JPS6319045B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6319045B2 JPS6319045B2 JP13173881A JP13173881A JPS6319045B2 JP S6319045 B2 JPS6319045 B2 JP S6319045B2 JP 13173881 A JP13173881 A JP 13173881A JP 13173881 A JP13173881 A JP 13173881A JP S6319045 B2 JPS6319045 B2 JP S6319045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- transparent conductive
- film
- conductive film
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、スクリーン印刷と焼成により、ガラ
ス、セラミツク等の絶縁基板上に、基板との密着
性が優れた金属酸化物よりなる透明導電性被膜を
所望の形状に形成するための透明導電性被膜形成
用ペーストに関する。
ス、セラミツク等の絶縁基板上に、基板との密着
性が優れた金属酸化物よりなる透明導電性被膜を
所望の形状に形成するための透明導電性被膜形成
用ペーストに関する。
ガラス、セラミツク等の絶縁基板上に形成した
In，Sn，Sb，Cd等の酸化物被膜は、透過率が高
く良好な導電性を示すことはよく知られており半
導体素子、液晶表示装置等に使用したり、或は、
窓ガラス等の氷結防止用導電膜として利用された
りして近年益々その応用範囲が拡大してきてい
る。この様な金属酸化物透明導電性被膜の形成方
法としては、化学スプレー法、真空蒸着法、スク
リーン印刷法等がある。
In，Sn，Sb，Cd等の酸化物被膜は、透過率が高
く良好な導電性を示すことはよく知られており半
導体素子、液晶表示装置等に使用したり、或は、
窓ガラス等の氷結防止用導電膜として利用された
りして近年益々その応用範囲が拡大してきてい
る。この様な金属酸化物透明導電性被膜の形成方
法としては、化学スプレー法、真空蒸着法、スク
リーン印刷法等がある。
化学スプレー法は、比較的大面積の形状の被膜
を得るには、有利であるが、微細で複雑な形状の
ものを得るには、エツチング等の余分な工程が必
要となり経済的ではない。真空蒸着法は、最近マ
スク蒸着法が発達し、エツチング処理は必要でな
くなつたが、バツチ式である為、量産向きとは言
えない。スクリーン印刷法では、係る問題がなく
目的形状のものを、印刷焼成により得ることがで
き、エツチング処理にともなう廃液処理の必要も
ないという利点がある。
を得るには、有利であるが、微細で複雑な形状の
ものを得るには、エツチング等の余分な工程が必
要となり経済的ではない。真空蒸着法は、最近マ
スク蒸着法が発達し、エツチング処理は必要でな
くなつたが、バツチ式である為、量産向きとは言
えない。スクリーン印刷法では、係る問題がなく
目的形状のものを、印刷焼成により得ることがで
き、エツチング処理にともなう廃液処理の必要も
ないという利点がある。
しかし、従来のスクリーン印刷法では、透明導
電性被膜形成用ペースト自体の安定性や印刷性が
良くないため、スクリーン印刷時の作業性も悪く
且つ、形成された被膜の抵抗値のバラツキもあつ
たので歩留も低いという欠点を持つていた。
電性被膜形成用ペースト自体の安定性や印刷性が
良くないため、スクリーン印刷時の作業性も悪く
且つ、形成された被膜の抵抗値のバラツキもあつ
たので歩留も低いという欠点を持つていた。
従来、この種のペーストにおいては、オクチル
酸インジウム（（C7H13CO2）3In）等のイオン結合
の強い有機酸インジウムを主成分として用いてい
たが、有機酸インジウムは加水分解し易く、又、
ペーストとなした場合、ペーストのゲル化を促進
する等、比較的容易に化学変化するという欠点を
持つていた為、ペースト自体の寿命を短かくし、
スクリーン印刷時の作業性を悪くする原因となつ
ていた。
酸インジウム（（C7H13CO2）3In）等のイオン結合
の強い有機酸インジウムを主成分として用いてい
たが、有機酸インジウムは加水分解し易く、又、
ペーストとなした場合、ペーストのゲル化を促進
する等、比較的容易に化学変化するという欠点を
持つていた為、ペースト自体の寿命を短かくし、
スクリーン印刷時の作業性を悪くする原因となつ
ていた。
又、バインダーにエチルセルローズを用いてい
たが、その熱安定性（500℃で完全燃焼しないこ
ともある）の故に、比較的高抵抗で被膜強度の弱
い被膜しか得られなかつた。本発明者等は、これ
らの欠点をなくす為、前出願（特公昭62―17324
号）に示す如く、焼成により金属酸化物被膜を与
える化合物として、例えば、アセチルアセトン
（Hacac）の配位したトリスアセチルアセトナー
トインジウム（）（In（acac）3）等の有機インジ
ウム錯体を使用したり、抵抗値調整用スズ化合物
として、例えば、ジメチルスズアセトープ
（（CH3）2Sn（acac）2）等の有機スズ錯体を用いて
ペーストの安定性を高め好結果を得ている。更
に、粘性剤として使用するセルローズ化合物に、
ニトロセルローズを用いることで、密着強度大
で、低抵抗な被膜が得られることをつきとめてい
る。
たが、その熱安定性（500℃で完全燃焼しないこ
ともある）の故に、比較的高抵抗で被膜強度の弱
い被膜しか得られなかつた。本発明者等は、これ
らの欠点をなくす為、前出願（特公昭62―17324
号）に示す如く、焼成により金属酸化物被膜を与
える化合物として、例えば、アセチルアセトン
（Hacac）の配位したトリスアセチルアセトナー
トインジウム（）（In（acac）3）等の有機インジ
ウム錯体を使用したり、抵抗値調整用スズ化合物
として、例えば、ジメチルスズアセトープ
（（CH3）2Sn（acac）2）等の有機スズ錯体を用いて
ペーストの安定性を高め好結果を得ている。更
に、粘性剤として使用するセルローズ化合物に、
ニトロセルローズを用いることで、密着強度大
で、低抵抗な被膜が得られることをつきとめてい
る。
しかし、ニトロセルローズを用いた場合、エチ
ルセルローズを用いた場合と比較して、ペースト
自体の寿命が短く、スクリーン印刷時の作業性も
悪いという欠点を持つていた。そこで本発明者ら
は、前出願で、脱酸処理したニトロセルローズを
用いることで特性改善がなされることを見出した
が、スクリーン印刷時にペーストの粘度上昇や、
にじみがあり、作業性がまだ十分とは言えなかつ
た。
ルセルローズを用いた場合と比較して、ペースト
自体の寿命が短く、スクリーン印刷時の作業性も
悪いという欠点を持つていた。そこで本発明者ら
は、前出願で、脱酸処理したニトロセルローズを
用いることで特性改善がなされることを見出した
が、スクリーン印刷時にペーストの粘度上昇や、
にじみがあり、作業性がまだ十分とは言えなかつ
た。
本発明は、叙上の欠点を解消し、ペースト寿命
の長い、印刷作業性の良い、かつ従来通りの被膜
特性、すなわち低抵抗で透明度及び密着強度の良
好さを与える透明導電性被膜形成用ペーストを提
供する目的でなされたものである。
の長い、印刷作業性の良い、かつ従来通りの被膜
特性、すなわち低抵抗で透明度及び密着強度の良
好さを与える透明導電性被膜形成用ペーストを提
供する目的でなされたものである。
本発明は前述の目的を達成するため、焼成によ
つて透明導電性金属酸化物となる有機金属化合物
と、有機溶剤と、粘性剤とを含有する透明導電性
被膜形成用ペーストを対象とするものである。
つて透明導電性金属酸化物となる有機金属化合物
と、有機溶剤と、粘性剤とを含有する透明導電性
被膜形成用ペーストを対象とするものである。
そして、このペースト組成物に、500℃で残渣
がほとんどなく、分子構造中に金属原子やＦ，
Cl，Ｓなどを含まない下記の分子構造式を有する
1.フエニルアゾ―2.ナフトールを添加したことを
特徴とするものである。
がほとんどなく、分子構造中に金属原子やＦ，
Cl，Ｓなどを含まない下記の分子構造式を有する
1.フエニルアゾ―2.ナフトールを添加したことを
特徴とするものである。
分子構造式
〔実施例〕
即ち、ニトロセルローズを用いたペーストの寿
命が短く、スクリーン印刷時にも、印刷シヨツト
数が多くなるにつれペーストの粘度が高くなると
共に、にじみも激しくなるなどの作業性が悪くな
るという点に注目し、ペーストに油溶性有機色素
の１つである1.フエニルアゾ―2.ナフトール（例
えば和光純薬社製 商品名スダン）を添加する
ことにより、スクリーン印刷性を著しく改善する
ことができた。
命が短く、スクリーン印刷時にも、印刷シヨツト
数が多くなるにつれペーストの粘度が高くなると
共に、にじみも激しくなるなどの作業性が悪くな
るという点に注目し、ペーストに油溶性有機色素
の１つである1.フエニルアゾ―2.ナフトール（例
えば和光純薬社製 商品名スダン）を添加する
ことにより、スクリーン印刷性を著しく改善する
ことができた。
ペースト化に必要な有機溶媒としては、ベンジ
ルアルコール、ジプロピレングリコール、などの
高沸点アルコール類、ベンジルアセテート、カル
ビトールアセテート等の高沸点エステル類、ブチ
ルセロソルブ等の高沸点エーテル類などの高沸点
有機溶媒が適用できる。
ルアルコール、ジプロピレングリコール、などの
高沸点アルコール類、ベンジルアセテート、カル
ビトールアセテート等の高沸点エステル類、ブチ
ルセロソルブ等の高沸点エーテル類などの高沸点
有機溶媒が適用できる。
以下、実施例をもとに、更に詳しく本発明を説
明する。
明する。
実施例 １
トリスアセチルアセトナートインジウム（）
2.69重量部とジメチルスズアセトープ0.31重量部
を正確に秤量し、次にブチルカルビトール32.8重
量部とブチルセロソルブ16.4重量部とベンジルア
セテート16.4重量部とジブチルカルビトール16.4
重量部の各溶媒を添加し、120〜150℃で約３時間
加熱濃縮する。濃縮が終了した後、常温までに冷
却し、油溶性有機色素として、和光純薬社製商品
名スダン0.2重量部を混合し、数分間撹拌後、
ニトロセルローズ15.8重量部を混合し、撹拌機で
８時間撹拌して、ニトロセルローズを完全に溶解
させて、透明導電性被膜形成用ペーストを得た。
2.69重量部とジメチルスズアセトープ0.31重量部
を正確に秤量し、次にブチルカルビトール32.8重
量部とブチルセロソルブ16.4重量部とベンジルア
セテート16.4重量部とジブチルカルビトール16.4
重量部の各溶媒を添加し、120〜150℃で約３時間
加熱濃縮する。濃縮が終了した後、常温までに冷
却し、油溶性有機色素として、和光純薬社製商品
名スダン0.2重量部を混合し、数分間撹拌後、
ニトロセルローズ15.8重量部を混合し、撹拌機で
８時間撹拌して、ニトロセルローズを完全に溶解
させて、透明導電性被膜形成用ペーストを得た。
このようにして得られたペーストは、チクソト
ロピー性（ペーストを基板等の上に印刷した後で
も、印刷したペーストが流れない性質）が最適で
あり、スクリーン印刷に極めて適したものであつ
た。
ロピー性（ペーストを基板等の上に印刷した後で
も、印刷したペーストが流れない性質）が最適で
あり、スクリーン印刷に極めて適したものであつ
た。
なお、本発明ペーストをソーダガラス基板に所
望形状に、スクリーン印刷し、150℃、20分間予
備乾燥後、500℃30分間焼成して得られた透明導
電性被膜の面積抵抗値は３〜4KΩ／cm2で、密着
強度等の被膜特性は、従来と比較して何ら変るこ
とのない優秀なものであることは勿論である。
望形状に、スクリーン印刷し、150℃、20分間予
備乾燥後、500℃30分間焼成して得られた透明導
電性被膜の面積抵抗値は３〜4KΩ／cm2で、密着
強度等の被膜特性は、従来と比較して何ら変るこ
とのない優秀なものであることは勿論である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 焼成によつて透明導電性金属酸化物となる有
機金属化合物と、有機溶剤と、粘性剤とを含有す
る透明導電性被膜形成用ペーストにおいて、 該ペーストに、1.フエニルアゾー2.ナフトール
が添加されていることを特徴とする透明導電性被
膜形成用ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13173881A JPS5834505A (ja) | 1981-08-22 | 1981-08-22 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13173881A JPS5834505A (ja) | 1981-08-22 | 1981-08-22 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834505A JPS5834505A (ja) | 1983-03-01 |
| JPS6319045B2 true JPS6319045B2 (ja) | 1988-04-21 |
Family
ID=15065031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13173881A Granted JPS5834505A (ja) | 1981-08-22 | 1981-08-22 | 透明導電性被膜形成用ペ−スト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834505A (ja) |
-
1981
- 1981-08-22 JP JP13173881A patent/JPS5834505A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5834505A (ja) | 1983-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4420500A (en) | Composition and process for preparing transparent conducting film | |
| JP2001210156A (ja) | 透明導電性酸化スズ膜形成用塗布溶液及び透明導電性酸化スズ膜の製造方法並びに透明導電性酸化スズ膜 | |
| US4450100A (en) | Paste for forming transparent conductive coating film | |
| JP3338966B2 (ja) | 透明導電膜形成用塗布液 | |
| JPS5889666A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト及びその製造方法 | |
| JPS6319046B2 (ja) | ||
| JPS6351470B2 (ja) | ||
| JP3208794B2 (ja) | 透明導電膜形成用組成物と透明導電膜の形成方法 | |
| JPS5819813A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト | |
| JPS6319044B2 (ja) | ||
| EP0148608B1 (en) | Film-forming composition comprising indium and tin compounds | |
| JPS5861504A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−ストの製法 | |
| JPS5834505A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト | |
| JPS62297470A (ja) | 金属酸化物薄膜形成用ペ−スト | |
| JP3155495B2 (ja) | 透明導電性被膜形成用ペースト | |
| JPH01318044A (ja) | ルテニウムレジネートの製造方法 | |
| JPS6135646B2 (ja) | ||
| JPS6217325B2 (ja) | ||
| JPH0225490B2 (ja) | ||
| JPS5933702A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト | |
| JP2000207959A (ja) | 透明導電膜形成用塗布液およびこれを使用した透明導電膜形成方法 | |
| JPS61113772A (ja) | 透明導電膜形成用組成物 | |
| JPS5918769A (ja) | 透明導電性被膜形成用ペ−スト | |
| JPS6217324B2 (ja) | ||
| JPS6148589B2 (ja) |