JPS6320131A - パンチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体組立装置に用いられ、例えばフィルムキ
ャリアから固形デバイスを打抜くリード接合装置に用い
られるパンチング装置に関する。

［従来の技術］ 例えば、外部リード接合装置は、第５図に示すように、
両側帯にスプロケット穴１ａを備えたフィルムキャリア
１に外部リード２ａによって支えられた固形デバイス２
をパンチングにより打抜き、第６図に示すリードフレー
ム３又は第７図に示す基板４のリード接合部３ａ又は４
ａに外部リード２ａを位置合わせして載置し、第８図及
び第９図に示すように、外部リード２ａとリード接合部
３ａとをポンディングによって接合する工程を全自動で
行うものである。

従来用いられてきた外部リード接合装置は２つの方式に
大別される。第１の方式は、フィルムキャリアとリード
フレームを上下に重ねて配置し、フィル・ムキャリア上
の固形デバイスを打抜くと同時にその上方にあるリード
フレームにそのまま熱圧着する方式であり、他の第２の
方式は、フィルムキャリアとリードフレームを並行に配
置し、フィルムキャリア上の固形デバイスを打抜き、こ
の固形デバイスを真空吸着ヘッドで吸着してリードフレ
ーム上へ移送載置し、しかる後、別置のポンディング装
置によって接合する方式である０本発明はこのいずれに
も適用できる。

前記したフィルムキャリアから固形デバイスを打抜〈従
来のパンチング装置は、パンチング部に上下動自在に設
けられたパンチを直接エアシリンダで駆動していた。

［発明が解決しようとする問題点］ エアシリンダは周知の如く、始動時と途中及び終動時と
では圧力の変化が大きい。そこで、エアシリンダは大き
なストロークを必要とするものに用いる場合は安定した
圧力の範囲が広く何ら問題ないが、フィルムキャリアか
ら固形デバイスをパンチングする場合にはパンチのスト
ロークは小さいので、パンチングに一定の圧力を得るた
めのストローク範囲が非常に狭く、パンチング時のスト
ローク量の調整が非常に困難である。また直径の小さな
小型なエアシリンダを用いると、パンチング時の圧力の
バラツキが大きく、きれいな切断面が得られない。そこ
で、従来は、直径の大きい大型なエアシリンダを用い、
圧力が大きくバラツキがあっても上置な切断力を得るよ
うにしている。

本発明の［１的は、パンチング時のストローク量の調整
が容易であると共に、小型のエアシリンダを用いても大
きな切断力が安定して得られ、常にきれいな切断面が得
られるパンチング装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段１ 上記従来技術の問題点は、フィルムキャリアから固形デ
バイスを打抜くパンチを上下動可能に設けたパンチング
部と、前記パンチを上下動させるリニアカムと、このリ
ニアカムを駆動させるエアシリンダとから構成すること
により解決される。

［作用］ エアシリンダの水平動をリニアカムを介してパンチの上
下動に変換するので、エアシリンダのストロークをリニ
アカムのカム面のリフト量の例えば５倍にとると、エア
シリンダの圧力の安定したストローク範囲が広がり、パ
ンチング時のエアシリンダのストローク量の調整が容易
である。またエアシリンダの圧力はリニアカムで上記の
場合は約５倍に倍加されるので、エアシリンダは直径の
細い小型なエアシリンダでも十分安定した切断力が得ら
れる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第４図に従って説
明する。第１図に示すように、ベース板１０には支持板
１１が固定されており、この支持板ｔｉには２個のスプ
ロケット１３．１４が一定距離離れて回転自在に支承さ
れている。スブロケッ）１３．１４は図示しないモータ
によりベルト伝動手段を介して同期回転させられるよう
になっており、フィルムキャリア１のスプロケット穴ｌ
ａ（第５図参照）にスプロケツ）１３．１４の外周に設
けられた歯が係合してモータの定角間欠回転によりフィ
ルムキャリア１を定寸づつ順送りすることができる。な
お、フィルムキャリアｌは図示しない供給リールからス
プロケッ）１３．１４を通り図示しない巻取リリールに
巻取られる。

前記スプロケツ）１３．１４間にはパンチング部２０が
設けられている。パンチング部２０は、前記支持板１１
に固定されたパンチホルダ２１を有し、第２図乃至第４
図に示すように、パンチホルダ２１内にパンチ２２が上
下動自在に設けられている。パンチ２２の内部の上方側
には固形デバイス吸着ノズル２３が配設され、この固形
デバイス吸着ノズル２３はねじ２４でパンチ２２に固定
されている。固形デバイス吸着ノズル２３には吸着孔２
３ａが形成されており、この吸着孔２３ａは図示しない
真空ポンプに連結されている。またパンチ２２の両側に
はフィルムキャリアｌのスプロケット穴１ａに挿入され
るフィルムキャリア位置決めビン２５が固定されている
。

前記パンチホルダ２１の上面には溝２１ａが形成されて
おり、この溝２１ａにスペーサ３０及びフィルムキャリ
ア押え板３１が上下動可能に配設されている。これらス
ペーサ３０及びフィルムキャリア押え板３１には前記パ
ンチ２２及びフィルムキャリア位置決めビン２５が上下
動可能に挿通されるようにそれぞれ穴が形成されている
。ここで、前記パンチ２２及びフィルムキャリア位置決
めビン２５は、パンチ２２が最下降位置にある時はフィ
ルムキャリア押え板３１より突出しなく、かつパンチ２
２の先端はフィルムキャリア位置決めピン２５の先端よ
り下方にあるように形成されている。前記パンチホルダ
２１の上面にはダイ３２が固定されており、このダイ３
２の下面と前記フィルムキャリア押え板３１の上面との
隙間３３がフィルムキャリアｌの通路を形成している。

前記フィルムキャリア押え板３１はスペーサ３０に固定
されており、スペーサ３０はパンチホルダ２１に−（二
下動可能に設けられた押え板作動ロッド３４に固定され
ている。押え板作動ロッド３４の中間にはリング部３４
ａが形成されており、このリング部３４ａとパンチホル
ダ２１間にはスプリング３５が配設され、押え板作動ロ
ッド３４は下方に付勢されている。前記パンチ２２の下
端には作動ねじ３６が螺合されており、この作動ねじ３
６にはロックねじ３７が螺合されて作動ねじ３６の緩み
を防止している。作動ねじ３６には押え仮作動板３８が
固定されており、この押え仮作動板３８と押え板作動ロ
ッド３４のリング部３４ａ間には前記スプリング３５よ
り弱いスプリング３９が配設されている。従って、押え
仮作動板３８が最下降位置にある時は、スプリング３５
の付勢力で押え板作動ロッド３４は下方に付勢され、ス
ペーサ３０はパンチホルダ２１の溝２１ａの底面に当接
している。

再び第１図に戻って、前記押え仮作動板３８には検出板
４０が固定されており、この検出板４０を挟持する形で
上下に上限検出センサ４１と下限検出センサ４２とが前
記支持板１１に固定されている。

前記パンチング部２０の下方には中間作動部４５が設け
られている。この中間作動部４５は支持板１１に固定さ
れたホルダ４６を有し、このホルダ４６には中間作動ロ
ッド４７が上下動自在に設けられている。中間作動ロッ
ド４７は下端にカムフォロア４８が回転自在に設けられ
ている。この中間作動部４５は特に必要なものではなく
、前記パンチング部２０の作動ねじ３６を下方に延長し
、この作動ねじ３６にカムフォロア４８を取付けてもよ
い。

前記カムフォロア４８は上面にカム面を有するリニアカ
ム５０に当接している。リニアカム５０はベース板１０
に固定されたエアシリンダ５１の作動ロンドに固定され
、水平動するようになっている。リニアカム５０に対応
したベース板ｌＯの上面にはリニアカム５０の底面をガ
イドするガイド板５２が固定され、更にガイド板５２に
はリニアカム５０の両側面をガイドするガイドローラ５
３が回転自在に設けられている。

次に作用について説明する。フィルムキャリア１がスブ
ロケッ）１３．１４によって間欠的に送られ、固形デバ
イス？がパンチ２２の上方に位置すると、エアシリンダ
５１が作動する。これによりリニアカム５０によってカ
ムフォロア４８と共に中間作動ロッド４７が上方に移動
させられる。

また中間作動ロッド４７が上方に移動すると、押え仮作
動板３８を介してまずパンチ２２と共にフィルムキャリ
ア位置決めピン２５が」−昇する。前記したようにフィ
ルムキャリア位置決めビン２５の先端はパンチ２２の先
端より」二方に位置しているので、まずフィルムキャリ
ア位置決めピン２５がフィルムキャリアｌのスプロケッ
ト穴１ａに挿入され、パンチングされるフィルムキャリ
ア１の部分が位置決めされる。このフィルムキャリア位
置決めビン２５による位置決め後にパンチ２２１寸フィ
ルムキャリアｌの下面に達するが、その前にスプリング
３９が押え仮作動板３８によって縮められ、押え板作動
ロッド３４が押え仮作動板３Ｂと共に上昇する。押え板
作動ロッド３４がｌ−昇すると、スペーサ３０と共にフ
ィルムキャリア押え板３１が上昇し、前記したようにフ
ィルムキャリア位置決めビン２５によって位置決めされ
たフィルムキャリア１はフィルムキャリア押え板３１に
よってダイ３２の下面に押付けられて固定される。この
状態で初めてパンチ２２はフィルムキャリア１の下面に
到達し、フィルムキャリア１の外部リード２ａを第５図
に２点鎖線で示す部分を打抜く。この打抜かれた固形デ
バイス２は吸着孔２３ａで真空吸着保持され、飛び散っ
たり、位置ずれが生じたりするのが防止される。

パンチ２２上に保持された固形デバイス２は、ダイ３２
の上方に配設されたリードフレーム３又は基板４のリー
ド接合部３ａ又は４ａに接合されるか、又はダイ３２の
上方に配設された吸着ノズルに受は渡しされ、吸着ノズ
ルがＸＹ方向に移動してリードフレーム３又は基板４の
リード接合部３ａ又は４ａ上に載置し、その後ツールで
接合される。

前記のように固形デバイス２を直接リードフレーム３又
は基板４のリード接合部３ａ又は４ａに接合した後、又
は吸着ノズルに受は渡した後、エアシリンダ５１は前記
と逆方向に作動する。これによりスプリング３５．３９
の付勢力でパンチ２２、フィルムキャリア位置決めビン
２５、スペーサ３０及びフィルムキャリア押え板３１は
下降し、図示の状態となる。

このように、エアシリンダ５１の水平動をリニアカム５
０を介してパンチ２２の上下動に変換するので、エアシ
リンダ５１のストロークをリニアカム５０のカム面のリ
フト量の例えば５倍にとると、エアシリンダ５１の圧力
の安定したストローク範囲が広がり、パンチング時のエ
アシリンダ５１のストローク量の調整が容易である。ま
たエアシリンダ５１の圧力はリニアカム５０で上記の場
合は約５倍に倍加されるので、エアシリンダ５１は直径
の細い小型なエアシリンダでも十分安定した切断力が得
られる。

なお、上記実施例においては、フィルムキャリアを打抜
く場合について説明したが、リードフレーム、プリント
基板のデバイスを打抜く場合にも適用できる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、エア
シリンダの移動をリニアカムを介してパンチの上下動に
変換するので、パンチング時のストローク量の調整が容
易であると共に、小型のエアシリンダを用いても大きな
切断力が安定して得られ、常にきれいな切断面が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のパンチング部のＡ−Ａ線断面拡大図、第３図は第２
図の平面図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線矢視図、第５図
はフィルムキャリアの平面図、第６図はリードフレーム
の平面図、第７図は基板の平面図、第８図はリードフレ
ームに接合された固形デバイスの平面図、第９図は基板
に接合された固形デバイスの平面図及び側面図である。 １：フィルムキャリア、　　２：固形デバイス、２０：
パンチング部、　　２２：パンチ、５０：リニアカム、
　　　　５１：エアシリンダ。 第２図 ２２：ノマゝ〉チ 第３図 ２２：ノψンチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フィルムキャリアから固形デバイスを打抜くパンチを上
   下動可能に設けたパンチング部と、前記パンチを上下動
   させるリニアカムと、このリニアカムを駆動させるエア
   シリンダとからなるパンチング装置。