JPS6318794Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318794Y2 JPS6318794Y2 JP3113484U JP3113484U JPS6318794Y2 JP S6318794 Y2 JPS6318794 Y2 JP S6318794Y2 JP 3113484 U JP3113484 U JP 3113484U JP 3113484 U JP3113484 U JP 3113484U JP S6318794 Y2 JPS6318794 Y2 JP S6318794Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- shaft
- rotating shaft
- case
- shaft end
- Prior art date
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- Expired
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
《産業上の利用分野》
この考案は、例えばターボ分子ポンプに用いら
れる磁気浮揚式の回転軸支持装置に関し、特に、
その浮揚状態を検出するためのセンサの取付の改
良に関する。
れる磁気浮揚式の回転軸支持装置に関し、特に、
その浮揚状態を検出するためのセンサの取付の改
良に関する。
《従来技術》
ターボ分子ポンプの構造の１つに、第１図に示
すように上部開口した有底円筒型のハウジング１
内にロータケース２を設置し、このロータケース
２の上部に突出するロータ軸３上に多段の翼を形
成したロータ翼４を取り付け、さらに各翼間にハ
ウジング１の内周に固定されるステータ翼５を配
置したものがある。
すように上部開口した有底円筒型のハウジング１
内にロータケース２を設置し、このロータケース
２の上部に突出するロータ軸３上に多段の翼を形
成したロータ翼４を取り付け、さらに各翼間にハ
ウジング１の内周に固定されるステータ翼５を配
置したものがある。
ロータケース２内には高周波モータ６が配置さ
れ、前記ロータ軸３を高速で回転させるようにし
ている。
れ、前記ロータ軸３を高速で回転させるようにし
ている。
このように高速でロータ翼４を回転する場合に
おいて、通常のベアリングでロータ軸を軸支する
ことは、摩耗等において好ましくなく、またベア
リングの潤滑油などが揮散するなどの理由によ
り、この構造では磁気的な支持方法によつてロー
タ軸３を支持している。
おいて、通常のベアリングでロータ軸を軸支する
ことは、摩耗等において好ましくなく、またベア
リングの潤滑油などが揮散するなどの理由によ
り、この構造では磁気的な支持方法によつてロー
タ軸３を支持している。
つまり、ロータ軸３の横方向のぶれに対して
は、半径方向の電磁石７をロータ軸３の周縁に配
置するとともに、このぶれを検出するセンサ８を
配置し、このセンサ８の検出出力に応じて各電磁
石７の吸引力を制御することでロータ軸３の軸心
を一定とするようにしている。
は、半径方向の電磁石７をロータ軸３の周縁に配
置するとともに、このぶれを検出するセンサ８を
配置し、このセンサ８の検出出力に応じて各電磁
石７の吸引力を制御することでロータ軸３の軸心
を一定とするようにしている。
また、ロータ軸３の軸方向を支持するのは、ロ
ータ軸３の下端においてロータケース２の底部開
口に軸端ケース９を固定し、その内底面中央にロ
ータ軸３の軸端に対する離間距離を検出するセン
サ１０を配置し、また、このセンサ１０の周囲に
おいて、軸端ケースａの内底面にリング状の永久
磁石１１を埋設しておく一方、ロータ軸３の下部
に異極の永久磁石１１を埋設したフランジ１２を
設け、ロータ軸３を前記永久磁石１１同志の吸引
力によつて常時下方側に引つ張る一方、軸端ケー
ス９の上部において、ロータ軸３の周囲に電磁石
１３を設置しておき、さらにこの電磁石１３に対
向してロータ軸３にはヨーク１４を固定してお
く。
ータ軸３の下端においてロータケース２の底部開
口に軸端ケース９を固定し、その内底面中央にロ
ータ軸３の軸端に対する離間距離を検出するセン
サ１０を配置し、また、このセンサ１０の周囲に
おいて、軸端ケースａの内底面にリング状の永久
磁石１１を埋設しておく一方、ロータ軸３の下部
に異極の永久磁石１１を埋設したフランジ１２を
設け、ロータ軸３を前記永久磁石１１同志の吸引
力によつて常時下方側に引つ張る一方、軸端ケー
ス９の上部において、ロータ軸３の周囲に電磁石
１３を設置しておき、さらにこの電磁石１３に対
向してロータ軸３にはヨーク１４を固定してお
く。
そして、前記センサ１０の検出出力に応じた吸
引力となるように前記電磁石１３を励磁すること
により、永久磁石１１の吸引力に抗してロータ軸
３を浮揚状態に支持するようにしている。
引力となるように前記電磁石１３を励磁すること
により、永久磁石１１の吸引力に抗してロータ軸
３を浮揚状態に支持するようにしている。
なお、図中符号１５，１６は、保護用のドライ
ベアリングであり、停止時において浮揚力のなく
なつたロータ軸３が自重および永久磁石１１の吸
引力によつて前記各ドライベアリング１５，１６
に軸受されるような構成となつている。
ベアリングであり、停止時において浮揚力のなく
なつたロータ軸３が自重および永久磁石１１の吸
引力によつて前記各ドライベアリング１５，１６
に軸受されるような構成となつている。
以上の如き構成のロータ軸の支持装置におい
て、軸端カバー９は旋削加工等により一体に形成
されたものであり、そのために、ロータ軸３の下
端部とセンサ１０との間隔はその加工精度、およ
び組立精度によつて初期設定されてしまう。
て、軸端カバー９は旋削加工等により一体に形成
されたものであり、そのために、ロータ軸３の下
端部とセンサ１０との間隔はその加工精度、およ
び組立精度によつて初期設定されてしまう。
しかしながら、前記センサ１０としては、磁気
コイルを用いており、従つて、このセンサ１０の
センサターゲツト３ａに対する感度はその間隔に
応じて非線形となる。
コイルを用いており、従つて、このセンサ１０の
センサターゲツト３ａに対する感度はその間隔に
応じて非線形となる。
そのため、このセンサターゲツト３ａとセンサ
１０との間の距離が、その加工公差および組立公
差の範囲内で大きく拡がつたものについては、従
来ではセンサ感度の低い分を回路ゲインを上げる
ことで補うようにしている。しかし、センサ１０
の感度は非線形なために、回路ゲインを上げると
発振し易くなり、その調整が困難であつた。
１０との間の距離が、その加工公差および組立公
差の範囲内で大きく拡がつたものについては、従
来ではセンサ感度の低い分を回路ゲインを上げる
ことで補うようにしている。しかし、センサ１０
の感度は非線形なために、回路ゲインを上げると
発振し易くなり、その調整が困難であつた。
《考案の目的》
この考案は、以上の如き磁気浮揚式の回転軸支
持装置において、センサのゲインの初期調整を簡
単に行なえるようにすることを目的とする。
持装置において、センサのゲインの初期調整を簡
単に行なえるようにすることを目的とする。
《考案の構成》
前記目的を達成するために、本考案は、軸端側
のケースを、回転軸の外周を包囲するスリーブ
と、このスリーブにねじ込み式に取り付けられ、
前記回転軸の軸端を覆うカバーとに２分割構成
し、軸端カバーの捩込み量に応じてセンサと軸端
の離間距離を調整できるようにしたことを特徴と
する。
のケースを、回転軸の外周を包囲するスリーブ
と、このスリーブにねじ込み式に取り付けられ、
前記回転軸の軸端を覆うカバーとに２分割構成
し、軸端カバーの捩込み量に応じてセンサと軸端
の離間距離を調整できるようにしたことを特徴と
する。
《実施例》
第２図はこの考案をターボ分子ポンプに適用し
た場合について、その要部を示すものである。
た場合について、その要部を示すものである。
なお、要部以外は第１図と全く同様なのでその
説明は省略し、また従来と同一部分については同
一符号を用いて説明する。
説明は省略し、また従来と同一部分については同
一符号を用いて説明する。
図において、この軸端ケースは、ロータケース
２の底面開口部に嵌合されるスリーブと、このス
リーブの内周部に嵌合される軸端カバー２１とか
らなつている。
２の底面開口部に嵌合されるスリーブと、このス
リーブの内周部に嵌合される軸端カバー２１とか
らなつている。
前記スリーブ２０の内周部には雌ネジ部２２が
切つてあり、これに対向して軸端カバー２１の外
周部には雄ネジ部２３が切つてあり、スリーブ２
０に対するカバー２１のねじ込み量により、ネジ
部のピツチに応じてセンサターゲツト３ａに対す
るセンサ１０の離間距離の調整を行なえるように
なつている。
切つてあり、これに対向して軸端カバー２１の外
周部には雄ネジ部２３が切つてあり、スリーブ２
０に対するカバー２１のねじ込み量により、ネジ
部のピツチに応じてセンサターゲツト３ａに対す
るセンサ１０の離間距離の調整を行なえるように
なつている。
《考案の効果》
この考案では上述の如く構成されているため
に、例えばこれをターボ分子ポンプのロータ軸の
支持装置に適用した場合には、ロータケース内に
対するロータ軸３および各部を組み立てた後でも
容易なセンサの感度を線形領域に位置するように
調整できる。従つて、本考案では従来の回路のみ
によつて調整を行なつていたものに比べて、ゲイ
ン調整が線形領域で行なわれるため、調整が容易
で発振等の現象もないなどの効果がある。
に、例えばこれをターボ分子ポンプのロータ軸の
支持装置に適用した場合には、ロータケース内に
対するロータ軸３および各部を組み立てた後でも
容易なセンサの感度を線形領域に位置するように
調整できる。従つて、本考案では従来の回路のみ
によつて調整を行なつていたものに比べて、ゲイ
ン調整が線形領域で行なわれるため、調整が容易
で発振等の現象もないなどの効果がある。
第１図は磁気浮揚式の回転軸支持装置を有する
ターボ分子ポンプの構造を示す縦断面図、第２図
はこの考案の要部を示す部分拡大断面図である。 ３……ロータ軸、１０……センサ、１１……永
久磁石、１３……電磁石、２０……スリーブ、２
１……軸端カバー、２２……雌ネジ部、２３……
雄ネジ部。
ターボ分子ポンプの構造を示す縦断面図、第２図
はこの考案の要部を示す部分拡大断面図である。 ３……ロータ軸、１０……センサ、１１……永
久磁石、１３……電磁石、２０……スリーブ、２
１……軸端カバー、２２……雌ネジ部、２３……
雄ネジ部。
Claims (1)
- 回転軸の下端を覆うケースの内底面に、軸端と
の離間距離を検出するセンサを設けるとともに、
センサの周囲には回転軸を吸引する永久磁石を配
置し、さらにケース上には永久磁石の吸引方向と
は逆向きの方向に回転軸を吸引する電磁石を対向
配置し、前記センサ出力に応じた吸引力となるよ
うに電磁石を励磁することによつて、回転軸を浮
揚状態に支持する回転軸支持装置において、前記
ケースを、回転軸の外周を包囲するスリーブと、
このスリーブに捩込み式に取り付けられる軸端カ
バーとに２分割構成し、軸端カバーのねじ込み量
に応じてセンサと軸端間の離間距離を調整できる
ようにしたことを特徴とする回転軸支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113484U JPS60143925U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 回転軸支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113484U JPS60143925U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 回転軸支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143925U JPS60143925U (ja) | 1985-09-24 |
| JPS6318794Y2 true JPS6318794Y2 (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=30531462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3113484U Granted JPS60143925U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 回転軸支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60143925U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023032812A1 (ja) * | 2021-08-30 | 2023-03-09 | 有限会社宮脇工房 | 軸受及び回転装置 |
-
1984
- 1984-03-02 JP JP3113484U patent/JPS60143925U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60143925U (ja) | 1985-09-24 |
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