JPS63200345U - - Google Patents

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JPS63200345U
JPS63200345U JP9005087U JP9005087U JPS63200345U JP S63200345 U JPS63200345 U JP S63200345U JP 9005087 U JP9005087 U JP 9005087U JP 9005087 U JP9005087 U JP 9005087U JP S63200345 U JPS63200345 U JP S63200345U
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JP
Japan
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wafer carrier
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recognition device
opening
size
Prior art date
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JP9005087U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、
第２図ａ，ｂはウエハーキヤリアの認識状態を示
す斜視図、第３図は本考案の第２の実施例を示す
斜視図、第４図ａは従来のウエハーキヤリアのマ
ークを示す斜視図、第４図ｂは識別状態を示す図
、第５図ａ，ｂは従来における認識状態を示す斜
視図である。 １…ウエハーキヤリア、２…マーク、３…読取
器、３ａ，４ａ…センサー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウエハーを立て掛ける複数の溝を平行に
    備えたウエハーキヤリアの標識からその判別情報
    を読み取るウエハーキヤリア認識装置において、
    ウエハーキヤリアの大小にかかわらず一定長さと
    なる前記溝の配列方向の開口部側壁に前記判別情
    報の表示用標識を設けた大小２種類以上のウエハ
    ーキヤリアと、前記ウエハーキヤリアの前記表示
    用標識を読み取るセンサーを組み込んだ読取器と
    を備え、該読取器をウエハーキヤリアの大小に応
    じて変化する開口部の幅方向に移動調整可能とし
    たことを特徴とするウエハーキヤリア認識装置。
JP9005087U 1987-06-11 1987-06-11 Pending JPS63200345U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9005087U JPS63200345U (ja) 1987-06-11 1987-06-11

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9005087U JPS63200345U (ja) 1987-06-11 1987-06-11

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Publication Number Publication Date
JPS63200345U true JPS63200345U (ja) 1988-12-23

Family

ID=30949576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9005087U Pending JPS63200345U (ja) 1987-06-11 1987-06-11

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JP (1) JPS63200345U (ja)

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