JPS5834505A - 透明導電性被膜形成用ペ−スト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、スクリーン印刷と焼成にょシ、ガラス、セラ
イック等の絶縁基板上に１基板との密着性が優れ虎金属
酸化物よシなる透明導電性被膜を所望の形状に形成する
ための透明導電性被膜形成用ペーストに関する。

カラス、セラＺツク等の絶縁基板上に形成したＩｎ％８
１％８ｂ、Ｃｄ等の酸化物波ｇは、透過率が高く良好な
導電性を示すことはよく知られてお９半導体素子、液晶
表示装置等に使用した）、或は１窓ガラス等の氷結防止
用導電膜として利用されたりして近年共々その応用範囲
が拡大してきている〇この様な金属酸化物透明導電性被
膜の形成方法としては、化学スプレー法、真空蒸着法、
スクリーン印岬法郷がある。

を得るには、有利であるが、微細で複雑な形状のものを
得るには、エツチング等の余分な工程が必要となり経済
的ではない０真空蓋着法は、最近マスク蒸着法が発達し
、エツチング処理は必要でなくなったが、バッチ式であ
る為、量産向きとは言えない。スクリーン印刷法では、
係る問題がなく目的形状のものを、印刷焼成により得る
ことができ、エツチング処理にともなう廃液処理の必要
もないという利点がある。

しかし、従来のスクリーン印刷法では、透明導電性被膜
形成用ペースト自体の安定性や印刷性が良くないため、
スクリーン印刷時の作業性も悪く且つ、形成された被膜
の抵抗値のバラツキもあったので歩留も低いという欠点
を持っていた。

従来、この種のペーストにおいては、オクチル酸インジ
ウＡ　（（ＯｙＨＢ　００１）ｇ　Ｉｎ）等のイオン結
合の強い有機酸インジウムを主成分として用いていたが
、有機酸インジウムは加水分解し易く、又、ペーストと
なした場合、ペーストのゲル化を促進する等、比較的容
易に化学変化するという欠点を持っていた為、ペースト
自体の寿命を短がくし、スクリーン印刷時の作業性を悪
くす、る原因となっていた。

又、バインダーにエチルセルローズを用いていたが、そ
の熱安定性（５００℃で完全燃焼しないこともある）の
故に、比較的高抵抗で被膜強度の弱い被膜しか得られな
かった０本発明者等は、これらの欠点をなくす為、前出
願Ｃ特願昭５５−３６６２４、及び特願昭５５−１０１
７５２）に示す如く、焼成により金属酸化物被膜を与え
る化合物として、例えば、アセチルアセトン（Ｈａｃａ
ｃ）の配位したトリスアセチルアセトナートインジウム
ｌ）　（Ｉ　ｎ　（ａｃａｃ）１　）等の有機インジウ
ム錯体を使用したシ、抵抗値調整用スズ化合物として、
例えば、ジメチルスズアセドープ（（ＯＨＩ　）１　ａ
ｎ　（ａｃａｃ）２　）等の有機スズ錯体を用いてペー
δトの安定性を高め好結果を得ている。更に、粘性剤と
して使用するセルローズ化合物に、ニトロセルローズを
用いることで、密着強度大で、低抵抗な被膜が得られる
ことをつきとめている。

シカシ、ニトロセルローズを用いた場合、エチルセルロ
ーズを用いた場合と比較して、ペースト自体の寿命が短
く、スクリーン印刷時の作業性も悪いという欠点を持っ
ていた。そこで本発明者らは、前出願で、脱酸処理した
ニドａセルａ−ズを用いることで特性改善がなされるこ
とを見出したが、スクリーン印刷時にペーストの粘度上
昇や、Ｋじみがあシ、作業性がまだ十分とは言えなかっ
たＯ 本発明は、叙上の欠点を解消し、ペースト寿命の長い、
印刷作業性の良い、かつ従来通りの被膜特性、すなわち
低抵抗で透明度及び密着強度の良好さを与える透明導電
性被膜形成用ペーストを提供する目的でなされたもので
ある。

本発明の特徴は、主成分であるインジウム化合物に、抵
抗値調整用としてスズ化合物と、粘性剤としてニトロセ
ルローズと、有機溶媒とを添加混合してなるペースト組
成物に、５００℃で残渣がほとんどなく、分子構造中に
、金属原子や２％０１゜Ｓなどを含まない油溶性有機色
素を添加したことにある。２ 即ち、ニトロセルローズを用いたペーストの寿命が短く
、スクリーン印刷時にも、印刷シ冒ット数が多くなるＫ
つれペーストの粘度が高くなると共に、にじみも激しく
なるなどの作業性が悪くなるという点に注目し、ペース
トに油溶性有機色素を添加することくより、スクリーン
印刷性を著しく改善することができたものである〇 ここで、添加される油溶性有機色素としては、和光純薬
社製１．フェニルアゾ−２，ナフトール、商品名スダン
１１山陽色素社製商品名メチル・イエａ−などがある。

ペースト化に必要な有機溶媒としては、ベンジルアルコ
ール、ジブａピレングリ：ｆＪ、　などｏ高ｍ点ｙルコ
ール類、ベンジルアセテート、カルピトールアセテート
等の高沸点エステル類、プチルセロンルブ等の高沸点エ
ーテル類などの高沸点有機溶媒が適用できる。

以下、実施例をもとに、更に詳しく本発明を説明すへ〇 実施例−１ ペーストの作製忙あたりてまず、トリスアセチルアセト
ナートインジウムＱＩＩ）２．６９　重量部とジメチル
スズアセドープ０．３１　重量部を正確に秤量し、セパ
ラブルフラスコに入れる。次に、ブチルカルピトール３
２．８重量部とプチルセロンルプ１６．４重量部とベン
ジルアルコール１６．４重量部とジメチルフタレート１
６．４重量部の各溶媒をセパラブルフラスコに入れ、１
２０〜１５０℃　で３時間加熱濃縮する０濃縮が終了し
た後、常温までに冷却し、油溶性有機色素として出御色
素社製商品名メチル、イエａ−Ｑ、２重量部をセパラブ
ルフラスコに入れ攪拌後、ニトロセルａ−ズ１５．８重
量部を混合し、攪拌機で８時間攪拌して、二）ａセルａ
−ズを均一に溶解させて透明導電性被膜形成用ペースト
を得た。

このようにして製造されたペーストハ、良好なチクント
ａビー性を有していて、スクリーン印刷に非常に適して
おり、にじみ始めるまでの印刷可能数も著しくよくなっ
た〇 実施例−２ トリスアセチルアセトナートインジウムＧＩＮ）２４５
９重量部とジメチルスズアセドープ０．３１重量部を正
確に秤量し、次にブチルカルピトール３２．８重量部と
ブチルセロノル１１６．４重量部とベンジルアセテ−）
１６４重量部とジブチルカルピトール１６．４重量部の
各溶媒を添加し、１２０〜１５０℃で約３時間加熱濃縮
する。濃縮が終了した後、常温までに冷却し、油溶性有
機色素として、和光純薬社製商品名スダンＸＯ１２重量
部を混合し、数分間攪拌後、＝）ａセルローズ１５．８
重量部を混合し、攪拌機で８時間攪拌して、ニドミセル
ローズを完全に溶解させて、透明導電性被膜形成用ペー
ストを得た。

このようにして得られ九ペーストは、チクントロビー性
が最適であり、スクリーン印刷に極めて適したものであ
った。

なお、本発明ペーストをンーダガラス革板に所望形状に
、スクリーン印刷し、１５０℃、２０分間予備乾燥後、
５００℃３０分間焼成して得られた透明導電性被膜の面
積抵抗値ｔｉ３〜４にΩ／−で、密着強度等の被膜特性
は、従来と比較して何ら変ることのない優秀なものであ
ることは勿論である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 主成分であるインジウム化合物に、抵抗値調整用として
   スズ化合物と、粘性剤として二）ａセルロースと、有機
   溶媒と、油溶性有機色素とを添加混合してなる透明導電
   性被膜形成用ペースト０