JPS6318826B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、透明管の管状部内面に導電膜を蒸着
し電極をレーザビームにより形成する装置及びそ
の形成方法に関するものである。

従来、透明管、たとえば撮像管の管状部内面に
導電膜を蒸着し、この導電膜にレーザビームを照
射して、静電偏向電極を形成する場合、所定のパ
ターンに沿つて、管状部を回転方向及び回転方向
に垂直な方向の送り量について、相対的に移動制
御する制御装置を構成していた。

このように、レーザビームを電極パターンに沿
つて相対的に移動制御するには、コンピユーター
などによる高度な数値制御方式により構成される
ため、電極パターンについて、座標変換を行なつ
たプログラミングのソフト開発を必要とし、又座
標入力装置、演算制御装置、パルスモーター駆動
装置の高価な制御装置の集合による構成となるば
かりでなく、機械可動部においても、高精度な位
置決め送り機構を設ける必要があり、さらに高精
度で且つ相対的な移動制御を行なうために、高速
加工に困難が生ずる欠点があつた。

本発明は、上記の欠点を除去し、高価な制御装
置を必要とせず、また高精度な位置決め送り機構
も不要な透明管の内面電極形成装置及びその形成
方法を提供するものである。

第１図は、従来の方式による撮像管の内面電極
形成装置の構成図を示し、１はレーザビーム、２
は撮像管で内面に導電膜、２ａは蒸着されてい
る。４は撮像管２を装置する基台で、第１のパル
スモーター６と第２のパルスモーター８によつ
て、撮像管の管軸を中心に往復回転すると共に管
軸方向（長手方向）に沿つて移動するようにし
て、レーザビーム１の導電膜２ａ上の走査軌跡が
ジグザグパターンとなるようにしてある。６ａは
第１のパルスモーター６の駆動装置で管軸を中心
に往復回転させるもので、８ａは第２のパルスモ
ーター８の駆動装置で、管軸方向に沿つて精密送
りネジ１０を回転し基台４を左右に移動するもの
で、それぞれの制御信号は、予め所定のプログラ
ミングによつて、電極パターンに沿つて相対的に
移動するように、座標入力装置１２と演算制御装
置１４によつて制御されるようになつている。

第２図は、本発明による透明管の内面電極形成
装置の概略を示す断面斜視図で、２０は往復動が
可能な移動台２２は軸受で、両側に設けられたホ
ルダー２４によつて透明管２６の両端とマスク４
２を保持し、固定ハンドル２３を操作して管軸方
向の動きを固定する様に構成され、シンクロナス
モーター２８からの回転動力をベルト３０を介し
て、回転軸３２に伝達される。３４は減速ギヤで
モーター２８からの回転動力を、減速して送りネ
ジ３６に伝達し、移動台２０を管軸方向に移動可
能な様に構成されている。５０はレーザビームで
ある。

第３図は、透明管の要部断面を示す斜視図で、
４８は透明管２６の内面に蒸着された導電膜であ
る。

第４図は、レーザビームマスクの斜視図であ
る。

次に作用について説明すると、第３図に示す透
明管２６の外周に第４図に示す窓部４４を有する
熱伝導率の高い銅系金属からなるマスク４２を周
設し、第２図に示す様に取り付け、モーター２８
を一方向に回転させることにより、その回転動力
はベルト３０を介して、回転軸３２が一方向に回
転して、透明管２６を連続回転させると同時に、
減速ギヤ３４によつて減速された回転動力が、送
りネジ３６を駆動し移動台２０を管軸方向に移動
する。透明管２６が回転されると、透明管２６の
管軸方向の移動量は、レーザビーム５０によつ
て、導電膜４８が除去される管軸方向の除去巾以
下が、減速ギヤ３４を介して送りネジ３６によつ
て、移動するもので、それらの連続した作用によ
り、１点に連続照射されているレーザビーム５０
が透明管２６の導電膜４８の全面に照射される様
にり、該透明管２６の外周には、所定の電極パタ
ーンが形成されたマスク４２が周設されており、
窓部４４を透過したレーザビームのみが、導電膜
を除去し、撮像管の静電偏向電極を形成する。

レーザビームマスク４２は、薄肉の円筒状に加
工された金属管をエツチングにより所定の電極パ
ターンを設けマスクとする。あるいは薄い平板に
エツチングにより所定の電極パターンを設け、円
筒状に加工レマスクとする方法で作られ、又レー
ザビームによる損傷を防ぐために、熱伝導率が高
い銅系金属を使用し、表面に光反射率の高いメツ
キ層を形成するものである。

第１図に示す様な従来の技術では、精密位置決
め送りを必要とするため、高価なパルスモーター
６，８及びその駆動装置６ａ，８ａを二台も使用
しなければならず又相対的移動制御を行なうため
に、複雑で高価な制御装置を必要としていた、本
発明によれば、精密位置決め送りが不要で、一台
のモーターで電源を投入するだけでよく、しかも
安価なシンクロナスモーターが使用出来るもので
ある。又単純な機械構成で、レーザビームが一定
時間に全面を走査する様に構成されているため、
電極パターンが複雑化しても加工時間は増大せず
一定である、しかも容易に高速化が計られ、さら
に装置は安価に構成出来るため、工数を下げ低コ
スト化へ実用上多大なる効果を示すものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の製造方法による撮像管の内面
電極形成装置の構成図、第２図は本発明による透
明管の内面電極形成装置の一実施例を示す一部切
欠斜視図、第３図は透明管の要部切欠斜視図、第
４図はレーザビームマスクの斜視図である。 ５０……レーザビーム、２６……透明管、４８
……導電膜、４２……レーザビームマスク、４４
……窓部、２８……モーター。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 透明管の管状部内面に導電膜を蒸着し、電極
   を形成する装置において、透明管に連続回転を与
   え、且つ長手方向に移動制御する駆動機構と、前
   記透明管の導電膜を除去するレーザビームと、前
   記透明管の外周に周設した前記透明管の内面に形
   成する電極形状を定める窓部を有するマスクとを
   備え、前記レーザビームを前記マスクの全面に照
   射して窓部より透過せしめ、前記透明管の導電膜
   を除去し、所定の電極形状に形成する如く構成し
   たことを特徴とする透明管の内面電極形成装置。 ２ 透明管は撮像管であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項に記載の透明管の内面電極形成
   装置。 ３ マスクは熱電導率の高い銅系金属であること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の透明
   管の内面電極形成装置。 ４ 透明管の管状部内面に導電膜を蒸着し、該導
   電膜にレーザビームを照射して除去し所定の電極
   を形成する方法において、透明管の外周にレーザ
   ビームを遮蔽、透過するマスクを周設し、該マス
   クを介して、レーザビームにより前記導電膜を除
   去して所定の電極形状に形成することを特徴とす
   る透明管の内面電極形成方法。