JPS63204748A - 気密ガラス端子の製造方法 - Google Patents
気密ガラス端子の製造方法Info
- Publication number
- JPS63204748A JPS63204748A JP62038600A JP3860087A JPS63204748A JP S63204748 A JPS63204748 A JP S63204748A JP 62038600 A JP62038600 A JP 62038600A JP 3860087 A JP3860087 A JP 3860087A JP S63204748 A JPS63204748 A JP S63204748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- jig
- recess
- eyelet
- bonding area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
Landscapes
- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は気密ガラス端子の製造方法に関し、より詳細に
は確実かつ良好なワイヤボンディングを可能とするリー
ドポストを有する気密ガラス端子の製造方法に関する。
は確実かつ良好なワイヤボンディングを可能とするリー
ドポストを有する気密ガラス端子の製造方法に関する。
(従来の技術)
第4図(al、山)、fclは従来の気密ガラス端子を
示す断面図である。
示す断面図である。
図示するように、気密ガラス端子はリード線1をアイレ
ット(金属外環)2にガラス3により絶縁して気密に封
止したものである、 4はワイヤボンディングがなされるリードポスト部であ
り、第4図(alはネイル状のリードポスト部4を有す
るもの、第4図(b)はストレート状のリードポスト部
4を有するもの、第4図(C1は他の形状のアイレット
を用いたものの例である。これらリードポスト部4はア
イレット2の上面から所定距離Aだけ離れて突出して植
立される。
ット(金属外環)2にガラス3により絶縁して気密に封
止したものである、 4はワイヤボンディングがなされるリードポスト部であ
り、第4図(alはネイル状のリードポスト部4を有す
るもの、第4図(b)はストレート状のリードポスト部
4を有するもの、第4図(C1は他の形状のアイレット
を用いたものの例である。これらリードポスト部4はア
イレット2の上面から所定距離Aだけ離れて突出して植
立される。
11はスタンドオフを示す。
第5図は、気密ガラス端子を気密溶着する方法を示す従
来のカーボン製溶着治具の断面図である。
来のカーボン製溶着治具の断面図である。
図で5はリード線1、アイレット2等を所定位置に支持
して配置するカーボン治具である。図のように、ガラス
?9Mする際はリード線1およびアイレット2等は、倒
立した状態でカーボン治具に配置してガラス溶着される
。前述したように、リードポスト部4は、アイレット2
との距離が所定間隔に定められているので、その所定間
隔に合わせて、カーボン治具5のアイレット2の上面を
支持する部位から所定の深さに形成された凹部6にリー
ドポスト部4が挿入されて位置決めされる。
して配置するカーボン治具である。図のように、ガラス
?9Mする際はリード線1およびアイレット2等は、倒
立した状態でカーボン治具に配置してガラス溶着される
。前述したように、リードポスト部4は、アイレット2
との距離が所定間隔に定められているので、その所定間
隔に合わせて、カーボン治具5のアイレット2の上面を
支持する部位から所定の深さに形成された凹部6にリー
ドポスト部4が挿入されて位置決めされる。
3はガラス封止するために溶融されるガラスであり、リ
ード線1の外周面に配置され、所定温度にカロ熱されて
リード線1とアイレット2とを気密に封止する。
ード線1の外周面に配置され、所定温度にカロ熱されて
リード線1とアイレット2とを気密に封止する。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上述した従来の方法によれば、リードポ
スト部4のボンディング面が直接カーボン治具5に接触
するため、カーボン治具5の凹部6に付着していたガラ
スおよび金属酸化物等の異物がリードポスト部4のボン
ディングエリアに付着する。
スト部4のボンディング面が直接カーボン治具5に接触
するため、カーボン治具5の凹部6に付着していたガラ
スおよび金属酸化物等の異物がリードポスト部4のボン
ディングエリアに付着する。
また、ボンディングエリアに異物が付着すると、めっき
工程の前処理等では容易に除去できないため、ボンディ
ングエリアに凹凸が生じる。
工程の前処理等では容易に除去できないため、ボンディ
ングエリアに凹凸が生じる。
第6図はボンディングエリアに異物が付着した状態とボ
ンディングエリアの凹凸を説明的に示すものであり、7
はボンディング面に付着した異物、8はボンディングエ
リアの凹凸、9はボンディングワイヤを示す。
ンディングエリアの凹凸を説明的に示すものであり、7
はボンディング面に付着した異物、8はボンディングエ
リアの凹凸、9はボンディングワイヤを示す。
この結果、従来の方法で製造される気密ガラス端子を使
用してワイヤボンディングを行った場合、ワイヤボンデ
ィングの接合状態が悪く、確実かつ良好なボンディング
特性が得られないという問題点がある。
用してワイヤボンディングを行った場合、ワイヤボンデ
ィングの接合状態が悪く、確実かつ良好なボンディング
特性が得られないという問題点がある。
そこで、本発明は上記問題点を解消すべくなされたもの
であり、その目的とするところは、リードポスト部のボ
ンディングエリアに異物が付着せず、確実なワイヤボン
ディングを可能にする気密ガラス端子を容易に製造する
ことができる気密ガラス端子の製造方法を提供するにあ
る。
であり、その目的とするところは、リードポスト部のボ
ンディングエリアに異物が付着せず、確実なワイヤボン
ディングを可能にする気密ガラス端子を容易に製造する
ことができる気密ガラス端子の製造方法を提供するにあ
る。
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記問題点を解消するため次の構成をそなえる
。
。
すなわち、リード線およびアイレットを倒立させて治具
内に配置し、リード線のリードポスト部下面を治具の凹
部内底面により支持して、ガラスによりリード線とアイ
レットとを気密に封止する気密ガラス端子の製造方法に
おいて、前記治具は前記凹部内底面にリードポスト部の
ボンディングエリアが接触しない空洞部を設けたものを
用い、前記リード線を凹部内底面によりリードポスト部
のボンディングエリア周辺部で支持することを特徴とす
る。
内に配置し、リード線のリードポスト部下面を治具の凹
部内底面により支持して、ガラスによりリード線とアイ
レットとを気密に封止する気密ガラス端子の製造方法に
おいて、前記治具は前記凹部内底面にリードポスト部の
ボンディングエリアが接触しない空洞部を設けたものを
用い、前記リード線を凹部内底面によりリードポスト部
のボンディングエリア周辺部で支持することを特徴とす
る。
(実施例)
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第1図は、本発明に係る気密ガラス端子の製造方法の一
実施例を示すカーボン治具の断面図であある。
実施例を示すカーボン治具の断面図であある。
まず、本発明方法に用いるカーボン治具について説明す
る。
る。
図で10はリード線1を倒立させてリードポスト部4を
支持する下カーボン治具であり、12はアイレット2と
溶融されるガラスを内包して前記下カーボン治具10上
に載置される上カーボン治具である。
支持する下カーボン治具であり、12はアイレット2と
溶融されるガラスを内包して前記下カーボン治具10上
に載置される上カーボン治具である。
前記下カーボン治具10にはリード線1のリードポスト
部4を支持するための凹部14が形成される。この凹部
14は、リードポスト部4を挿入するに十分な径と、ア
イレット2の上面からリードポスト部4が所定間隔突出
するように位置決めすべく所定の深さに形成される。
部4を支持するための凹部14が形成される。この凹部
14は、リードポスト部4を挿入するに十分な径と、ア
イレット2の上面からリードポスト部4が所定間隔突出
するように位置決めすべく所定の深さに形成される。
また、この凹部14には、リードポスト部4を凹部14
に配置した際に、リードポスト部4の中央部位であるボ
ンディングエリアが直接カーボン治具10に接触しない
ように、凹部14の底面から下方にカーボン治具lOの
外部にまで通じる円筒状に透設された空洞部16を設け
る。前記凹部14はこのように空洞部16に続くので、
段差状に形成される。
に配置した際に、リードポスト部4の中央部位であるボ
ンディングエリアが直接カーボン治具10に接触しない
ように、凹部14の底面から下方にカーボン治具lOの
外部にまで通じる円筒状に透設された空洞部16を設け
る。前記凹部14はこのように空洞部16に続くので、
段差状に形成される。
また、前記上カーボン治具12にはアイレット2を収納
するための凹部空間18とリード線1を挿通させる通孔
20が形成される。
するための凹部空間18とリード線1を挿通させる通孔
20が形成される。
上記治具にリード線、アイレット等を配置する際は次の
ように行う。リード線1は倒立させ、リードポスト部4
を前記凹部14に当接させて配置する。第1図に示す実
施例では、リードポスト部4に段差を設け、段差部の突
端が前記空洞部16に挿入され下部の段差部が凹部14
に当接する。
ように行う。リード線1は倒立させ、リードポスト部4
を前記凹部14に当接させて配置する。第1図に示す実
施例では、リードポスト部4に段差を設け、段差部の突
端が前記空洞部16に挿入され下部の段差部が凹部14
に当接する。
リードポスト部4にこのような段差を設けるとリード線
1の位置決めが容易であることと、ボンディングエリア
となる段差部の突端が空洞部16内に挿入されているの
で、ボンディングエリアが下カーボン治具10に接触し
ないように配置することができる。
1の位置決めが容易であることと、ボンディングエリア
となる段差部の突端が空洞部16内に挿入されているの
で、ボンディングエリアが下カーボン治具10に接触し
ないように配置することができる。
また、アイレット2は上カーボン治具12の凹部空間1
8内に収納するとともにその上面を下カーボン治具10
の上面に当接させて裁置される。
8内に収納するとともにその上面を下カーボン治具10
の上面に当接させて裁置される。
リード線1はアイレット2に透設された貫通孔3に挿通
されるとともに、その端部を上カーボン治具12に設け
る前記通孔20に挿通される。
されるとともに、その端部を上カーボン治具12に設け
る前記通孔20に挿通される。
リードポスト部4とアイレット2は、下カーボン治具1
0の凹部14と下カーボン治具10の上面により位置決
めされるから、アイレット2の上面とリードポスト部4
は所定間隔に保たれる。
0の凹部14と下カーボン治具10の上面により位置決
めされるから、アイレット2の上面とリードポスト部4
は所定間隔に保たれる。
22は予め所望形状に成形したガラスで、リード線1を
挿通した状態でアイレット2の内側に収納される。
挿通した状態でアイレット2の内側に収納される。
そして、上述したように各部材を配置し、所定温度に加
熱することにより、ガラス22が溶融し、アイレット2
とリード線1とが気密に封止される。
熱することにより、ガラス22が溶融し、アイレット2
とリード線1とが気密に封止される。
第2図は、上述した実施例によってガラス溶着された気
密ガラス端子を示す。リードポスト部4は上述したよう
に段差が形成され、この場合は段差の突端上面がボンデ
ィングエリアとなる。このボンディングエリアは、自動
ボンディングのために必要な面積に形成する必要がある
。
密ガラス端子を示す。リードポスト部4は上述したよう
に段差が形成され、この場合は段差の突端上面がボンデ
ィングエリアとなる。このボンディングエリアは、自動
ボンディングのために必要な面積に形成する必要がある
。
図はポンディングワイヤ9によりワイヤポンディングさ
れている状態を示す。
れている状態を示す。
次に、第3図は気密ガラス端子の製造方法の他の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
この実施例においては、リードポスト部4の形状が上述
した実施例と異なる。すなわち、この実施例ではリード
ポスト部4をワイヤポンディングの際に必要とするボン
ディングエリアにくらべ若干大きく形成し、下カーボン
治具10に設ける空洞部16の径をリードポスト部4の
ボンディングエリアと同程度に形成する。
した実施例と異なる。すなわち、この実施例ではリード
ポスト部4をワイヤポンディングの際に必要とするボン
ディングエリアにくらべ若干大きく形成し、下カーボン
治具10に設ける空洞部16の径をリードポスト部4の
ボンディングエリアと同程度に形成する。
そして、リードポスト部4は下カーボン治具10の凹部
14に挿入され、リードポスト部4の周縁を凹部14の
段差部に当接してリード線1を位置決め支持する。
14に挿入され、リードポスト部4の周縁を凹部14の
段差部に当接してリード線1を位置決め支持する。
この実施例の場合は、リードポスト部4のボンディング
エリアが前記空洞部16に面しているから、ガラス溶着
時に、リードポスト部4のボンディングエリアがカーボ
ン治具に接触せずに溶着がなされる。
エリアが前記空洞部16に面しているから、ガラス溶着
時に、リードポスト部4のボンディングエリアがカーボ
ン治具に接触せずに溶着がなされる。
上述した両実施例では、いずれもガラス溶着時にリード
ポスト部4のボンディングエリアがカーボン治具にすこ
しも接触しないで溶着されるので、ガラス溶着の際、ボ
ンディングエリアに異物が付着すること完全に防止する
ことができる。
ポスト部4のボンディングエリアがカーボン治具にすこ
しも接触しないで溶着されるので、ガラス溶着の際、ボ
ンディングエリアに異物が付着すること完全に防止する
ことができる。
なお、上記実施例においては、前記空洞部16を下カー
ボン治具10の外面にまで通じるように透設したが、下
カーボン治具10の外部にまで連通させないで、リート
ボスト部4を凹部14に配置した際、ボンディングエリ
アが治具に接触しないよう、車に凹部14より深く形成
するようにしてもよい。
ボン治具10の外面にまで通じるように透設したが、下
カーボン治具10の外部にまで連通させないで、リート
ボスト部4を凹部14に配置した際、ボンディングエリ
アが治具に接触しないよう、車に凹部14より深く形成
するようにしてもよい。
(発明の効果)
本発明によれば、上述したように、治具を使用してガラ
ス溶着して気密ガラス端子を製造する際、リードポスト
部の必要とするボンディングエリアと治具が接触しない
でガラス溶着できるから、リードポスト部のボンディン
グエリアに異物が付着することがなく、ボンディングエ
リアに凹凸がなく平滑面に保たれた気密ガラス端子を得
ることができ、確実かつ良好なワイヤポンディングがで
きる気密ガラス端子を従供することができるという著効
を奏する。
ス溶着して気密ガラス端子を製造する際、リードポスト
部の必要とするボンディングエリアと治具が接触しない
でガラス溶着できるから、リードポスト部のボンディン
グエリアに異物が付着することがなく、ボンディングエ
リアに凹凸がなく平滑面に保たれた気密ガラス端子を得
ることができ、確実かつ良好なワイヤポンディングがで
きる気密ガラス端子を従供することができるという著効
を奏する。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて種々説明し
たが本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発
明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るの
はもちろんのことである。
たが本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発
明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るの
はもちろんのことである。
第1図は本発明に係る気密ガラス端子の製造方法に用い
るカーボン治具の一実施例を示す断面図、第2図は製造
された気密ガラス端子を示す断面図、第3図は他の実施
例を示す断面図、第4図(a)、(b)、(C1は従来
の気密ガラス端子を示す断面図、第5図は気密ガラス端
子の従来の製造方法に用いるカーボン治具の一実施例を
示す断面図、第6図は従来の気密ガラス端子を示す説明
図である。 ■・ ・・リード線、 2・・・アイレット、3・・
・貫通孔、 4・・・リードポスト部、5・・・カーボ
ン治具、 6・・・凹部、 7・・・異物、 8・・・
凹凸、 9・・・ボンディングワイヤ、 10・・・
下カーボン治具、12・・・上カーボン治具、 14・
・・凹部、16・・・空洞部、 18・・・凹部空間、
20・・・通孔、 22・・・ガラス。 第1図
第2図第3図
るカーボン治具の一実施例を示す断面図、第2図は製造
された気密ガラス端子を示す断面図、第3図は他の実施
例を示す断面図、第4図(a)、(b)、(C1は従来
の気密ガラス端子を示す断面図、第5図は気密ガラス端
子の従来の製造方法に用いるカーボン治具の一実施例を
示す断面図、第6図は従来の気密ガラス端子を示す説明
図である。 ■・ ・・リード線、 2・・・アイレット、3・・
・貫通孔、 4・・・リードポスト部、5・・・カーボ
ン治具、 6・・・凹部、 7・・・異物、 8・・・
凹凸、 9・・・ボンディングワイヤ、 10・・・
下カーボン治具、12・・・上カーボン治具、 14・
・・凹部、16・・・空洞部、 18・・・凹部空間、
20・・・通孔、 22・・・ガラス。 第1図
第2図第3図
Claims (1)
- 1、リード線およびアイレットを倒立させて治具内に配
置し、リード線のリードポスト部下面を治具の凹部内底
面により支持して、ガラスによりリード線とアイレット
とを気密に封止する気密ガラス端子の製造方法において
、前記治具は前記凹部内底面にリードポスト部のボンデ
ィングエリアが接触しない空洞部を設けたものを用い、
前記リード線を凹部内底面によりリードポスト部のボン
ディングエリア周辺部で支持することを特徴とする気密
ガラス端子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62038600A JPS63204748A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 気密ガラス端子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62038600A JPS63204748A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 気密ガラス端子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63204748A true JPS63204748A (ja) | 1988-08-24 |
Family
ID=12529764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62038600A Pending JPS63204748A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 気密ガラス端子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63204748A (ja) |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62038600A patent/JPS63204748A/ja active Pending
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