JPH043444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH043444U JPH043444U JP4350590U JP4350590U JPH043444U JP H043444 U JPH043444 U JP H043444U JP 4350590 U JP4350590 U JP 4350590U JP 4350590 U JP4350590 U JP 4350590U JP H043444 U JPH043444 U JP H043444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- confirming
- attachment position
- pattern
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案のマスクの平面図、第２図は従
来のマスクの平面図、第３図はペリクル貼り付け
断面図、第４図はパターン拡大図である。 １…レチクル、２…ペリクル、３…アライメン
トマーク、４…ペリクル貼り付け位置確認パター
ン。
来のマスクの平面図、第３図はペリクル貼り付け
断面図、第４図はパターン拡大図である。 １…レチクル、２…ペリクル、３…アライメン
トマーク、４…ペリクル貼り付け位置確認パター
ン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ペリクルを貼り付けて使用するフオトマス
クにおいて、マスクにペリクル貼り付け位置を確
認するパターンを設けたことを特徴とするフオト
マスク。 (2) ペクリル貼り付け位置を確認するパターン
はペリクルの辺に対応する位置に少なくとも２個
設けることを特徴とする請求項第１項のフオトマ
スク。 (3) ペリクル貼り付け位置を確認するパターン
を階段状の形状としたことを特徴とする請求項第
１項のフオトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4350590U JPH043444U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4350590U JPH043444U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH043444U true JPH043444U (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=31555970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4350590U Pending JPH043444U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH043444U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53155471U (ja) * | 1977-05-13 | 1978-12-06 |
-
1990
- 1990-04-25 JP JP4350590U patent/JPH043444U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53155471U (ja) * | 1977-05-13 | 1978-12-06 |