JPS63204113A - 磁電変換素子 - Google Patents
磁電変換素子Info
- Publication number
- JPS63204113A JPS63204113A JP3539887A JP3539887A JPS63204113A JP S63204113 A JPS63204113 A JP S63204113A JP 3539887 A JP3539887 A JP 3539887A JP 3539887 A JP3539887 A JP 3539887A JP S63204113 A JPS63204113 A JP S63204113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pitch
- lambda
- magnetic flux
- flux supply
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、繰り返し磁気信号の検出に用いる磁電変換素
子の構造に関する。
子の構造に関する。
「従来の技術」
従来のリング状多極磁石を磁束供給体とする磁電変換素
子は、多極磁石の着磁ピッチλに対して、感磁抵抗パタ
ーンがn個ある場合には、それぞれの感磁抵抗パターン
をλ/nのピッチで基板に配置し、多極磁石の一回転に
対しその磁石の着磁個数mの整数倍の電気出力を得る構
造を採っている。
子は、多極磁石の着磁ピッチλに対して、感磁抵抗パタ
ーンがn個ある場合には、それぞれの感磁抵抗パターン
をλ/nのピッチで基板に配置し、多極磁石の一回転に
対しその磁石の着磁個数mの整数倍の電気出力を得る構
造を採っている。
ところが、この構造では基板が平面であるのに対して、
リング状多極磁石の着磁部は曲面であることから、感磁
抵抗パターンの中央部の抵抗パターンと端部の抵抗パタ
ーンとで磁束の受は方が異なり、電気出力がピッチずれ
を起こすという欠点を有していた。
リング状多極磁石の着磁部は曲面であることから、感磁
抵抗パターンの中央部の抵抗パターンと端部の抵抗パタ
ーンとで磁束の受は方が異なり、電気出力がピッチずれ
を起こすという欠点を有していた。
「発明が解決しようとする問題点」
本発明は、前述した欠点をなくし、電気出力のピッチず
れがない磁電変換素子を提供することを目的とする。
れがない磁電変換素子を提供することを目的とする。
「間転点を解決するための手段」
しかして、本発明によれば、円周面に略等ピッチλで任
意様の磁束供給部をもつ環状磁束供給体と一対に使用す
る磁電変換素子において、前記環状磁束供給体の円周接
面に略平行に配置する基板と、該基板に、前記磁束供給
部と略平行に複数本(n本)具備された感磁抵抗パター
ンとを具備するとともに、該感磁抵抗パターンのうち、
少なくとも2本の感磁抵抗パターンのピッチλ’を、λ
/n〉^゛≧^7/2nの範囲に配置することを特徴と
する磁電変換素子が提供される。
意様の磁束供給部をもつ環状磁束供給体と一対に使用す
る磁電変換素子において、前記環状磁束供給体の円周接
面に略平行に配置する基板と、該基板に、前記磁束供給
部と略平行に複数本(n本)具備された感磁抵抗パター
ンとを具備するとともに、該感磁抵抗パターンのうち、
少なくとも2本の感磁抵抗パターンのピッチλ’を、λ
/n〉^゛≧^7/2nの範囲に配置することを特徴と
する磁電変換素子が提供される。
「作用」
上記構成によれば、環状磁束供給体の円周面における磁
束供給部から平面状配置の感磁抵抗パターンに直角方向
に供給される磁束が、いずれの感磁抵抗パターンに対し
ても略均等に加わる。
束供給部から平面状配置の感磁抵抗パターンに直角方向
に供給される磁束が、いずれの感磁抵抗パターンに対し
ても略均等に加わる。
「実施例」
次に、本発明の実施例を第1図から第3図について説明
する。
する。
本実施例の磁電変換素子2は、第1図に示すように、円
周面に^の等ピッチでm極着磁されたリング状多極磁石
1と一対に使用され、この磁石1の円周接面に平行に配
置されている。磁電変換素子2は、第2図に示すごとく
平面状の絶縁性基板10の表面に、ニッケルコバルトあ
るいはニッケル鉄のような磁気抵抗の異方性効果を有す
る強磁性体の薄膜による感磁抵抗パターン3.4を形成
したものである。この感磁抵抗パターン3,4は強磁性
体を矩形状あるいは櫛歯パターン状に蒸着し、又は全面
に蒸着した後エツチングして形成される。そして、感磁
抵抗パターン3.4を飽和磁化させるに充分な強さの磁
束を垂直方向に加えると各抵抗パターン3,4の抵抗値
が変化し、リング状多極磁石1の一回転に対しその磁石
1の着磁個数mの整数倍(本実施例では2倍)のパルス
出力が得られる。第2図に示すように、抵抗パターン3
.4のピッチをλ′とするとき、このλ′は磁石1の着
磁ピッチλに対して次式の範囲になるようにずらしであ
る。
周面に^の等ピッチでm極着磁されたリング状多極磁石
1と一対に使用され、この磁石1の円周接面に平行に配
置されている。磁電変換素子2は、第2図に示すごとく
平面状の絶縁性基板10の表面に、ニッケルコバルトあ
るいはニッケル鉄のような磁気抵抗の異方性効果を有す
る強磁性体の薄膜による感磁抵抗パターン3.4を形成
したものである。この感磁抵抗パターン3,4は強磁性
体を矩形状あるいは櫛歯パターン状に蒸着し、又は全面
に蒸着した後エツチングして形成される。そして、感磁
抵抗パターン3.4を飽和磁化させるに充分な強さの磁
束を垂直方向に加えると各抵抗パターン3,4の抵抗値
が変化し、リング状多極磁石1の一回転に対しその磁石
1の着磁個数mの整数倍(本実施例では2倍)のパルス
出力が得られる。第2図に示すように、抵抗パターン3
.4のピッチをλ′とするとき、このλ′は磁石1の着
磁ピッチλに対して次式の範囲になるようにずらしであ
る。
λ/4≦λ“くλ/2 ・・・・・(n)すなわち、第
3図に示すように円周面着磁のリ−3= ング状多極磁石1の磁束を平面状の磁電変換素子2で受
けることから、感磁抵抗パターン4が垂直磁束Φを受け
る時の磁石1の極(例えばN極)の位置は、疑似的に着
磁ピッチ^が小さくなる方向に中心角でΔθだけずれる
ことになる。そのため、抵抗パターン3,4のピッチλ
′をλ/2(着磁ピッチの1/2)より小さくすること
でこのずれΔθを補正するようにしである。但し、抵抗
パターン3.4のピッチλ°が着磁ピッチλの1/4よ
り小さい範囲に入る領域においては磁石1と、各々の抵
抗パターン3,4の距離が離れすぎる為抵抗値変化に歪
みを生じ波形整形後の出力パルス波形がバラツクため、
現実的ではない。よって、(n)式のごとくピッチλ′
は着磁ピッチλの1/4以上に大きくしな。
3図に示すように円周面着磁のリ−3= ング状多極磁石1の磁束を平面状の磁電変換素子2で受
けることから、感磁抵抗パターン4が垂直磁束Φを受け
る時の磁石1の極(例えばN極)の位置は、疑似的に着
磁ピッチ^が小さくなる方向に中心角でΔθだけずれる
ことになる。そのため、抵抗パターン3,4のピッチλ
′をλ/2(着磁ピッチの1/2)より小さくすること
でこのずれΔθを補正するようにしである。但し、抵抗
パターン3.4のピッチλ°が着磁ピッチλの1/4よ
り小さい範囲に入る領域においては磁石1と、各々の抵
抗パターン3,4の距離が離れすぎる為抵抗値変化に歪
みを生じ波形整形後の出力パルス波形がバラツクため、
現実的ではない。よって、(n)式のごとくピッチλ′
は着磁ピッチλの1/4以上に大きくしな。
本発明者は、(n〉式の範囲で抵抗パターン3゜4をの
ピッチλ′を適切に選ぶことにより、第4図(a) 、
(b)に示すように、従来、波形整形後のパルス周期
t/Tのずれが約5%であったのが、本実施例により約
1%にまで改善することができた。
ピッチλ′を適切に選ぶことにより、第4図(a) 、
(b)に示すように、従来、波形整形後のパルス周期
t/Tのずれが約5%であったのが、本実施例により約
1%にまで改善することができた。
[他の実施例」
抵抗パターンを4本とした場合の磁電変換素子の構成を
第5図および第6図に示す。この場合は、磁電変換素子
中央部の抵抗パターン4.5のピッチはλ/4とし、素
子端部の抵抗パターン3,4および5,6のピッチはλ
°としである。ここでピッチλ′は次式の範囲にある。
第5図および第6図に示す。この場合は、磁電変換素子
中央部の抵抗パターン4.5のピッチはλ/4とし、素
子端部の抵抗パターン3,4および5,6のピッチはλ
°としである。ここでピッチλ′は次式の範囲にある。
λ/8≦λ′くλ/4・・・・・(2)但しこの場合で
も、抵抗パターン4,5のピッチをλ/4より小さい値
λ”としてもよく、この時はλ′、λ′′の範囲は(3
)式となる。
も、抵抗パターン4,5のピッチをλ/4より小さい値
λ”としてもよく、この時はλ′、λ′′の範囲は(3
)式となる。
λ/8≦λ′≦λ″≦λ/4・・・(3)抵抗パターン
がn本(4本以上)の場合も同様に抵抗パターンRIR
2のピッチをλ′1・・・Rn−1−Rnのピッチをλ
′n−4とすると、ピッチλ’・・・λ′n−1は次式
の範囲にある。
がn本(4本以上)の場合も同様に抵抗パターンRIR
2のピッチをλ′1・・・Rn−1−Rnのピッチをλ
′n−4とすると、ピッチλ’・・・λ′n−1は次式
の範囲にある。
λ/ 2 n≦λ°1−λ′n−1≦λ°2−λ″n−
2≦・・・・・・(4) また、第7図に示すような磁性体ギア20およびバイア
ス磁石30から構成される環状磁束供給体を持つ回転検
出装置の磁電変換素子2にも本発明は同様に実施するこ
とができる。
2≦・・・・・・(4) また、第7図に示すような磁性体ギア20およびバイア
ス磁石30から構成される環状磁束供給体を持つ回転検
出装置の磁電変換素子2にも本発明は同様に実施するこ
とができる。
「効果」
以上述べたように、本発明の磁電変換素子は上記の構成
を有するものであり、環状磁束供給体の円周面における
磁束供給部から平面状配置の感磁抵抗パターンに直角方
向に供給される磁束が、いずれの感磁抵抗パターンに対
しても略均等に加わるため、電気出力のピッチずれがな
いという優れた効果がある。
を有するものであり、環状磁束供給体の円周面における
磁束供給部から平面状配置の感磁抵抗パターンに直角方
向に供給される磁束が、いずれの感磁抵抗パターンに対
しても略均等に加わるため、電気出力のピッチずれがな
いという優れた効果がある。
第1図は本発明の実施例を示す斜視図、第2図は第1図
のA規正面図、第3図は第1図のB幌上面図、第4図は
実験結果を示す波形図、第5図および第6図は他の実施
例を示す正面図および上面図、第7図は更に他の実施例
を示す斜視図である。 115.リング状多極磁石、 211.磁電変換素子、
3〜611.感磁抵抗パターン、 10.、、基板、2
0 、、、磁性体ギヤ、 30 、、、バイアス磁石。 第1図 B視 1・・・・リング状多極磁石 2・−・・磁電変換素子 第2図 1−−−・リング状多極磁石 2−−−一磁電変換素子 3.4−・・−感磁抵抗パターン 10−・−基板 第5図 S N、¥ −
λ′ 第6図 2−−−一磁電変換素子 3〜6・−感磁抵抗パターン 第 70 1−−一−リング状多極磁石 2・−・磁電変換素子
のA規正面図、第3図は第1図のB幌上面図、第4図は
実験結果を示す波形図、第5図および第6図は他の実施
例を示す正面図および上面図、第7図は更に他の実施例
を示す斜視図である。 115.リング状多極磁石、 211.磁電変換素子、
3〜611.感磁抵抗パターン、 10.、、基板、2
0 、、、磁性体ギヤ、 30 、、、バイアス磁石。 第1図 B視 1・・・・リング状多極磁石 2・−・・磁電変換素子 第2図 1−−−・リング状多極磁石 2−−−一磁電変換素子 3.4−・・−感磁抵抗パターン 10−・−基板 第5図 S N、¥ −
λ′ 第6図 2−−−一磁電変換素子 3〜6・−感磁抵抗パターン 第 70 1−−一−リング状多極磁石 2・−・磁電変換素子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円周面に略等ピッチλで任意極の磁束供給部をもつ環
状磁束供給体と一対に使用する磁電変換素子において、 前記環状磁束供給体の円周接面に略平行に配置する基板
と、 該基板に、前記磁束供給部と略平行に複数本(n本)具
備された感磁抵抗パターンとを具備するとともに、 該感磁抵抗パターンのうち、少なくとも2本の感磁抵抗
パターンのピッチλ’を、λ/n>λ’≧λ/2nの範
囲で配置することを特徴とする磁電変換素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3539887A JPS63204113A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 磁電変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3539887A JPS63204113A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 磁電変換素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63204113A true JPS63204113A (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=12440808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3539887A Pending JPS63204113A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 磁電変換素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63204113A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5918458A (ja) * | 1982-07-23 | 1984-01-30 | Nippon Denso Co Ltd | 回転検出装置 |
| JPS61182505A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-15 | Hitachi Ltd | クランク角センサ |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP3539887A patent/JPS63204113A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5918458A (ja) * | 1982-07-23 | 1984-01-30 | Nippon Denso Co Ltd | 回転検出装置 |
| JPS61182505A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-15 | Hitachi Ltd | クランク角センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3189464B2 (ja) | 回転位置検出装置 | |
| JP2012112703A (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
| JP2000035343A (ja) | 巨大磁気抵抗効果素子を備えたエンコーダ | |
| US5128614A (en) | Compound core element having a pair of uniaxial anisotropic ferromagnetic cell components with different coercive field strength for a thin film sensor | |
| JPS63204113A (ja) | 磁電変換素子 | |
| JP2960570B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JP2576763B2 (ja) | 強磁性磁気抵抗素子 | |
| JPS6344730Y2 (ja) | ||
| JP2002206904A (ja) | センサ | |
| JPH0778528B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JPS62289725A (ja) | 磁電変換装置 | |
| JPH0329875A (ja) | 強磁性体磁気抵抗素子 | |
| JPH10227807A (ja) | 回転センサ | |
| JPS59142417A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPS58197892A (ja) | 磁場検出素子 | |
| JPH03221814A (ja) | 磁電変換装置 | |
| JPS6033002A (ja) | 位置センサ− | |
| JPH03282368A (ja) | 磁気センサ | |
| JP2576136B2 (ja) | 磁気方位測定装置 | |
| JPS5970978A (ja) | 磁気センサおよび位相・変位量検出装置 | |
| JPS6240455Y2 (ja) | ||
| JPS62259486A (ja) | 磁気センサ | |
| JPH06180204A (ja) | 位置検出センサ | |
| JPS6134604B2 (ja) | ||
| JPH03282213A (ja) | 磁気エンコーダ |