JPS63198350A - ウエハ−ス搬送用ベルト - Google Patents
ウエハ−ス搬送用ベルトInfo
- Publication number
- JPS63198350A JPS63198350A JP62030956A JP3095687A JPS63198350A JP S63198350 A JPS63198350 A JP S63198350A JP 62030956 A JP62030956 A JP 62030956A JP 3095687 A JP3095687 A JP 3095687A JP S63198350 A JPS63198350 A JP S63198350A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- wafer
- pulleys
- present
- protrusion
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 39
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Belt Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置、特にウェハースを半導体製造
装置内で搬送するためのベルトに関する。
装置内で搬送するためのベルトに関する。
従来のウェハース搬送用ベルト１は第３図（ａ）に示す
ように断面円形であり、第３図（ト）に示すようにこの
ベルト１は２個のプーリー２，２間に懸は渡され、第３
図（Ｃ）に示すようにベルト１の表面でウェハース３を
支えプーリー２の回転によるベル１〜駆動でウェハース
３に送りを与えることにより該ウェハース３を搬送して
いる。
ように断面円形であり、第３図（ト）に示すようにこの
ベルト１は２個のプーリー２，２間に懸は渡され、第３
図（Ｃ）に示すようにベルト１の表面でウェハース３を
支えプーリー２の回転によるベル１〜駆動でウェハース
３に送りを与えることにより該ウェハース３を搬送して
いる。
上述した従来のウェハース搬送用ベルトでは、ベルトと
ウェハース裏面との接触部分は線状を呈しているため、
ベルトに付着しているゴミがウェハース裏面に付着する
可能性が大きく、エツチング液や現像液中または水洗槽
内のゴミを増加させるという欠点がある。
ウェハース裏面との接触部分は線状を呈しているため、
ベルトに付着しているゴミがウェハース裏面に付着する
可能性が大きく、エツチング液や現像液中または水洗槽
内のゴミを増加させるという欠点がある。
本発明の目的は上記欠点を解消し、ウェハース裏面のゴ
ミ付着を低減させるウェハース搬送用ベルトを提供する
ことにある。
ミ付着を低減させるウェハース搬送用ベルトを提供する
ことにある。
上述した従来のウェハース搬送用ベルトに対し。
本発明はベルト表面に突部を備え、ベルトとウェハース
裏面との接触面積を減少させることにより、ウェハース
裏面の汚れを低減させるという独創的内容を有する。
裏面との接触面積を減少させることにより、ウェハース
裏面の汚れを低減させるという独創的内容を有する。
本発明はウェハースを塔数して搬送するウェハース搬送
用ベルトにおいて、ベルｌ−表面に、長さ方向に沿って
ウェハースを一定間隔毎に支える曲縁を備えた多数の突
部を有することを特徴とするウェハース搬送用ベルトで
ある。
用ベルトにおいて、ベルｌ−表面に、長さ方向に沿って
ウェハースを一定間隔毎に支える曲縁を備えた多数の突
部を有することを特徴とするウェハース搬送用ベルトで
ある。
次に本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１）
第１図（ａ）は本発明のウェハース搬送用ベルトの第１
の実施例を示す拡大図である。第１図（ｂ）は本発明の
ベルト１をプーリー２にかけた場合の図、第１図（ｃ）
は本発明のベルト１上にウェハース３を乗せた場合の図
である。
の実施例を示す拡大図である。第１図（ｂ）は本発明の
ベルト１をプーリー２にかけた場合の図、第１図（ｃ）
は本発明のベルト１上にウェハース３を乗せた場合の図
である。
第１図に示すように、扁平なベルト１の表面に半円球状
の突部４，４・・・を長さ方向に沿って列状に設ける。
の突部４，４・・・を長さ方向に沿って列状に設ける。
本実施例では突部として２＋ｍ＋φの半球を３〜５ｍｍ
の間隔Ｐで設けである。第１図（ｂ）に示すようにベル
ト１は２個のプーリー２，２間に懸は渡されてプーリー
２の回転により一方向に送りを与えられる。第１図（ｂ
）に示すように、本実施例によれば、ベルト１上にウェ
ハース３を置くと、ウェハース３はベルト１の突部４上
に支える。しだがって、ウェハース裏面とベルトとの接
触面積が減少し、ベルト１からウェハース３の裏面に付
着するゴミを低減できる。さらに、ベルト１として断面
矩形のものを用いているため、プーリー間に懸は渡した
際によじれが生じることがなく、常時ウェハースを突部
４の曲縁で支えることができる。
の間隔Ｐで設けである。第１図（ｂ）に示すようにベル
ト１は２個のプーリー２，２間に懸は渡されてプーリー
２の回転により一方向に送りを与えられる。第１図（ｂ
）に示すように、本実施例によれば、ベルト１上にウェ
ハース３を置くと、ウェハース３はベルト１の突部４上
に支える。しだがって、ウェハース裏面とベルトとの接
触面積が減少し、ベルト１からウェハース３の裏面に付
着するゴミを低減できる。さらに、ベルト１として断面
矩形のものを用いているため、プーリー間に懸は渡した
際によじれが生じることがなく、常時ウェハースを突部
４の曲縁で支えることができる。
（実施例２）
第２図（ａ）は本発明の第２の実施例を示す図であり、
第２図（ｂ）はベルト１をプーリー２に懸は渡した状態
を示す図である。
第２図（ｂ）はベルト１をプーリー２に懸は渡した状態
を示す図である。
第２図（ａ）において、本実施例は断面円形のベルト１
を用い、リング状の突部４，４．・・・をベルト１の表
面のまわりに３〜５ｍ間隔で長さ方向に沿って設けたも
のである。ベルトの表面のまわりに設けた突部４はベル
ト表面からの高さを２ｍとし、幅を２ｍとしである。一
方、第２図（ｂ）に示すように。
を用い、リング状の突部４，４．・・・をベルト１の表
面のまわりに３〜５ｍ間隔で長さ方向に沿って設けたも
のである。ベルトの表面のまわりに設けた突部４はベル
ト表面からの高さを２ｍとし、幅を２ｍとしである。一
方、第２図（ｂ）に示すように。
プーリー２，２の周面にはベルト１のリング状突部４を
受は入れる空回り防止用溝５を一定間隔に設ける。本実
施例では、ベルト１のリング状突部４をプーリー２，２
の溝５内にかみ合せて該ベルト１をプーリー２，２間に
懸は渡し、ウェハース３をリング状突部４で支える。
受は入れる空回り防止用溝５を一定間隔に設ける。本実
施例では、ベルト１のリング状突部４をプーリー２，２
の溝５内にかみ合せて該ベルト１をプーリー２，２間に
懸は渡し、ウェハース３をリング状突部４で支える。
本実施例によれば、ベルト１の突部４がリング状である
ため、ベルト１によじれが生じても、確実に突部４上に
ウェハース３を支えることができる。尚、プーリー２に
は空回り防止用溝５を設けているため、ベルト１の材質
が空回りしやすい材質である場合にも、溝５に突部４が
かみ合って空回りを防止できる。
ため、ベルト１によじれが生じても、確実に突部４上に
ウェハース３を支えることができる。尚、プーリー２に
は空回り防止用溝５を設けているため、ベルト１の材質
が空回りしやすい材質である場合にも、溝５に突部４が
かみ合って空回りを防止できる。
以上説明したように本発明はウェハース搬送用ベルトに
突部を形成し、ウェハース裏面とベルトとの接触面積を
減少させることにより、ベルトからウェハース裏面に付
着するゴミを低減できる効果がある。
突部を形成し、ウェハース裏面とベルトとの接触面積を
減少させることにより、ベルトからウェハース裏面に付
着するゴミを低減できる効果がある。
第１図（ａ）は本発明に係るウェハース搬送用ベルトの
第１の実施例を示す拡大図、第１図（ｂ）はベルトをプ
ーリーにかけた場合の側面図、第１図（ｃ）はウェハー
スをベルト上に乗せた場合の側面図、第２図（ａ）は本
発明の第２の実施例を示すベルトの拡大図、第２図（ｂ
）はベルトをプーリーにかけた場合の側面図、第２図（
ｃ）はウェハースをベルト上に乗せた場合の側面図、第
３図（ａ）は従来のベルトを示す拡大図、第３図（ｂ）
はベルトをプーリーにかけた場合の側面図、第３図（ｃ
）はウェハースをベルト上に乗せた場合の側面図である
。 １・・・ウェハース搬送用ベルト ２・・・プーリー３
・・・ウェハース ４・・・突部５・・・
空回り防止用溝
第１の実施例を示す拡大図、第１図（ｂ）はベルトをプ
ーリーにかけた場合の側面図、第１図（ｃ）はウェハー
スをベルト上に乗せた場合の側面図、第２図（ａ）は本
発明の第２の実施例を示すベルトの拡大図、第２図（ｂ
）はベルトをプーリーにかけた場合の側面図、第２図（
ｃ）はウェハースをベルト上に乗せた場合の側面図、第
３図（ａ）は従来のベルトを示す拡大図、第３図（ｂ）
はベルトをプーリーにかけた場合の側面図、第３図（ｃ
）はウェハースをベルト上に乗せた場合の側面図である
。 １・・・ウェハース搬送用ベルト ２・・・プーリー３
・・・ウェハース ４・・・突部５・・・
空回り防止用溝
Claims (1)
- （１）ウェハースを搭載して搬送するウェハース搬送用
ベルトにおいて、ベルト表面に、長さ方向に沿ってウェ
ハースを一定間隔毎に支える曲縁を備えた多数の突部を
有することを特徴とするウェハース搬送用ベルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030956A JPS63198350A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | ウエハ−ス搬送用ベルト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030956A JPS63198350A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | ウエハ−ス搬送用ベルト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63198350A true JPS63198350A (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=12318134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62030956A Pending JPS63198350A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | ウエハ−ス搬送用ベルト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63198350A (ja) |
-
1987
- 1987-02-13 JP JP62030956A patent/JPS63198350A/ja active Pending
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