JPS63200109U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200109U JPS63200109U JP8942687U JP8942687U JPS63200109U JP S63200109 U JPS63200109 U JP S63200109U JP 8942687 U JP8942687 U JP 8942687U JP 8942687 U JP8942687 U JP 8942687U JP S63200109 U JPS63200109 U JP S63200109U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment mark
- alignment
- pattern
- intensity
- detecting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる位置合わせマークの形
状を示す図、第２図ａ，ｂ，ｃは本考案にかかる
位置合わせマークを説明する図、第３図はＸ線露
光用マスクの断面図、第４図はＸ線露光装置の部
分図、第５図ａ，ｂは従来の位置合わせマークの
形状とその説明図、第６図は従来の位置合わせマ
ークの問題点を示す図、第７図は従来の他の位置
合わせマークの形状を示す図である。 図において、１はマスク、２は真空チヤツク、
３は被露光基板、４はステージ、５はレーザ光源
、６は位置合わせマーク、７，８は従来の形状の
パターン、１０は本考案にかかる形状のパターン
、を示している。
状を示す図、第２図ａ，ｂ，ｃは本考案にかかる
位置合わせマークを説明する図、第３図はＸ線露
光用マスクの断面図、第４図はＸ線露光装置の部
分図、第５図ａ，ｂは従来の位置合わせマークの
形状とその説明図、第６図は従来の位置合わせマ
ークの問題点を示す図、第７図は従来の他の位置
合わせマークの形状を示す図である。 図において、１はマスク、２は真空チヤツク、
３は被露光基板、４はステージ、５はレーザ光源
、６は位置合わせマーク、７，８は従来の形状の
パターン、１０は本考案にかかる形状のパターン
、を示している。
Claims (1)
- パターンを透過した光の強度を検出して位置合
わせをおこなう位置合わせマークをリング状のパ
ターンとしたことを特徴とする位置合わせマーク
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942687U JPS63200109U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942687U JPS63200109U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200109U true JPS63200109U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30948401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8942687U Pending JPS63200109U (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200109U (ja) |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP8942687U patent/JPS63200109U/ja active Pending