的特性を測定する手段とを具備してなる
ことを特徴とするプローブ測定方法を得るものである。

（作　用） 被測定体を測定するための触針配列を少なくとも２つの
回路基板により分配したプローブにより組み合わせて電
気的に接続し、この接続状態で被測定体の測定を実行す
る。この方法により、被測定体の測定を安価でなおかつ
故障などにも即座に対応可能な汎用性が向上する効果が
得られる。

（実施例） 次に本発明プローブ測定方法の一実施例を図を参照して
説明する。この実施例は被測定体として例えば液晶テレ
ビなど画像表示用液晶パネル■が形成されたガラス基板
■を大型角型基板用プローバで測定した測定方法の例で
ある。

この液晶パネル■にはｘ−Ｙマトリックス配線回路やＴ
ＰＴ技術により形成された液晶表示駆動回路が形成され
ている。パネルの周辺には１辺に対して約３００個の電
極が形成されている。

このパネル■の電気的特性を測定する装置は、例えば第
４図（Ａ）示すプローブ装置で測定する。

このプローブ装置には測定部においてプローブカードが
取付けられている。このプローブカードは。

第１のプローブカード■及び第２のプローブカード０で
構成されている。第１のプローブカード■は第１図（Ａ
）に示す如く例えば縦１００ｍｍ横１５０＋＋ｎ＋厚さ
３ｆｆＩ１１の絶縁性基板であり、この基板の中心部に
は例えば直径４０＋ｎｍの円形状穴■がくり抜かれてい
る。この穴の周縁にはプローバのＹ方向に相応してプロ
ーブ針（ハ）が測定ステージ（９）方向に斜めに取着さ
れていて、高さとして例えば約１０ｍｍである。

このプローブ針■取着部からは印刷回路が基板に配線（
１０）されている。第２のプローブカード０は第１図（
Ｂ）に示す如く例えば縦１５０■横１００ｍｍ厚さ３＋
ｎの絶縁性基板で中心部には例えば直径４０ｍｍの円形
状穴（１１）がくり抜かれている。この穴（１１）周縁
にはプローバのＸ方向に相応してプローブ針（１２）が
測定ステージ０）方向に斜めに取着されていて高さとし
て例えば約１５＋ｎｍである。このプローブ針（１２）
取着部からは印刷回路が配線（１３）されている。　こ
のプローブカード（！１５１（ｆＥＤは第１図（Ｃ）の
ように第１のプローブカード■の上に第２のプローブカ
ード■を重ね合わせて設定する。この第２のプローブカ
ード０は、インサートリング（１５）に保持されている
プローブカードソケット（１６）にネジ止めして固定す
る。プローブカードソケット（１６）にはテスターに接
続しているピン（１７）が植設されていて、このピン（
１７）は第２のプローブカード０の配線（１３）に接触
している。又第１のプローブカード０はインサートリン
グ（１５）に設けられた突出部（１８）に保持されここ
でネジ止めし固定する。この突出部（１８）はモータ（
１９）に連結したインサートリング（１５）内に設けら
れた回転軸に取付られでおり、モータ（１９）を回転さ
せることにより上下動可能となっている。即ち第１のプ
ローブカード０は上下動可能である。又プローブカード
ソケット（１６）のピン（１７）と第１のプローブカー
ド０の配線（１０）とはシールドワイヤ（２１）で接続
されている。このシールドワイヤ（２１）は余裕をもた
せた長さである。

又このプローバはガラス基板■を収納したカセット（２
３）をカセット載置台（２４）に載置する収納部を有す
る。このカセット（２３）はガラス基板■を所定間隔を
設けて平行に２０枚設定可能となっている。

カセット載置台（２４）は回転軸（２５）を介してモー
タ（２６）に連結しており、モータ（２６）の回転によ
り上下動可能となっている。カセット（２３）は２カセ
ツト収納可能でカセット載置台（２４）も２系統配設さ
れている。このカセット（２３）の収納部からガラス基
板■を第４図（Ｂ）に示す測定ステージ０に載置するに
は、測定ステージ■）に設けられた搬送機構により行な
う。この搬送機構は一軸上をスライドする構造になって
おり、板状アーム（２７）が板状体（２８）により形成
されるガイドに沿って移動する構成になっている。板状
アーム（２７）は電気モータ（２９）の回転により回転
軸に係合したベルト（３ｏ）を回転し、このベルト（３
０）の回転によりスクリュー（３１）を動作させ螺合作
用で係合しスライドさせるスライド機構となっている。

又板状体（２８）は上下動可能となっており第４図（Ｃ
）に示す如くスライド機構が動作中ガラス基板■を損傷
させないため下状態に設定し、スライド機構がスライド
して元に戻った状態で形成される面により均一平面が形
成され、測定ステージ■を構成している。又板状アーム
（２７）と板状体　（２８）には真空吸着機構が構成さ
れている。この測定ステージ（９）は、Ｘ方向・Ｙ方向
・Ｚ方向・θ方向の駆動系が設けられており、この方向
に移動可能である。測定位置において、測定ステージ（
９）の対向面にプローブカード■０が相対的に設定され
ている。

次にこの装置を使ってこの測定方法について説明する。

まずガラス基板■をカセット（２３）から搬出し測定ス
テージ０に載置する。これは測定ステージ（９）の板状
体（２８）を下動させ、カセット（２３）に平行に収納
されているガラス基板■の間隙に測定ステージ（９）の
スライド機構により板状アーム（２７）を挿入し、その
後カセット載置台（２４）を所定間隔だけ下動させ、板
状アーム（２７）にガラス基板■を載置する。載置され
たガラス基板■を真空吸着機構により吸着しスライド搬
出する。搬出後、板状体（２８）を上動させ測定ステー
ジ（９）を均一平面としてガラス基板■を正確に載置す
る。次に測定ステージ０に載置したガラス基板■の位置
決めを行なう。これは測定ステージ０のＸ方向・Ｙ方向
とガラス基板■のコーナ一部のＸ方向、Ｙ方向のズレを
レーザ認識機構やパターン認識機構で認識し、ズレ量だ
け測定ステージ（９）をθ方向に回転し補正する。

この位置決めしたガラス基板■を載置した測定ステージ
０をプローブカード００設定対向位置に移動する。ここ
で第３図に示したパネル■の電極０間の（Ａ　−８）及
び（Ｃ−Ｏ）の導通測定を実行する。

まず第１のプローブカード■を第２図（Ａ）に示す如く
下状態に設定する。次に測定ステージ（９）を垂直方向
に上動し、第１のプローブカード■のプローブ針（８）
とＡ、Ｂの電極■を接触させる。この接触状態で（Ａ　
−８）の導通測定を実行する。この後、第１のプローブ
カード■を第２図（Ｂ）に示す如く下状態に設定する。

次に測定ステージ（９）を垂直方向に上動し、第２のプ
ローブカード０のプローブ針（１２）とＣ，Ｄの電極■
を接触させる。この接触状態で（Ｃ−Ｏ）の導通測定を
実行する。測定後測定ステージ（９）を垂直に下動させ
、Ｘ方向やＹ方向にプローブカード■と相対的に移動し
て次のパネル■の測定位置に設定する。この間に第１の
プローブカード■を再び下状態に設定する。この動作を
繰返しすべてのパネルα）の測定を実行する。

測定終了後このガラス基板■をカセット（２３）の元の
位置に測定ステージ（９）のスライド機構によりもどす
、その後他のガラス基板■の測定を実行し、カセット（
２３）に収納しである、すべてのガラス基板■の測定を
実行する。

上記実施例においては第１のプローブカード■を上下動
可能としたことにより、第１のプローブカード■と第２
のプローブカード０のプローブ針（８）（１２）を交互
に被測定体の電極■に接触させ測定を実行していた。し
かしながら必ずしも交互に接触させなくても良い。例え
ば第５図に示す如く第１のプローブカード０と第２のプ
ローブカード０のプローブ針（ハ）（１２）を同時に被
測定体の電極■に接触させることも可能である。このと
き第２のプローブカード０はプローブカードソケット（
１６）に取付ける。又第１のプローブカード■は上下動
させる必要がないのでインサートリング（１５）に取付
けるだけでよい。このことにより第１のプローブカード
■の配線（１０）とプローブカードソケット（１６）の
ピン（１７）とを接続するシールドワイヤ（２１）は、
余裕をもたせたものでなくてよい。

他の実施例として、同種類の四つのプローブカード（３
５）を使用しての例を説明する。

プローブカードとして、印刷回路基板１例えば縦５０ｍ
ｍ横５０ｍｍ厚さ３圃の一辺にプローブ針（３６）を取
着して、このプローブ針（３６）取着部から回路配線を
したものである。このプローブカード（３５）を第６図
に示す如く四つのプローブカード（３５）のプローブ針
（３６）の取着した辺で四辺を形成する。このプローブ
カード（３５）は、プローブカードソケットに夫々ネジ
１本で取付けて、プローブカードソケットに植設されて
いるピンとプローブカードの配線を接続している。

この四つのプローブカード（３５）を使って被測定体の
測定を実行する場合、被測定体の電極とプローブ針（３
６）の位置合わせをしなければならないが。

このことは各プローブカード（３５）をプローブカード
ソケットにネジ１本で取付けであるためプローブカード
（３５）位置の補正は簡単に行なえる。この正確な位置
合わせの後被測定体の測定を実行する。

このように４つの同種類のプローブカードを設けて被測
定体の測定をしたため、何らかの原因で１つのプローブ
カードがこわれてしまってもこのこわれたプローブカー
ドのみを取替えるだけで測定を続行でき、損害も最小限
でくいとめることができる。又四つとも同種類のプロー
ブカードにする必要はなく例えば対向する辺で同種類の
プローブカードを使うとか、いろいろな組合せが可能で
ありかなり高い汎用性がある。

さらに上記実施例において、異品種の被測定体の電極間
隔を統一すれば同じプローブカードで多種類の被測定体
を測定可能とする。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、少なくとも２つの回路基
板の夫々に取着した触針を設けて被測定体の測定を実行
可能としたことにより、被測定体の測定を安価でなおか
つ汎用性も向上する効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するためのプローブカ
ードの図、第２図は第１図の測定説明図、第３図は第１
図の液晶パネルの説明図、第４図は第１図のプローブ装
置の図、第５図第６図は第１図の他の実施例を説明する
ための図である。 ５　第１のプローブカード ６　第２のプローブカード ８．１２　プローブ針 １６　　プローブカードソケット ２１　　シールドワイヤ ０１図 （Ａ）　　　　　　　　　　（１３） （Ｃ） 第２図 （Ａ） （Ｂ） 第３図 第４図（Ａ） 第４　口 （Ｂ） （Ｃ） 第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）テスターの触針列を支持する回路基板を少なくと
   も２つの回路基板に分配させて設けた複数個のプローブ
   カードの触針を被測定体の多数の測定パット部に接触さ
   せる手段と、この接触状態で上記テスターで上記被測定
   体の電気的特性を測定する手段とを具備してなることを
   特徴とするプローブ測定方法。
2. （２）第１の回路基板に取着した触針を被測定体の測定
   部に接触させ電気的特性を測定後第２の回路基板に取着
   した触針を被測定体の測定部に接触させ電気的特性を測
   定するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のプローブ測定方法。